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富田卓朗

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2024年4月16日更新

職名: 准教授
電話: 088-656-7445
電子メール: tomita@tokushima-u.ac.jp
学歴: 1997/3: 京都大学工学部物理工学科(機械系学科)卒業
1999/3: 東京大学大学院理学系研究科物理学専攻修士課程修了
2002/3: 東京大学大学院理学系研究科物理学専攻博士課程修了(博士(理学))
学位: 博士(理学) (東京大学) (2002年3月)
職歴・経歴: 2002/4: 東北大学多元物質科学研究所助手
2004/4: 徳島大学大学院工学研究科エコシステム工学専攻助手
2006/4: 徳島大学大学院ソシオテクノサイエンス研究部助手
2007/4: 徳島大学大学院ソシオテクノサイエンス研究部助教
2013/11: 徳島大学大学院ソシオテクノサイエンス研究部准教授
2014/3: 徳島大学大学院先端技術科学教育部博士後期課程マル合判定
2016/4: 徳島大学大学院理工学研究部准教授
2017/4: 徳島大学大学院社会産業理工学研究部准教授

専門分野・研究分野: 光物質科学
光物性物理学 (Optical Condensed Matter Physics)
半導体物理学 (Semiconductor Physics)

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専門分野・研究分野: 光物質科学
光物性物理学 (Optical Condensed Matter Physics)
半導体物理学 (Semiconductor Physics)
担当経験のある授業科目: STEM演習 (学部)
プレゼンテーション技法(D) (大学院)
光材料科学特論 (大学院)
半導体工学基礎 (学部)
技術者・科学者の倫理 (共通教育)
無機光機能材料論 (大学院)
理工学特別実習 (大学院)
電気電子システム特別研究 (大学院)
電気電子工学基礎実験 (学部)
指導経験: 13人 (学士), 11人 (修士)

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2024年4月16日更新

専門分野・研究分野: 光物質科学
光物性物理学 (Optical Condensed Matter Physics)
半導体物理学 (Semiconductor Physics)

研究テーマ: レーザー誘起物性改質, レーザー加工, レーザー誘起ナノ周期構造 (フェムト秒レーザー加工・改質 (femtosecond laser processing/modification))
ラマン散乱分光, 超高速時間分解分光, 磁気光学分光 (光物性 (optical properties of solid))
ワイドバンドギャップ半導体における微視的分極理論, 半導体中の電子-格子相互作用 (半導体物理)

著書

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論文

Taiyoh Kawano, TAKETO Furuichi, Eibon Tsuchiya, Makoto Yamaguchi, Tatsuya Okada, Yohei Kobayashi and Takuro Tomita :
Pulse Duration Dependence of Novel Metal Alloying on Fe/Cr/Ni Thin Films by Ultra-Short Pulsed Laser Irradiation,
Journal of Laser Micro/Nanoengineering, Vol.18, No.2, 100-104, 2023.

(要約): We examined the possibility of suppressing elemental segregation of high-entropy alloys (HEAs) using femtosecond laser irradiation. Thin films of iron (Fe), chromium (Cr), and nickel (Ni) were deposited on the surfaces of n-type SiC and p-type GaN substrates. The thicknesses of the Fe, Cr, and Ni films were 12, 7, and 11 nm, respectively. Laser irradiation was performed from the substrate side by focusing on the interface between the Fe film and substrate. Scanning transmission electron microscopy (STEM) bright-field images superimposed on the elemental maps of Fe, Cr, and Ni showed a more homogenous mixing of Fe, Cr, and Ni in the femtosecond-laser-modified region than in the picosecond-laser-modified region. In particular, the Ni distribution showed a significant improvement in homogeneity. In other words, the Ni mixture was more homogeneous in the femtosecond laser-modified region than in the picosecond laser-modified region. Although the duration of the picosecond laser pulse was sufficiently long for atomic diffusion, segregation still occurred during the cooling process following laser irradiation.
(キーワード): high-entropy alloys (HEAs) / Fe/Cr/Ni thin films / ultra-short pulsed laser irradiation / pulse-duration-dependence / scanning transmission electron microscopy (STEM) / element maps
(徳島大学機関リポジトリ): ● Metadata: 118600
(文献検索サイトへのリンク): ● CiNii @ 国立情報学研究所 (CRID): 1050861074219734144

(徳島大学機関リポジトリ: 118600, CiNii: 1050861074219734144) Takuro Tomita, Yota Bando, Kazumasa Takenaka, Yasuhiro Tanaka, Makoto Yamaguchi, Shin-ichi Nakashima and Tatsuya Okada :
Surface-polarity-dependent Raman spectra of ultrathin silicon carbide crystal,
Applied Physics. A, Materials Science & Processing, Vol.129, No.6, 420-1-420-4, 2023.

(キーワード): Raman intensity / Polarity dependence / Silicon carbide / Ultrathin crystal
(徳島大学機関リポジトリ): ● Metadata: 118217
(出版サイトへのリンク): ● Publication site (DOI): 10.1007/s00339-023-06689-9
(文献検索サイトへのリンク): ● Summary page in Scopus @ Elsevier: 2-s2.0-85159283952

(徳島大学機関リポジトリ: 118217, DOI: 10.1007/s00339-023-06689-9, Elsevier: Scopus) Tatsuya Okada, Kenya Bando, Fumiya Iwaasa, Tomoyuki Ueki, Hiromu Hisazawa and Takuro Tomita :
Boron ion implantation on femtosecond-laser-irradiated diamond surface,
Japanese Journal of Applied Physics, Vol.61, No.10, 102002-1-102002-5, 2022.

(出版サイトへのリンク): ● Publication site (DOI): 10.35848/1347-4065/ac8c29
(文献検索サイトへのリンク): ● Search Scopus @ Elsevier (DOI): 10.35848/1347-4065/ac8c29

(DOI: 10.35848/1347-4065/ac8c29) Keisuke Takabayashi, Takashi Takahashi, Eibon Tsuchiya, Kazuki Mimura, Yoshiyuki Yamamoto, Yohei Kobayashi, Takuro Tomita and Makoto Yamaguchi :
Morphology and structure of diamondlike carbon flm induced by picosecond laser ablation,
Applied Physics. A, Materials Science & Processing, Vol.128, 850-1-850-6, 2022.

(徳島大学機関リポジトリ): ● Metadata: 117480
(出版サイトへのリンク): ● Publication site (DOI): 10.1007/s00339-022-05980-5
(文献検索サイトへのリンク): ● Search Scopus @ Elsevier (DOI): 10.1007/s00339-022-05980-5

(徳島大学機関リポジトリ: 117480, DOI: 10.1007/s00339-022-05980-5) Keisuke Takabayashi, Khamaron Bin Khaidir, Takuro Tomita, Takashi Takahashi, Yohei Kobayashi and Makoto Yamaguchi :
Raman Studies of Structural Change in Diamond-like Carbon Film on Si Induced by Ultrafast Laser Ablation,
Journal of Laser Micro/Nanoengineering, Vol.17, No.1, 1-5, 2022.

(徳島大学機関リポジトリ): ● Metadata: 117339
(出版サイトへのリンク): ● Publication site (DOI): 10.2961/jlmn.2022.01.2001
(文献検索サイトへのリンク): ● Search Scopus @ Elsevier (DOI): 10.2961/jlmn.2022.01.2001

(徳島大学機関リポジトリ: 117339, DOI: 10.2961/jlmn.2022.01.2001) Tatsuya Okada, Hiromu Hisazawa, Akihiro Iwasaki, Katsuya Kawaguchi, Hiroki Morimoto, Kazuki Nakao, Tomoyuki Ueki and Takuro Tomita :
Creep fracture of aluminum and copper tricrystals having <110>-tilt Σ3, 3, 9 grain boundaries,
Materials Transactions, Vol.62, No.2, 239-245, 2021.

(出版サイトへのリンク): ● Publication site (DOI): 10.2320/matertrans.MT-M2020325
(文献検索サイトへのリンク): ● Search Scopus @ Elsevier (DOI): 10.2320/matertrans.MT-M2020325

(DOI: 10.2320/matertrans.MT-M2020325) Tatsuya Okada, Yuki Fuchikami, Kazuki Mimura, Tomoyuki Ueki, Hiromu Hisazawa and Takuro Tomita :
Formation of ohmic Ni electrodes on femtosecond laser-modified 4H-SiC surface,
Applied Physics. A, Materials Science & Processing, Vol.126, No.7, 535-1-535-7, 2020.

