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液中プラズマCVD法によるダイヤモンド形成に関する研究

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研究課題番号 KAKENHI-PROJECT-23360326
研究種目 基盤研究(B)
研究分野 理工系
工学
材料工学
材料加工・組織制御工学
研究機関 愛媛大学
代表研究者 豊田 洋通
研究分担者 野村 信福
研究期間 開始年月日 2011/4/1
研究期間 終了年度 2014
研究ステータス 完了 (2014/4/1)
配分額(合計) 19,110,000 (直接経費 :14,700,000、間接経費 :4,410,000)
配分額(履歴) 2014年度:2,340,000 (直接経費 :1,800,000、間接経費 :540,000)
2013年度:2,340,000 (直接経費 :1,800,000、間接経費 :540,000)
2012年度:2,340,000 (直接経費 :1,800,000、間接経費 :540,000)
2011年度:12,090,000 (直接経費 :9,300,000、間接経費 :2,790,000)
キーワード プラズマ加工
材料加工・処理
結晶成長
表面・界面物性

研究成果

[雑誌論文] A practical electrode for microwave plasma processes

H. Toyota, S. Nomura, S. Mukasa 2013

[学会発表] 液中プラズマによるダイヤモンド単結晶の形成

豊田 洋通 2013

[学会発表] High speed deposition of diamond film using in liquid-plasma CVD method

Hiromichi Toyota, Shoma Ikeda, Shinfuku Nomura, Shinobu Mukasa 2013

[図書] 大気圧プラズマの生成制御と応用技術

野村信福, 豊田洋通, ほか 2012

[学会発表] Experimental Investigation of Optimal Conditions for High-Speed Diamond Synthesis by In-liquid Plasma CVD Method

H.Toyota 2011

[雑誌論文] A consideration of ternary C-H-O diagram for diamond deposition using microwave in-liquid and gas phase plasma

H.Toyota, S.Nomura, et.al. 2011

[学会発表] Synthesis of diamond film by in-liquid plasma CVD

Hiromichi Toyota, Takuma Yanagimoto, Shinfuku Nomura, Shinobu Mukasa 0

[学会発表] 液中プラズマCVD法によるダイヤモンド膜の形成

豊田洋通,野村信福,向笠忍 0

プラズマ発生装置