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固体表面と液中プラズマ泡の相互作用に関する研究

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研究課題番号 KAKENHI-PROJECT-20360335
研究種目 基盤研究(B)
研究分野 理工系
工学
材料工学
材料加工・処理
研究機関 愛媛大学
代表研究者 豊田 洋通
研究分担者 野村 信福
研究期間 開始年月日 2008/4/1
研究期間 終了年度 2010
研究ステータス 完了 (2010/4/1)
配分額(合計) 16,380,000 (直接経費 :12,600,000、間接経費 :3,780,000)
配分額(履歴) 2010年度:2,340,000 (直接経費 :1,800,000、間接経費 :540,000)
2009年度:2,340,000 (直接経費 :1,800,000、間接経費 :540,000)
2008年度:11,700,000 (直接経費 :9,000,000、間接経費 :2,700,000)
キーワード 薄膜プロセス
液中プラズマ
プラズマ加工
表面・界面物性
材料加工・処理

研究成果

[雑誌論文] Growth of bubbles containing plasma in water by high-frequency irradiation

Shinobu Mukasa, Tsunehiro Maehara, Shinfuku Nomura, Hiromichi Toyota, Hiroshi Yamashita, Fumito Kawashima, Yoshiaki Hattori, Yukio Hashimoto 2010

[学会発表] 液中プラズマ化学蒸着におけるプラズマ泡と基板の相互作用

豊田洋通, 飯坂康介, 野村信福, 向笠忍, 服部吉晃 2010

[学会発表] A consideration of ternary C-H-O diagram for diamond deposition using microwave in-liquid and gas phase plasma

H.Toyota, S.Nomura, S.Mukasa, T.Shimo, S.Okuda 2010

[学会発表] 液中プラズマ化学蒸着におけるプラズマ泡と基板の相互作用

豊田洋通, 野村信福, 向笠忍 2010

[雑誌論文] Diamond synthesis by plasma chemical vapor deposition in liquid and gas

H.Toyota, S.Nomura, S.Mukasa, Y.Takahashi, S.Okuda 2010

[学会発表] A synthesis method of compound semiconductors using in-liquid plasma

Hiromichi Toyota, Shinfuku Nomura, Shinobu Mukasa 2010

[学会発表] Diamond synthesis by plasma chemical vapor deposition in liquid and gas

H.Toyota, S.Nomura, S.Mukasa, Y.Takahashi, S.Okuda 2009

[雑誌論文] A comparison of diamond growth rate using in-liquid and conventional plasma chemical vapor deposition methods

Yoshiyuki Takahashi, Hiromichi Toyota, Shinfuku Nomura, Shinobu Mukasa, Toru Inoue 2009

[学会発表] A synthesis method of compound semiconductors using in-liquid plasma

Hiromichi Toyota, Shinfuku Nomura, Shinobu Mukasa 2009

[学会発表] Diamond synthesis by plasma chemical vapor deposition in liquid and gas

H.Toyota, S.Nomura, S.Mukasa, Y.Takahashi, S.Okuda 2009

多孔質膜およびその生成装置と生成方法

液中プラズマ発生方法

液中プラズマ反応装置,液中プラズマによる反応方法および結晶合成方法

プラズマ用アンテナ電極及びプラズマ発生装置

液中プラズマ発生方法

液中プラズマ反応装置,液中プラズマによる反応方法および結晶合成方法