(出版サイトへのリンク): ● Publication site (DOI): 10.1007/s00339-020-03733-w
(文献検索サイトへのリンク): ● Summary page in Scopus @ Elsevier: 2-s2.0-85086631907

(DOI: 10.1007/s00339-020-03733-w, Elsevier: Scopus) Tatsuya Okada, Takuro Tomita, Hiroyuki Katayama, Yuki Fuchikami, Tomoyuki Ueki, Hiromu Hisazawa and Yasuhiro Tanaka :
Local melting of Au/Ni thin films irradiated by femtosecond laser through GaN,
Applied Physics. A, Materials Science & Processing, Vol.125, No.10, 690-1-690-6, 2019.

(出版サイトへのリンク): ● Publication site (DOI): 10.1007/s00339-019-2982-1
(文献検索サイトへのリンク): ● Search Scopus @ Elsevier (DOI): 10.1007/s00339-019-2982-1

(DOI: 10.1007/s00339-019-2982-1) Tatsuya Okada, Takuro Tomita, Tomoyuki Ueki, Takuya Hashimoto, Yuki Fuchikami, Hiroyuki Katayama, Hiromu Hisazawa and Yasuhiro Tanaka :
Femtosecond-laser-induced modifications on a 4H-SiC surface and their application to low-temperature diffusion at the Ni/SiC interface,
Japanese Journal of Applied Physics, Vol.57, No.11, 116501-1-116501-7, 2018.

(出版サイトへのリンク): ● Publication site (DOI): 10.7567/JJAP.57.116501
(文献検索サイトへのリンク): ● Search Scopus @ Elsevier (DOI): 10.7567/JJAP.57.116501

(DOI: 10.7567/JJAP.57.116501) Hiroki Kawakami, Yoshiki Naoi and Takuro Tomita :
Femtosecond laser-assisted thermal annealing of Ni electrode on SiC substrate,
AIP Advances, Vol.8, No.6, 065204-1-065204-5, 2018.

(徳島大学機関リポジトリ): ● Metadata: 111814
(出版サイトへのリンク): ● Publication site (DOI): 10.1063/1.5036804
(文献検索サイトへのリンク): ● Summary page in Scopus @ Elsevier: 2-s2.0-85048129118

(徳島大学機関リポジトリ: 111814, DOI: 10.1063/1.5036804, Elsevier: Scopus) Tatsuya Okada, Takuro Tomita, Tomoyuki Ueki, Yuki Masai, Yota Bando and Yasuhiro Tanaka :
Femtosecond-laser-induced modifications on the surface of a single-crystalline diamond,
Japanese Journal of Applied Physics, Vol.56, No.11, 112701-1-112701-5, 2017.

(出版サイトへのリンク): ● Publication site (DOI): 10.7567/JJAP.56.112701
(文献検索サイトへのリンク): ● Summary page in Scopus @ Elsevier: 2-s2.0-85039060399

(DOI: 10.7567/JJAP.56.112701, Elsevier: Scopus) Takuro Tomita, Manato Deki, Eizo Yanagita, Yota Bando, Yoshiki Naoi, Takahiro Makino and Takeshi Ohshima :
Femtosecond-Laser-Induced Defects on Silicon Carbide Probed by Electrical Conductivity,
Journal of Laser Micro/Nanoengineering, Vol.12, No.2, 72-75, 2017.

(出版サイトへのリンク): ● Publication site (DOI): 10.2961/jlmn.2017.02.0004
(文献検索サイトへのリンク): ● Summary page in Scopus @ Elsevier: 2-s2.0-85029502848

(DOI: 10.2961/jlmn.2017.02.0004, Elsevier: Scopus) Masaharu Nishikino, Noboru Hasegawa, Takuro Tomita, Yasuo Minami, Takashi Eyama, Naoya Kakimoto, Rui Izutsu, Motoyoshi Baba, Tetsuya Kawachi and Tohru Suemoto :
Formation of x-ray Newton's rings from nano-scale spallation shells of metals in laser ablation,
AIP Advances, Vol.7, No.1, 015311-1-015311-5, 2017.

(出版サイトへのリンク): ● Publication site (DOI): 10.1063/1.4975218
(文献検索サイトへのリンク): ● Summary page in Scopus @ Elsevier: 2-s2.0-85010755955

(DOI: 10.1063/1.4975218, Elsevier: Scopus) Tatsuya Okada, Takuro Tomita, Tomoyuki Ueki, Yuki Masai, Yota Bando and Yasuhiro Tanaka :
Femtosecond laser-induced modification at aluminum/diamond interface,
Japanese Journal of Applied Physics, Vol.56, No.2, 026601-1-026601-5, 2017.

(徳島大学機関リポジトリ): ● Metadata: 111014
(出版サイトへのリンク): ● Publication site (DOI): 10.7567/JJAP.56.026601
(文献検索サイトへのリンク): ● Search Scopus @ Elsevier (DOI): 10.7567/JJAP.56.026601

(徳島大学機関リポジトリ: 111014, DOI: 10.7567/JJAP.56.026601) Naoya Kakimoto, Takashi Eyama, Rui Izutsu and Takuro Tomita :
The Shape of The Exfoliated Surface during Femtosecond Laser Ablation,
Journal of Laser Micro/Nanoengineering, Vol.11, No.1, 91-94, 2016.

(出版サイトへのリンク): ● Publication site (DOI): 10.2961/jlmn.2016.01.0017
(文献検索サイトへのリンク): ● Search Scopus @ Elsevier (DOI): 10.2961/jlmn.2016.01.0017

(DOI: 10.2961/jlmn.2016.01.0017) Yusuke Takidani, Kazuki Morimoto, Kenta Kondo, Tomoyuki Ueki, Takuro Tomita, Yasuhiro Tanaka and Tatsuya Okada :
Low-Temperature Diffusion at Ni/SiC Interface with the Aid of Femtosecond Laser-Induced Strain,
Journal of Laser Micro/Nanoengineering, Vol.10, No.3, 314-319, 2015.

(出版サイトへのリンク): ● Publication site (DOI): 10.2961/jlmn.2015.03.0014
(文献検索サイトへのリンク): ● Search Scopus @ Elsevier (DOI): 10.2961/jlmn.2015.03.0014

(DOI: 10.2961/jlmn.2015.03.0014) Yun Jeong Choi, Yoshiki Naoi and Takuro Tomita :
Self-organization of highly ordered honeycomb buckling patterns in crystalline thin films,
Japanese Journal of Applied Physics, Vol.54, No.10, 105502-1-105502-5, 2015.

(出版サイトへのリンク): ● Publication site (DOI): 10.7567/JJAP.54.105502
(文献検索サイトへのリンク): ● Summary page in Scopus @ Elsevier: 2-s2.0-84943327917

(DOI: 10.7567/JJAP.54.105502, Elsevier: Scopus) Manato Deki, Takahiro Makino, Kazutoshi Kojima, Takuro Tomita and Takeshi Ohshima :
Instability of Critical Electric Field in Gate Oxide Film of Heavy Ion Irradiated SiC MOSFETs,
Materials Science Forum, Vol.821-823, 673-676, 2015.

(出版サイトへのリンク): ● Publication site (DOI): 10.4028/www.scientific.net/MSF.821-823.673
(文献検索サイトへのリンク): ● Summary page in Scopus @ Elsevier: 2-s2.0-84950327332

(DOI: 10.4028/www.scientific.net/MSF.821-823.673, Elsevier: Scopus) N. A. Inogamov, V. V. Zhakhovsky, Noboru Hasegawa, Masaharu Nishikino, Mitsuru Yamagiwa, Masahiko Ishino, M. B. Agranat, S. I. Ashitkov, A. Ya. Faenov, V. A. Khokhlov, D. K. Ilnitsky, Yu. V. Petrov, K. P. Migdal, T. A. Pikuz, Shodai Takayoshi, Takashi Eyama, Naoya Kakimoto, Takuro Tomita, Motoyoshi Baba, Yasuo Minami, Tohru Suemoto and Tetsuya Kawachi :
Hydrodynamics driven by ultrashort laser pulse: simulations and the optical pump X ray probe experiment,
Applied Physics. B, Lasers and Optics, Vol.119, 413-419, 2015.

