固体表面と液中プラズマ泡の相互作用に関する研究
KAKEN 科学研究費助成事業データベース で見る研究課題番号 | KAKENHI-PROJECT-20360335 |
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研究種目 | 基盤研究(B) |
研究分野 | 理工系 工学 材料工学 材料加工・処理 |
研究機関 | 愛媛大学 |
代表研究者 | 豊田 洋通 |
研究分担者 | 野村 信福 |
研究期間 開始年月日 | 2008/4/1 |
研究期間 終了年度 | 2010 |
研究ステータス | 完了 (2010/4/1) |
配分額(合計) | 16,380,000 (直接経費 :12,600,000、間接経費 :3,780,000) |
配分額(履歴) |
2010年度:2,340,000 (直接経費 :1,800,000、間接経費 :540,000) 2009年度:2,340,000 (直接経費 :1,800,000、間接経費 :540,000) 2008年度:11,700,000 (直接経費 :9,000,000、間接経費 :2,700,000) |
キーワード | 薄膜プロセス 液中プラズマ プラズマ加工 表面・界面物性 材料加工・処理 |