超臨界高周波プラズマによる新規プラズマプロセスの開発
KAKEN 科学研究費助成事業データベース で見る| 研究課題番号 | KAKENHI-PROJECT-20540484 |
|---|---|
| 研究種目 | 基盤研究(C) |
| 研究分野 | 理工系 数物系科学 プラズマ科学 プラズマ科学 |
| 研究機関 | 愛媛大学 |
| 代表研究者 | 前原 常弘 |
| 研究分担者 | 川嶋 文人 |
| 研究期間 開始年月日 | 2008/4/1 |
| 研究期間 終了年度 | 2010 |
| 研究ステータス | 完了 (2010/4/1) |
| 配分額（合計） | 4,680,000 (直接経費 :3,600,000、間接経費 :1,080,000) |
| 配分額（履歴） |
2010年度：780,000 (直接経費 :600,000、間接経費 :180,000) 2009年度：910,000 (直接経費 :700,000、間接経費 :210,000) 2008年度：2,990,000 (直接経費 :2,300,000、間接経費 :690,000) |
| キーワード | 超臨界 高周波プラズマ プロセス プラズマ 高周波 二酸化炭素 分光 |