(出版サイトへのリンク): ● Publication site (DOI): 10.1007/s00340-015-6039-7
(文献検索サイトへのリンク): ● Summary page in Scopus @ Elsevier: 2-s2.0-84922970376

(DOI: 10.1007/s00340-015-6039-7, Elsevier: Scopus) Motoyoshi Baba, Masaharu Nishikino, Noboru Hasegawa, Takuro Tomita, Yasuo Minami, Ryota Takei, Mitsuru Yamagiwa, Tetsuya Kawachi and Tohru Suemoto :
Submicron scale image observation with a grazing incidence reflection-type single-shot soft X-ray microscope,
Japanese Journal of Applied Physics, Vol.53, 080302-1-080302-4, 2014.

(要約): A grazing incidence reflection-type soft X-ray microscope, using a Fresnel zone plate and a soft X-ray laser with wavelength 13.9 nm and pulse width 7 ps, was developed. Submicron size groove structures made on a Pt film were clearly captured at a single shot exposure, with spatial resolution of about 360 nm. A wide field view of 100 µm square was secured under the Kohler illumination. This microscope also had a large depth of focus of more than 100 µm and was proven to have a sufficient performance for observing surface morphological changes.
(出版サイトへのリンク): ● Publication site (DOI): 10.7567/JJAP.53.080302
(文献検索サイトへのリンク): ● CiNii @ 国立情報学研究所 (CRID): 1360284924866274176; ● Summary page in Scopus @ Elsevier: 2-s2.0-84905992345

(DOI: 10.7567/JJAP.53.080302, CiNii: 1360284924866274176, Elsevier: Scopus) Takuro Tomita, Masaharu Nishikino, Noboru Hasegawa, Yasuo Minami, Ryota Takei, Motoyoshi Baba, Takashi Eyama, Shodai Takayoshi, Takeshi Kaihori, Toshimasa Morita, Yusuke Hirano, Tetsuya Kawachi, Mitsuru Yamagiwa and Tohru Suemoto :
Time-resolved soft x-ray imaging of femtosecond laser ablation processes on metals,
Journal of Laser Micro/Nanoengineering, Vol.9, No.2, 137-142, 2014.

(出版サイトへのリンク): ● Publication site (DOI): 10.2961/jlmn.2014.02.0011
(文献検索サイトへのリンク): ● Summary page in Scopus @ Elsevier: 2-s2.0-84903182594

(DOI: 10.2961/jlmn.2014.02.0011, Elsevier: Scopus) Manato Deki, Takahiro Makino, Kazutoshi Kojima, Takuro Tomita and Takeshi Ohshima :
Single Event Gate Rupture in SiC MOS Capacitors with Different Gate Oxide Thicknesses,
Materials Science Forum, Vol.778-780, 440-443, 2014.

(出版サイトへのリンク): ● Publication site (DOI): 10.4028/www.scientific.net/MSF.778-780.440
(文献検索サイトへのリンク): ● Summary page in Scopus @ Elsevier: 2-s2.0-84896072751

(DOI: 10.4028/www.scientific.net/MSF.778-780.440, Elsevier: Scopus) Manato Deki, Tomoki Oka, Shodai Takayoshi, Yoshiki Naoi, Takahiro Makino, Takeshi Ohshima and Takuro Tomita :
Temperature Dependence of Electric Conductivities in Femtosecond Laser Modified Areas in Silicon Carbide,
Materials Science Forum, Vol.778-780, 661-664, 2014.

(出版サイトへのリンク): ● Publication site (DOI): 10.4028/www.scientific.net/MSF.778-780.661
(文献検索サイトへのリンク): ● Summary page in Scopus @ Elsevier: 2-s2.0-84896091686

(DOI: 10.4028/www.scientific.net/MSF.778-780.661, Elsevier: Scopus) Manato Deki, Takahiro Makino, Naoya Iwamoto, Shinobu Onoda, Kazutoshi Kojima, Takuro Tomita and Takeshi Ohshima :
Linear energy transfer dependence of single event gate rupture in SiC MOS capacitors,
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms, Vol.319, 75-78, 2014.

(出版サイトへのリンク): ● Publication site (DOI): 10.1016/j.nimb.2013.09.014
(文献検索サイトへのリンク): ● Summary page in Scopus @ Elsevier: 2-s2.0-84889666566

(DOI: 10.1016/j.nimb.2013.09.014, Elsevier: Scopus) Shin-ichi Nakashima, Takuro Tomita, Natsuki Kuwahara, Takeshi Mitani, Ken Tomobe, Shin-ichi Nishizawa and Hajime Okumura :
Raman intensity profiles of zone-folded modes in SiC: Identification of stacking sequence of 10H-SiC,
Journal of Applied Physics, Vol.114, No.19, 193510-1-193510-7, 2013.

(出版サイトへのリンク): ● Publication site (DOI): 10.1063/1.4828996
(文献検索サイトへのリンク): ● Search Scopus @ Elsevier (DOI): 10.1063/1.4828996

(DOI: 10.1063/1.4828996) Shigeki Matsuo, Yoshifumi Umeda, Takuro Tomita and Shuichi Hashimoto :
Laser-Scanning Direction Effect in Femtosecond Laser-Assisted Etching,
Journal of Laser Micro/Nanoengineering, Vol.8, No.1, 35-38, 2013.

(要約): In this study we examined how the laser-scanning direction during the inscription of modified lines affects to the etching rate along the lines in the femtosecond laser-assisted etching. An isotropic material (silica) was used as the sample. Circular polarization was used for inscribing modified lines, in order to avoid a direction effect arising from polarization. Scanning direction dependence was observed in the etching rate along the modified lines. The relation between the occurrence of a scanning direction effect and the other inscribing parameters (pitch and pulse energy) was examined.
(キーワード): フェムト秒レーザー支援エッチング (femtosecond laser-assisted etching) / scanning direction effect / quill effect / silica glass / KOH / etching rate / pulse front tilt
(出版サイトへのリンク): ● Publication site (DOI): 10.2961/jlmn.2013.01.0008
(文献検索サイトへのリンク): ● Summary page in Scopus @ Elsevier: 2-s2.0-84877677945

(DOI: 10.2961/jlmn.2013.01.0008, Elsevier: Scopus) Takuro Tomita, Minoru Yamamoto, Noboru Hasegawa, Kota Terakawa, Yasuo Minami, Masaharu Nishikino, Masahiko Ishino, Takeshi Kaihori, Yoshihiro Ochi, Tetsuya Kawachi, Mitsuru Yamagiwa and Tohru Suemoto :
Experimental verification of femtosecond laser ablation schemes by time-resolved soft x-ray reflective imaging,
Optics Express, Vol.20, No.28, 29329-29337, 2012.

(要約): Pump and probe reflective imaging using a soft x-ray laser probe was applied to the observation of the early stage of femtosecond laser ablation process on platinum. In strongly excited area, drastic and fast reflectivity drop was observed. In moderately excited area, the decay of the reflectivity is slower than that in the strongly excited area, and the reflectivity reaches its minimum at t = 160 ps. In weakly excited area, laser-induced reflectivity change was not observed. In addition, the point where the reflectivity dip was observed at t = 10 ps and t = 40 ps, coincides with the position of the edge of reflectivity drop at t = 160 ps. These results give the critical information about the femtosecond laser ablation.
(出版サイトへのリンク): ● Publication site (DOI): 10.1364/OE.20.029329
(文献検索サイトへのリンク): ● PubMed @ National Institutes of Health, US National Library of Medicine (PMID): 23388759; ● Search Scopus @ Elsevier (PMID): 23388759; ● Search Scopus @ Elsevier (DOI): 10.1364/OE.20.029329

(DOI: 10.1364/OE.20.029329, PubMed: 23388759) Tatsuya Okada, Takuro Tomita, Shigeki Matsuo, Shuichi Hashimoto, Ryota Kashino and Takuto Ito :
Formation of Nanovoids in Femtosecond Laser-Irradiated Single Crystals of Silicon Carbide,
Materials Science Forum, Vol.725, 19-22, 2012.

