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フェムト秒レーザー加工によるシリコンカーバイドへの単一光子源の作製

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研究課題番号 KAKENHI-PUBLICLY-17H05340
研究種目 新学術領域研究(研究領域提案型)
研究分野
研究機関 徳島大学
代表研究者 富田 卓朗
研究期間 開始年月日 2017/4/1
研究期間 終了年度 2018
研究ステータス 完了 (2018/4/1)
配分額（合計） 3,380,000 (直接経費 :2,600,000、間接経費 :780,000)
配分額（履歴） 2018年度：1,430,000 (直接経費 :1,100,000、間接経費 :330,000)
2017年度：1,950,000 (直接経費 :1,500,000、間接経費 :450,000)
キーワード フェムト秒レーザー
走査型電子顕微鏡
アブレーション
その場観察
シングルショット
レーザー加工
シリコンカーバイド
単一光子源

研究成果

[学会発表] フェムト秒レーザ照射誘起改質を応用したNi/SiC界面における電極形成

水尾 優作, 渕上 裕暉, 富田 卓朗, 久澤 大夢, 岡田 達也 2019

[学会発表] フェムト秒レーザー照射による結晶改質がp-GaNへのオーミックコンタクトに与える影響

片山 裕之, 直井 美貴, 岡田 達也, 田中 康弘, 富田 卓朗 2019

[雑誌論文] Low-temperature diffusion assisted by femtosecond laser-induced modifications at Ni/SiC interface

Tatsuya Okada, Takuro Tomita, Tomoyuki Ueki, Takuya Hashimoto, Hiroki Kawakami, Yuki Fuchikami, Hiromu Hisazawa, and Yasuhiro Tanaka 2018

[学会発表] フェムト秒レーザー照射による半導体デバイス作製にむけて

富田 卓朗 2018

[学会発表] サブミクロン厚4H-SiCにおけるラマンスペクトルの極性面依存性

竹中 一将, 板東 洋太, 滝谷 悠介, 山口 誠, 田中 康弘, 中島 信一, 岡田 達也, 富田 卓朗 2018

[学会発表] 走査型電子顕微鏡内でのフェムト秒レーザー光照射光学系の構築

宮本 美佑, 富田 卓朗 2018

[学会発表] フェムト秒レーザ誘起改質を応用したNi/SiC界面における低温拡散

渕上 裕暉, 橋本 拓哉, 川上 博貴, 植木 智之, 富田 卓朗, 岡田 達也, 田中 康弘 2018

[学会発表] p-GaN上オーミック電極形成のためのフェムト秒レーザー照射方法の検討

片山 裕之, 川上 博貴, 今垣 諒彌, 橋本 拓哉, 山口 誠, 田中 康弘, 直井 美貴, 岡田 達也, 富田 卓朗 2018

[学会発表] ホール測定によるNi/SiC界面に形成されたフェムト秒レーザー改質層の電気特性評価

川上 博貴, 直井 美貴, 富田 卓朗 2018

[雑誌論文] Femtosecond-laser-induced modifications on a 4H-SiC surface and their application to low-temperature diffusion at the Ni/SiC interface

Okada Tatsuya、Tomita Takuro、Ueki Tomoyuki、Hashimoto Takuya、Fuchikami Yuki、Katayama Hiroyuki、Hisazawa Hiromu、Tanaka Yasuhiro 2018

[雑誌論文] Femtosecond laser?assisted thermal annealing of Ni electrode on SiC substrate

Kawakami Hiroki、Naoi Yoshiki、Tomita Takuro 2018

[学会発表] AlN結晶のアニール処理による機械的ダメージの回復評価

枝澤 光希, 浦西 将, 富田 卓朗, 西野 克志 2018

[学会発表] Study of ohmic contact electrode on p-GaN using moderate crystal damage effect induced by femtosecond laser irradiation technique

Hiroyuki Katayama, Yoshiki Naoi, Tatsuya Okada, Yasuhiro Tanaka and Takuro Tomita 2018

[学会発表] ダイヤモンド表面へのフェムト秒レーザ照射改質の導入によるTi/ダイヤモンド界面反応

今垣 諒彌, 植木 智之, 富田 卓朗, 久澤 大夢, 岡田 達也, 田中 康弘 2018

[学会発表] 表面局在した格子振動に由来するSiCのラマンスペクトル

富田 卓朗, 竹中 一将, 板東 洋太, 滝谷 悠介, 山口 誠, 田中 康弘, 中島 信一, 岡田 達也 2018

[学会発表] フェムト秒レーザ照射改質の導入によるNi/SiC界面のNiシリサイド形成

渕上 裕暉, 植木 智之, 富田 卓朗, 久澤 大夢, 岡田 達也, 田中 康弘 2018

[学会発表] フェムト秒レーザ照射改質を導入したダイヤモンド表面へのTi蒸着

今垣 諒彌, 植木 智之, 富田 卓朗, 久澤 大夢, 岡田 達也, 田中 康弘 2018

[学会発表] 4H-SiC表面へのフェムト秒レーザ照射改質導入によるNi/SiC界面反応の促進

渕上 裕暉, 植木 智之, 富田 卓朗, 久澤 大夢, 岡田 達也, 田中 康弘 2018

[学会発表] Femtosecond laser irradiation for the low contact resistance electrode fabrication on p-type gallium nitride

Hiroyuki Katayama, Hiroki Kawakami, Yoshiki Naoi and Takuro Tomita 2018

[雑誌論文] Femtosecond-laser-induced modifications on the surface of a single-crystalline diamond

Tatsuya Okada, Takuro Tomita, Tomoyuki Ueki, Yuki Masai, Yota Bando, and Yasuhiro Tanaka 2017

[学会発表] ダイヤモンド単結晶表面へのフェムト秒レーザ照射による改質導入

二村 大, 川上 博貴, 植木 智之, 富田 卓朗, 岡田 達也, 田中 康弘 2017

[学会発表] SiCのサブミクロン厚領域におけるラマンスペクトルの数値計算

竹中 一将, 板東 洋太, 滝谷 悠介, 山口 誠, 田中 康弘, 中島 信一, 岡田 達也, 富田 卓朗 2017

[学会発表] Formation of Ni ohmic electrode on SiC by femtosecond laser irradiation associated with thermal annealing

Hiroki Kawakami, Yoshiki Naoi and Takuro Tomita 2017

[学会発表] Annealing of Ni/Au electrode on p-GaN by femtosecond laser irradiation

Hiroyuki Katayama, Yuuki Yamasaki, Hiroki Kawakami, Yoshiki Naoi and Takuro Tomita 2017

[学会発表] サブミクロン厚SiCにおける極性面に依存したラマンスペクトル

竹中 一将, 板東 洋太, 滝谷 悠介, 山口 誠, 田中 康弘, 中島 信一, 岡田 達也, 富田 卓朗 2017

[学会発表] フェムト秒レーザー照射により作製したSiC上Ni電極の電気特性評価

川上 博貴, 直井 美貴, 富田 卓朗 2017

[学会発表] ダイヤモンド単結晶表面におけるフェムト秒レーザ照射誘起改質

二村 大, 川上 博貴, 植木 智之, 富田 卓朗, 岡田 達也, 田中 康弘 2017