(出版サイトへのリンク): ● Publication site (DOI): 10.4028/www.scientific.net/MSF.725.19
(文献検索サイトへのリンク): ● Search Scopus @ Elsevier (DOI): 10.4028/www.scientific.net/MSF.725.19

(DOI: 10.4028/www.scientific.net/MSF.725.19) O Ryongsok, Atsushi Iwamoto, Yuki Nishi, Yuya Funase, Takahiro Yuasa, Takuro Tomita, Masao Nagase, Hiroki Hibino and Hiroshi Yamaguchi :
Microscopic Raman mapping of epitaxial graphene on 4H-SiC (0001),
Japanese Journal of Applied Physics, Part 1 (Regular Papers & Short Notes), Vol.51, No.6, 06FD06-(5pp), 2012.

(要約): We propose a quality control method for wafer-scale epitaxial graphene grown on SiC substrates. The peak position of Raman spectra of epitaxial graphene is an excellent indicator of film quality and reveals irregularities, such as graphene thickness inhomogeneity and SiC substrate defects. A comparison of microscopic Raman maps and scanning probe microscopy images of the same position of the sample revealed that wave numbers of Raman peaks (G and 2D band peaks) were strongly correlated with the strain in the graphene film. The increase in number of graphene layers (2 to 3--4 layers) induced phonon softening ({im}6 cm-1) and broadening ({im}6 cm-1) of the 2D band peak. Significant phonon softening and abnormal broadening of the Raman peaks were observed at residual scratches on the SiC substrate. The quantitative layer number distribution of graphene on SiC is successfully estimated from the wave number distribution of the 2D band peak.
(徳島大学機関リポジトリ): ● Metadata: 110898
(出版サイトへのリンク): ● Publication site (DOI): 10.1143/JJAP.51.06FD06
(文献検索サイトへのリンク): ● CiNii @ 国立情報学研究所 (CRID): 1050001337466226688; ● Search Scopus @ Elsevier (DOI): 10.1143/JJAP.51.06FD06

(徳島大学機関リポジトリ: 110898, DOI: 10.1143/JJAP.51.06FD06, CiNii: 1050001337466226688) Shigeki Matsuo, Lihe Yan, Jinhai Si, Takuro Tomita and Shuichi Hashimoto :
Reduction of Pulse-to-Pulse Fluctuation in Laser Pulse Energy using the Optical Kerr Effect,
Optics Letters, Vol.37, No.10, 1646-1648, 2012.

(要約): An all-optical stabilization method of laser pulse energy is proposed using the optical Kerr effect (OKE). The method uses the OKE induced by a portion of the laser pulse as a power controller. The decrease (increase) in the throughput of the optical setup for OKE compensates for the increase (decrease) in pulse energy, thereby stabilizing the pulse-to-pulse fluctuation in pulse energy. The validity of this principle was proven by experiments with a femtosecond laser.
(出版サイトへのリンク): ● Publication site (DOI): 10.1364/OL.37.001646
(文献検索サイトへのリンク): ● PubMed @ National Institutes of Health, US National Library of Medicine (PMID): 22627524; ● Search Scopus @ Elsevier (PMID): 22627524; ● Search Scopus @ Elsevier (DOI): 10.1364/OL.37.001646

(DOI: 10.1364/OL.37.001646, PubMed: 22627524) Takuto Ito, Manato Deki, Takuro Tomita, Shigeki Matsuo, Shuichi Hashimoto, Takahiro Kitada, Toshiro Isu, Shinobu Onoda and Takeshi Oshima :
Electrical conduction properties of SiC modified by femtosecond laser,
Journal of Laser Micro/Nanoengineering, Vol.7, No.1, 16-20, 2012.

(出版サイトへのリンク): ● Publication site (DOI): 10.2961/jlmn.2012.01.0003
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(DOI: 10.2961/jlmn.2012.01.0003) Yoshihiro Ochi, Kota Terakawa, Noboru Hasegawa, Minoru Yamamoto, Takuro Tomita, Tetsuya Kawachi, Yasuo Minami, Masaharu Nishikino, Takashi Imazono, Masahiko Ishino and Tohru Suemoto :
Picosecond Soft-X-ray Laser Interferometer for Probing Nanometer Surface Structure,
Japanese Journal of Applied Physics, Vol.51, 016601(1-3), 2012.

(出版サイトへのリンク): ● Publication site (DOI): 10.1143/JJAP.51.016601
(文献検索サイトへのリンク): ● CiNii @ 国立情報学研究所 (CRID): 1520009408887527936; ● Search Scopus @ Elsevier (DOI): 10.1143/JJAP.51.016601

(DOI: 10.1143/JJAP.51.016601, CiNii: 1520009408887527936) Shigeki Matsuo, Kodai Iwasa, Takuro Tomita, Shuichi Hashimoto and Tatsuya Okada :
Femtosecond Laser-Assisted Etching of Fluoride Crystals,
Journal of Laser Micro/Nanoengineering, Vol.6, No.3, 245-248, 2011.

(出版サイトへのリンク): ● Publication site (DOI): 10.2961/jlmn.2011.03.0014
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(DOI: 10.2961/jlmn.2011.03.0014) Takuro Tomita, Ryota Kumai, Hidenori Nomura, Shigeki Matsuo, Shuichi Hashimoto, Ken Morita and Toshiro Isu :
Surface roughness assisted 100 kHz femtosecond laser induced nanostructure formation on silicon surface,
Applied Physics. A, Materials Science & Processing, Vol.105, No.1, 89-94, 2011.

(キーワード): PULSES / SEMICONDUCTORS / GERMANIUM / DAMAGE
(出版サイトへのリンク): ● Publication site (DOI): 10.1007/s00339-011-6490-1
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(DOI: 10.1007/s00339-011-6490-1) Manato Deki, Takuto Ito, Minoru Yamamoto, Takuro Tomita, Shigeki Matsuo, Shuichi Hashimoto, Takahiro Kitada, Toshiro Isu, Shinobu Onoda and Takeshi Ohshima :
Enhancement of local electrical conductivities in SiC by femtosecond laser modification,
Applied Physics Letters, Vol.98, No.13, 133104-1-133104-3, 2011.

(出版サイトへのリンク): ● Publication site (DOI): 10.1063/1.3573786
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(DOI: 10.1063/1.3573786) Tohru Suemoto, Kota Terakawa, Yoshihiro Ochi, Takuro Tomita, Minoru Yamamoto, Noboru Hasegawa, Manato Deki, Yasuo Minami and Tetsuya Kawachi :
Single-shot picosecond interferometry with one-nanometer resolution for dynamical surface morphology using a soft X-ray laser,
Optics Express, Vol.18, No.13, 14114-14122, 2010.

(要約): Using highly coherent radiation at a wavelength of 13.9 nm from a Ag-plasma soft X-ray laser, we constructed a pump-and-probe interferometer based on a double Lloyd's mirror system. The spatial resolutions are evaluated with a test pattern, showing 1.8-mum lateral resolution, and 1-nm depth sensitivity. This instrument enables a single-shot observation of the surface morphology with a 7-ps time-resolution. We succeeded in observing a nanometer scale surface dilation of Pt films at the early stage of the ablation process initiated by a 70 fs near infrared pump pulse.
(キーワード): Equipment Design / Interferometry / Lasers / Microscopy, Electron, Scanning / Models, Theoretical / Nanoparticles / Nanotechnology / Platinum / Silicon Dioxide / Ultraviolet Rays / X-Rays
(出版サイトへのリンク): ● Publication site (DOI): 10.1364/OE.18.014114
(文献検索サイトへのリンク): ● PubMed @ National Institutes of Health, US National Library of Medicine (PMID): 20588544; ● Search Scopus @ Elsevier (PMID): 20588544; ● Search Scopus @ Elsevier (DOI): 10.1364/OE.18.014114

(DOI: 10.1364/OE.18.014114, PubMed: 20588544) Takuro Tomita, Tatsuya Okada, Hiroyuki Kawahara, Ryota Kumai, Shigeki Matsuo, Shuichi Hashimoto, Masako Kawamoto, Makoto Yamaguchi, Shigeru Ueno, Emi Shindou and Akira Yoshida :
Microscopic analysis of carbon phases induced by femtosecond laser irradiation on single-crystal SiC,
Applied Physics. A, Materials Science & Processing, Vol.100, No.1, 113-117, 2010.

(出版サイトへのリンク): ● Publication site (DOI): 10.1007/s00339-010-5786-x
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(DOI: 10.1007/s00339-010-5786-x) Kensuke Tokumi, Shigeki Matsuo, Satoshi Kiyama, Takuro Tomita and Shuichi Hashimoto :
Micro Three-dimensional Removal Processing inside Sapphire Substrate,
Journal of Laser Micro/Nanoengineering, Vol.5, No.2, 179-182, 2010.

(出版サイトへのリンク): ● Publication site (DOI): 10.2961/jlmn.2010.02.0015
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(DOI: 10.2961/jlmn.2010.02.0015) Makoto Yamaguchi, Shigeru Ueno, Ryota Kumai, Keita Kinoshita, Toshiaki Murai, Takuro Tomita, Shigeki Matsuo and Shuichi Hashimoto :
Raman spectroscopic study of femtosecond laser-induced phase transformation associated with ripple formation on single-crystal SiC,
Applied Physics. A, Materials Science & Processing, Vol.99, No.1, 23-27, 2010.

(出版サイトへのリンク): ● Publication site (DOI): 10.1007/s00339-010-5569-4
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(DOI: 10.1007/s00339-010-5569-4) Makoto Yamaguchi, Masayuki Fujitsuka, Shigeru Ueno, Ichiro Miura, Wataru Erikawa and Takuro Tomita :
Study of indentation damage in single crystal silicon carbide by using micro Raman spectroscopy,
Materials Science Forum, Vol.645-648, 551-554, 2010.

(出版サイトへのリンク): ● Publication site (DOI): 10.4028/www.scientific.net/MSF.645-648.551
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(DOI: 10.4028/www.scientific.net/MSF.645-648.551) Takuro Tomita, Masahiro Iwami, Minoru Yamamoto, Manato Deki, Shigeki Matsuo, Shuichi Hashimoto, Yoshinori Nakagawa, Takahiro Kitada, Toshiro Isu, Shingo Saito, Kiyomi Sakai, Shinobu Onoda and Takeshi Ohshima :
Electronic properties of femtosecond laser induced modified spots on single crystal silicon carbide,
Materials Science Forum, Vol.645-648, 239-242, 2010.

(出版サイトへのリンク): ● Publication site (DOI): 10.4028/www.scientific.net/MSF.645-648.239
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(DOI: 10.4028/www.scientific.net/MSF.645-648.239, Elsevier: Scopus) Minoru Yamamoto, Manato Deki, Tomonori Takahashi, Takuro Tomita, Tatsuya Okada, Shigeki Matsuo, Shuichi Hashimoto, Makoto Yamaguchi, Kei Nakagawa, Nobutomo Uehara and Masaru Kamano :
Raman Spectroscopic Stress Evaluation of Femtosecond-Laser-Modified Region Inside 4H-SiC,
Applied Physics Express, Vol.3, No.1, 016603-1-016603-3, 2010.

(要約): A femtosecond (fs)-laser-modified region inside single-crystal silicon carbide was studied by micro-Raman spectroscopy. Higher and lower peak energy shifts of the transverse optical (TO) phonon mode, which correspond to compressive and tensile stresses, were observed. Mappings of peak energies and spectral widths of the TO phonon mode showed a clear correspondence with the distributions of strained layers observed by transmission electron microscopy. The maximum compressive and tensile stresses were estimated to be 1.4 and 0.4 GPa, respectively. This result indicates that the periodic strained layers contain many nano-voids which are formed by nano-explosions induced by fs laser irradiation.
(出版サイトへのリンク): ● Publication site (DOI): 10.1143/APEX.3.016603
(文献検索サイトへのリンク): ● CiNii @ 国立情報学研究所 (CRID): 1523106605189982720; ● Search Scopus @ Elsevier (DOI): 10.1143/APEX.3.016603

(DOI: 10.1143/APEX.3.016603, CiNii: 1523106605189982720) Takuro Tomita, Masahiro Iwami, Shigeki Matsuo, Shuichi Hashimoto, Shingo Saito and Kiyomi Sakai :
Fourier-transform Infrared Spectroscopy of Femtosecond Laser-modified SiC,
Journal of Laser Micro/Nanoengineering, Vol.4, No.3, 182-185, 2009.

(キーワード): Femtosecond laser / silicon carbide (SiC) / Fourier transform infrared (FTIR) spectroscopy / PERIODIC SURFACE-STRUCTURE / REFLECTANCE / GAAS
(出版サイトへのリンク): ● Publication site (DOI): 10.2961/jlmn.2009.03.0007
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(DOI: 10.2961/jlmn.2009.03.0007) Shigeki Matsuo, Haruki Sumi, Satoshi Kiyama, Takuro Tomita and Shuichi Hashimoto :
Femtosecond laser-assisted etching of Pyrex glass with aqueous solution of KOH,
Applied Surface Science, Vol.255, No.24, 9758-9760, 2009.

(出版サイトへのリンク): ● Publication site (DOI): 10.1016/j.apsusc.2009.04.065
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(DOI: 10.1016/j.apsusc.2009.04.065) Tatsuya Okada, Takuro Tomita, Shigeki Matsuo, Shuichi Hashimoto, Yoichiro Ishida, Satoshi Kiyama and Tomonori Takahashi :
Formation of periodic strained layers associated with nanovoids inside a silicon carbide single crystal induced by femtosecond laser irradiation,
Journal of Applied Physics, Vol.106, No.5, 054307-1-054307-4, 2009.

(出版サイトへのリンク): ● Publication site (DOI): 10.1063/1.3211311
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(DOI: 10.1063/1.3211311) Takuro Tomita, Ryota Kumai, Shigeki Matsuo, Shuichi Hashimoto and Makoto Yamaguchi :
Cross-sectional morphological profiles of ripples on Si, SiC, and HOPG,
Applied Physics. A, Materials Science & Processing, Vol.97, No.2, 271-276, 2009.

(キーワード): PERIODIC SURFACE-STRUCTURE / LASER IRRADIATION / INDIUM-PHOSPHIDE / FEMTOSECOND / FILMS / PULSES / DAMAGE / GE
(出版サイトへのリンク): ● Publication site (DOI): 10.1007/s00339-009-5364-2
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(DOI: 10.1007/s00339-009-5364-2) Satoshi Kiyama, Takuro Tomita, Shigeki Matsuo and Shuichi Hashimoto :
Laser Fabrication and Manipulation of an Optical Rotator Embedded inside a Transparent Solid Material,
Journal of Laser Micro/Nanoengineering, Vol.4, No.1, 18-21, 2009.

(キーワード): laser trapping / optical rotator / four-wing rotator / top-sloped rotator / silica glass / femtosecond laser-assisted etching / FEMTOSECOND LASER / MICROSCOPIC PARTICLES / RADIATION PRESSURE / SURFACE / GLASS
(出版サイトへのリンク): ● Publication site (DOI): 10.2961/jlmn.2009.01.0004
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(DOI: 10.2961/jlmn.2009.01.0004) Takuro Tomita, Ryota Kumai, Keita Kinoshita, Shigeki Matsuo, Shuichi Hashimoto, Hirokazu Nagase, Makoto Nakajima and Tohru Suemoto :
Femtosecond Laser-Induced Surface Patterning on 4H-SiC,
Materials Science Forum, Vol.600-603, 879-882, 2009.

(出版サイトへのリンク): ● Publication site (DOI): 10.4028/www.scientific.net/MSF.600-603.879
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(DOI: 10.4028/www.scientific.net/MSF.600-603.879, Elsevier: Scopus) Shuichi Hashimoto, Kazuo Samata, Tatsuya Shoji, Nobuyuki Taira, Takuro Tomita and Shigeki Matsuo :
Preparation of large-scale 2D zeolite crystal array structures to achieve optical functionality,
Microporous and Mesoporous Materials, Vol.117, No.1-2, 220-227, 2008.

(要約): We examined a method to refine a technique to prepare close-packed monolayers of cylindrical zeolite L crystals tethered on a substrate through covalent linkages, which was developed recently for popular use. We attempted to fabricate both vertical and horizontal-unidirectional alignments of the zeolite particles. The vertical alignment for centimeter scale large areas was achieved on a flat glass substrate by using flat-based zeolite crystals with an aspect ratio (length divided by width) of 1.1 while the crystals with an aspect ratio of 1.7 failed to align vertically. Thus the parameters important for successful alignment were determined. On the other hand, the unidirectional alignment in the horizontal packing structures was achieved by employing pregrooved substrates. We found that the relationship between the sizes of zeolite crystals and grooves is a crucial factor for the preparation of a close-packed structure. In this respect, our present preparation requires further improvements because it resulted in structures with many void spaces. Furthermore, we prepared the zeolite films loaded with unidirectionally aligned dyes to achieve optical functionalities.
(出版サイトへのリンク): ● Publication site (DOI): 10.1016/j.micromeso.2008.06.028
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(DOI: 10.1016/j.micromeso.2008.06.028) Daniel Werner, Shuichi Hashimoto, Takuro Tomita, Shigeki Matsuo and Yoji Makita :
In-situ spectroscopic measurements of laser ablation-induced splitting and agglomeration of metal nanoparticles in solution,
The Journal of Physical Chemistry C, Vol.112, No.43, 16801-16808, 2008.

(要約): This report describes the pulsed-laser induced events of noble metal flakes and nanoparticles (NPs) in liquids studied by an in situ extinction spectroscopy which allowed the detection of time-dependent events such as the pulverization of flakes concomitantly with the growth of nanoparticles (NPs) and the splitting of NPs into smaller particles. Two key observations were made in the present study. First, we observed a remarkable spectral modification ascribable to a size reduction during the 532 and 1064 nm laser ablation of the flakes from NPs with a characteristic surface plasmon (SP) band to much smaller NPs (< 2-3 nm diameter) devoid of the SP band in neat and highly concentrated dodecanethiol solutions at moderate laser fluences of 0.7-1.3 J/(cm2 pulse). Previously the production of such small particles was not feasible by the 1064 nm laser light. Only in solvents that thermally decompose by the laser irradiation to give graphite shells to cover NPs or by two-step size reduction procedures, i.e. the initial formation of NPs followed by further splitting due to the absorption of the 532 nm laser light, such observations have been made. Thus we demonstrated a superior nature of dodecanethiol as a solvent to protect the NPs from growing over other solvents such as acetone and water. Second, we observed the laser ablation-induced agglomeration of Au NPs leading to immediate flocculation in pure water. The observation taking place in the time scale of minutes is conceptually different from the previously observed photo-induced coagulation (Kimura, J. Phys. Chem.1994, 98, 2143-2147 & J. Phys. Chem., 1994, 98, 11997-12002), in which a photo-enhanced van der Waals attractive force acting on excitation of the SP band is responsible for the coagulation phenomena taking place over many hours. In the present case, small positively-charged particles produced by the laser ablation of Au NPs by a 532 nm nanosecond pulsed-laser irradiation are responsible for immediate combination reactions with intact negatively-charged species giving rise to unstable bigger particles susceptible to developing flocculations. This deduction is based on the retardation effect of the agglomeration observed in various irradiation atmosphere such as Ar, and O2. Thus the present study shed a light on another aspect of the laser ablation in liquids relevant to the time evolution of NP formation and its growth dynamics in seconds and minutes, which was paid less attention before.
(キーワード): ENHANCED RAMAN-SCATTERING / WAALS ATTRACTIVE FORCE / INDUCED SIZE-REDUCTION / GOLD NANOPARTICLES / AQUEOUS-SOLUTION / SILVER NANOPARTICLES / INDUCED AGGREGATION / PARTICLE-SIZE / AU / FRAGMENTATION
(出版サイトへのリンク): ● Publication site (DOI): 10.1021/jp804647a
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(DOI: 10.1021/jp804647a) Shigeki Matsuo, Kensuke Tokumi, Takuro Tomita and Shuichi Hashimoto :
Three-Dimensional Residue-Free Volume Removal inside Sapphire by High-Temperature Etching after Irradiation of Femtosecond Laser Pulses,
Laser Chemistry, Vol.2008, No.5, 892721-1-892721-4, 2008.

(要約): We applied the femtosecond laser-assisted etching technique, that is, irradiation of focused femtosecond laser pulses followed by selective chemical etching, to volume removal inside sapphire. At room temperature, volume etching only slightly advanced while residue remained inside the volume. By increasing the etching temperature, complete volume etching without residue was achieved. Complete etching was, however, accompanied by undesirable phenomena of surface pits or cracks, which are expected to be excluded through further improvement of processing.
(出版サイトへのリンク): ● Publication site (DOI): 10.1155/2008/892721
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(DOI: 10.1155/2008/892721) Shigeki Matsuo, Satoshi Kiyama, Yoshinori Shichijo, Takuro Tomita, Shuichi Hashimoto, Yoichiroh Hosokawa and Hiroshi Masuhara :
Laser microfabrication and rotation of ship-in-a-bottle optical rotators,
Applied Physics Letters, Vol.93, No.5, 051107-1-051107-3, 2008.

(キーワード): FEMTOSECOND LASER / PHOTOSENSITIVE GLASS / PARTICLES / BEAM / FABRICATION / PRESSURE / DRIVEN / LIGHT
(出版サイトへのリンク): ● Publication site (DOI): 10.1063/1.2967872
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(DOI: 10.1063/1.2967872) Tatsuya Okada, Hiroyuki Kawahara, Yoichiro Ishida, Ryota Kumai, Takuro Tomita, Shigeki Matsuo, Shuichi Hashimoto, Masako Kawamoto, Yoji Makita and Makoto Yamaguchi :
Cross-sectional TEM analysis of laser-induced ripple structures on the 4H-SiC single-crystal surface,
Applied Physics. A, Materials Science & Processing, Vol.92, No.3, 665-668, 2008.

(出版サイトへのリンク): ● Publication site (DOI): 10.1007/s00339-008-4611-2
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(DOI: 10.1007/s00339-008-4611-2) Daniel Werner, Shuichi Hashimoto, Takuro Tomita, Shigeki Matsuo and Yoji Makita :
Examination of silver nanoparticle fabrication by pulsed-laser ablation of flakes in primary alcohols,
The Journal of Physical Chemistry C, Vol.112, No.5, 1321-1329, 2008.

(要約): This paper describes the formation and subsequent behavior of silver nanoparticles (NPs) observed by optical spectra, AFM (atomic force microscopy), and TEM (transmission electron microscopy) in primary alcohols by nanosecond pulsed-laser irradiation (1064 and 532 nm, typically at 1 J/(cm2 pulse)) of silver flakes. Effects of the carbon chain-length of the solvents and the irradiation atmosphere of the solutions on the Ag NP formation were investigated. The effect of alcohol chain length in aerated solutions can be described as follows: (1) in short-chain alcohols such as methanol and ethanol, the NPs are extremely unstable and easily settled down to form precipitates by centrifugation treatment; (2) very stable NPs are formed with an appreciably smaller particle size distribution in alcohols with chain lengths from C-3 to C-5 than in alcohols with longer chain length than C-5; (3) the yield of NPs are dependent on the alcohol chain length. On the other hand, the yield of NPs is greater in Ar- and N2-saturated solutions than that in aerated solutions. Besides, the yield is similar regardless of the chain length with smaller size distributions than in air-equilibrated solutions. Oxygen molecules dissolved in the solvents are responsible for these observations. The oxygen effect consists of two parts: (1) the scavenging of electrons generated by the plasma formation and thermoionic emission due to extremely high temperature under the ablation condition; (2) the formation of oxide layer on the surface of particles that hamper further growth processes to form NPs. Furthermore, we observed the formation of string segments in evacuated ethanol due to coagulation and coalescence of bare metal particles, giving rise to the splitting of the plasmon band. Thus we demonstrated that the systematic change in the solvent and irradiation atmosphere can control the particle size and size distribution. The present findings may add a new aspect to better manipulate NP fabrication based upon laser ablation method.
(キーワード): INDUCED SIZE-REDUCTION / GOLD NANOPARTICLES / AQUEOUS-SOLUTION / METAL PARTICLES / SURFACE-CHEMISTRY / ORGANIC-SOLVENTS / FRAGMENTATION / SPECTROSCOPY / IRRADIATION / ELECTRONS
(出版サイトへのリンク): ● Publication site (DOI): 10.1021/jp075401g
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(DOI: 10.1021/jp075401g) Takuro Tomita, Yasuhiro Fukumori, Keita Kinoshita, Shigeki Matsuo and Shuichi Hashimoto :
Observation of laser-induced surface waves on flat silicon surface,
Applied Physics Letters, Vol.92, No.1, 013104-1-013104-3, 2008.

(キーワード): SUBWAVELENGTH RIPPLE FORMATION / PULSE WIDTH / NANOSTRUCTURES / IRRADIATION / INTERFACE / ABLATION / DAMAGE
(出版サイトへのリンク): ● Publication site (DOI): 10.1063/1.2828983
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(DOI: 10.1063/1.2828983) Shigeki Matsuo, Takashi Miyamoto, Takuro Tomita and Shuichi Hashimoto :
Applications of microlens array and photomask to the laser microfabrication of periodic photopolymer rod array,
Applied Optics, Vol.46, No.34, 8264-8267, 2007.

(要約): We report the simultaneous multipoint fabrication of polymer rods by the femtosecond laser processing of a negative photoresist using a microlens array (MLA). The rods were periodically arranged in the form of an array corresponding to the MLA and free-standing on a glass substrate. The use of a photomask enabled us to define the contour of the rod array. Furthermore, sample translation techniques were demonstrated for the effective fabrication of large-area structures.
(出版サイトへのリンク): ● Publication site (DOI): 10.1364/AO.46.008264
(文献検索サイトへのリンク): ● PubMed @ National Institutes of Health, US National Library of Medicine (PMID): 18059666; ● Summary page in Scopus @ Elsevier: 2-s2.0-39049146201

(DOI: 10.1364/AO.46.008264, PubMed: 18059666, Elsevier: Scopus) Takuro Tomita, Keita Kinoshita, Toshiaki Murai, Yasuhiro Fukumori, Shigeki Matsuo and Shuichi Hashimoto :
Femtosecond Laser-Induced Ripple Structures in Semiconductor Materials,
Journal of Laser Micro/Nanoengineering, Vol.2, No.2, 141-145, 2007.

(キーワード): ripple / femtosecond laser / silicon / silicon carbide / threshold
(出版サイトへのリンク): ● Publication site (DOI): 10.2961/jlmn.2007.02.0007
(文献検索サイトへのリンク): ● Summary page in Scopus @ Elsevier: 2-s2.0-42149144795

(DOI: 10.2961/jlmn.2007.02.0007, Elsevier: Scopus) Shigeki Matsuo, Yoshinori Shichijo, Takuro Tomita and Shuichi Hashimoto :
Laser Fabrication of Ship-in-a-bottle Microstructures in Sapphire,
Journal of Laser Micro/Nanoengineering, Vol.2, No.2, 114-116, 2007.

(キーワード): laser trapping / optical rotator / ship-in-a-bottle / femtosecond laser-assisted etching / sapphire
(出版サイトへのリンク): ● Publication site (DOI): 10.2961/jlmn.2007.02.0001
(文献検索サイトへのリンク): ● Summary page in Scopus @ Elsevier: 2-s2.0-39049111733

(DOI: 10.2961/jlmn.2007.02.0001, Elsevier: Scopus) Takuro Tomita, Keita Kinoshita, Shigeki Matsuo and Shuichi Hashimoto :
Effect of surface roughening on femtosecond laser-induced ripple structures,
Applied Physics Letters, Vol.90, No.15, 153115-1-153115-3, 2007.

(キーワード): ABLATION / PULSES / DYNAMICS / TIN
(出版サイトへのリンク): ● Publication site (DOI): 10.1063/1.2720709
(文献検索サイトへのリンク): ● Search Scopus @ Elsevier (DOI): 10.1063/1.2720709

(DOI: 10.1063/1.2720709) Shin-ichi Nakashima, Takeshi Mitani, Takuro Tomita, Tomohisa Kato, Shin-ichi Nishizawa, Hajime Okumura and Hiroshi Harima :
Observation of surface polarity dependent phonons in SiC by deep ultraviolet Raman spectroscopy,
Physical Review B, Condensed Matter and Materials Physics, Vol.75, No.11, 115321-1-115321-5, 2007.

(出版サイトへのリンク): ● Publication site (DOI): 10.1103/PhysRevB.75.115321
(文献検索サイトへのリンク): ● Search Scopus @ Elsevier (DOI): 10.1103/PhysRevB.75.115321

(DOI: 10.1103/PhysRevB.75.115321) Tatsuya Okada, Kengo Ochi, Hiroyuki Kawahara, Takuro Tomita, Shigeki Matsuo, Makoto Yamaguchi, Kouichi Higashimine and Tsunenobu Kimoto :
Source of Surface Morphological Defects Formed on 4H-SiC Homoepitaxial Films,
Japanese Journal of Applied Physics, Part 1 (Regular Papers & Short Notes), Vol.45, No.10A, 7625-7631, 2006.

(要約): Plan-view transmission electron microscopy (TEM) was carried out to investigate the source of morphological defects formed on the surface of 4H-SiC homoepitaxial films. The source at the substrate/epifilm interface consisted of an inclusion and partial dislocations emerging from it. Selected-area diffraction pattern analysis, energy dispersive X-ray spectroscopy and micro-Raman spectroscopy revealed that the chemical composition of the inclusion was ZrO2. From the comparison between TEM images and calculated images, it was suggested that the partial dislocations were sheared Frank dislocations with the Burgers vector of the (1/12)$angle 4ar{4}03angle$ type.
(キーワード): silicon carbide / SiC / homoepitaxial film / surface morphological defect / transmission electron microscopy / TEM / micro-Raman spectroscopy / zirconia (ZrO2) inclusion / sheared Frank dislocation
(出版サイトへのリンク): ● Publication site (DOI): 10.1143/JJAP.45.7625
(文献検索サイトへのリンク): ● CiNii @ 国立情報学研究所 (CRID): 1520290883497822464; ● Search Scopus @ Elsevier (DOI): 10.1143/JJAP.45.7625

(DOI: 10.1143/JJAP.45.7625, CiNii: 1520290883497822464) Takuro Tomita, Shigeki Matsuo, Tatsuya Okada, Tsunenobu Kimoto, Takeshi Mitani and Shin-ichi Nakashima :
Structures of Comets in a Homoepitaxially Grown 4H-SiC Film Studied by DUV Micro-Raman Spectroscopy,
Materials Science Forum, Vol.527-529, 339-342, 2006.

(出版サイトへのリンク): ● Publication site (DOI): 10.4028/www.scientific.net/MSF.527-529.339
(文献検索サイトへのリンク): ● Search Scopus @ Elsevier (DOI): 10.4028/www.scientific.net/MSF.527-529.339

(DOI: 10.4028/www.scientific.net/MSF.527-529.339) Takuro Tomita, Keita Kinoshita, Shigeki Matsuo and Shuichi Hashimoto :
Distinct Fine and Coarse Ripples on 4H-SiC Single Crystal Induced by Femtosecond Laser Irradiation,
Japanese Journal of Applied Physics, Part 2 (Letters), Vol.45, No.16, L444-L446, 2006.

(要約): Upon femtosecond pulsed-laser irradiation, periodic structures referred to as ``ripples'' were fabricated on the surface of a 4H-SiC single crystal. The periodic structures consisted of two concentric regions in the irradiated spots which were clearly distinguished by the period. Surface morphologies were characterized as a function of energy, accumulation number, and interval of pulses. The difference in the threshold of fine and coarse ripples was identified for the first time. The possible formation mechanisms of these structures were discussed.
(キーワード): ripple / ablation
(出版サイトへのリンク): ● Publication site (DOI): 10.1143/JJAP.45.L444
(文献検索サイトへのリンク): ● CiNii @ 国立情報学研究所 (CRID): 1522825130373923200; ● Search Scopus @ Elsevier (DOI): 10.1143/JJAP.45.L444

(DOI: 10.1143/JJAP.45.L444, CiNii: 1522825130373923200) Takuro Tomita, Shigeki Matsuo, Tatsuya Okada, Tsunenobu Kimoto, Hiroyuki Matsunami, Takeshi Mitani and Shin-ichi Nakashima :
Deep-ultraviolet micro-Raman investigation of surface defects in a 4H-SiC homoepitaxially grown film,
Applied Physics Letters, Vol.87, No.24, 241906-1-241906-3, 2005.

(出版サイトへのリンク): ● Publication site (DOI): 10.1063/1.2142080
(文献検索サイトへのリンク): ● CiNii @ 国立情報学研究所 (CRID): 1050001201935174272; ● Search Scopus @ Elsevier (DOI): 10.1063/1.2142080

(DOI: 10.1063/1.2142080, CiNii: 1050001201935174272) Kazuhiro Nishibayashi, Kohei Seo, Kentaro Kayanuma, Takuro Tomita, Akihiro Murayama and Yasuo Oka :
Pump-Probe Spectroscopy of Exciton Spin Injection Process in Diluted Magnetic Quantum Wells,
Journal of Superconductivity: Incorporating Novel Magnetism, Vol.18, No.3, 399-404, 2005.

(出版サイトへのリンク): ● Publication site (DOI): 10.1007/s10948-005-0016-z
(文献検索サイトへのリンク): ● Summary page in Scopus @ Elsevier: 2-s2.0-33644963585

(DOI: 10.1007/s10948-005-0016-z, Elsevier: Scopus) Takuro Tomita, Ayahito Uetake, Tsutomu Asahina, Kentaro Kayanuma, Akihiro Murayama and Yasuo Oka :
Spin Injection Processes in ZnSe-Based Double Quantum Dots of Diluted Magnetic Semiconductors,
Journal of Superconductivity: Incorporating Novel Magnetism, Vol.18, No.3, 405-410, 2005.

(出版サイトへのリンク): ● Publication site (DOI): 10.1007/s10948-005-0017-y
(文献検索サイトへのリンク): ● Summary page in Scopus @ Elsevier: 2-s2.0-33645014102

(DOI: 10.1007/s10948-005-0017-y, Elsevier: Scopus) Takuro Tomita, Shingo Saito, Tohru Suemoto, Hiroshi Harima and Shin-ichi Nakashima :
Structure dependent ultrafast relaxation time of photo-excited carriers in SiC,
Journal of the Physical Society of Japan, Vol.73, No.9, 2554-2561, 2004.

(要約): The ultrafast inter-conduction band carrier dynamics in 6H-SiC and 4H-SiC was observed by using the pump and probe transient absorption technique. The observed decay times of transmission changes are 1.25ps for 6H-SiC and 630 fs for 4H-SiC, respectively. Dependence of the transmission change on probe wavelength and polarization were analyzed by using the steady-state absorption profiles. From this analysis, the transmission change was ascribed to the decrease of electron population in the lowest conduction band. The experimental results show that the decay of the transmission change was dominated by the inter-band electron phonon scattering. The inter-band deformation potential in 4H-SiC, deduced from the observed decay time, was 1.25 times larger than that in 6H-SiC. This polytype dependence of inter-band deformation potential is discussed in terms of the hexagonality and band-gap energies.
(キーワード): silicon carbide / polytype / electron phonon scattering / transient absorption
(出版サイトへのリンク): ● Publication site (DOI): 10.1143/JPSJ.73.2554
(文献検索サイトへのリンク): ● CiNii @ 国立情報学研究所 (CRID): 1390001204188444032; ● Search Scopus @ Elsevier (DOI): 10.1143/JPSJ.73.2554

(DOI: 10.1143/JPSJ.73.2554, CiNii: 1390001204188444032) Akihiro Murayama, Eizi Nakayama, Takuro Tomita, Izuru Souma and Yasuo Oka :
Interface magnetic properties of MnSe digitally doped in ZnSe-based quantum wells,
Journal of Applied Physics, Vol.95, No.11, 7408-7410, 2004.

(出版サイトへのリンク): ● Publication site (DOI): 10.1063/1.1652425
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(DOI: 10.1063/1.1652425) Zhanghai Chen, Hideki Sakurai, Takuro Tomita, Kentaro Kayanuma, Akihiro Murayama and Yasuo Oka :
Subpicosecond dynamical renormalization of spin-polarized electron-hole plasma in Cd_1-xMn_xTe,
Physica E: Low-dimensional Systems and Nanostructures, Vol.21, No.2-4, 1022-1026, 2004.

(出版サイトへのリンク): ● Publication site (DOI): 10.1016/j.physe.2003.11.163
(文献検索サイトへのリンク): ● Search Scopus @ Elsevier (DOI): 10.1016/j.physe.2003.11.163

(DOI: 10.1016/j.physe.2003.11.163) Eizi Nakayama, Kentaro Kayanuma, Takuro Tomita, Akihiro Murayama, Zhanghai Chen and Yasuo Oka :
Dynamics in magneto-optical properties of digital magnetic Zn_1-xCd_xSe quantum wells,
Physica E: Low-dimensional Systems and Nanostructures, Vol.21, No.2-4, 1027-1031, 2004.

(出版サイトへのリンク): ● Publication site (DOI): 10.1016/j.physe.2003.11.164
(文献検索サイトへのリンク): ● Search Scopus @ Elsevier (DOI): 10.1016/j.physe.2003.11.164

(DOI: 10.1016/j.physe.2003.11.164) Ayahito Uetake, Hiromoto Ikada, Tsutomu Asahina, Mio Sakuma, Kyoko Hyomi, Takuro Tomita, Akihiro Murayama and Yasuo Oka :
Exciton dynamics in quantum nano-structures of II-VI diluted magnetic semiconductors fabricated by electron-beam lithography,
Physica Status Solidi (C) Current Topics in Solid State Physics, Vol.1, No.4, 941-944, 2004.

(出版サイトへのリンク): ● Publication site (DOI): 10.1002/pssc.200304174
(文献検索サイトへのリンク): ● Search Scopus @ Elsevier (DOI): 10.1002/pssc.200304174

(DOI: 10.1002/pssc.200304174) Satoshi Shirotori, Kentaro Kayanuma, Izuru Souma, Takuro Tomita, Akihiro Murayama and Yasuo Oka :
Magnetic-field-induced switching of spin injection in Zn_1-xMn_xTe/ZnTe double quantum wells,
Physica Status Solidi (C) Current Topics in Solid State Physics, Vol.1, No.4, 945-948, 2004.

(出版サイトへのリンク): ● Publication site (DOI): 10.1002/pssc.200304175
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(DOI: 10.1002/pssc.200304175) Hideki Sakurai, Kohei Seo, Zhanghai Chen, Kentaro Kayanuma, Takuro Tomita, Akihiro Murayama and Yasuo Oka :
Ultrafast exciton spin dynamics in Cd_1-xMn_xTe quantum wells studied by transient pump-probe spectroscopy,
Physica Status Solidi (C) Current Topics in Solid State Physics, Vol.1, No.4, 981-984, 2004.

(出版サイトへのリンク): ● Publication site (DOI): 10.1002/pssc.200304250
(文献検索サイトへのリンク): ● Search Scopus @ Elsevier (DOI): 10.1002/pssc.200304250

(DOI: 10.1002/pssc.200304250) Kentaro Kayanuma, Satoshi Shirotori, Zhanghai Chen, Takuro Tomita, Akihiro Murayama and Yasuo Oka :
Spin injection and spin switching of excitons in coupled quantum wells of diluted magnetic semiconductors,
Physica B : Condensed Matter, Vol.340-342, 882-885, 2003.

(出版サイトへのリンク): ● Publication site (DOI): 10.1016/j.physb.2003.09.212
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(DOI: 10.1016/j.physb.2003.09.212) Zhanghai Chen, Hideki Sakurai, Kohei Seo, Kentaro Kayanuma, Takuro Tomita, Akihiro Murayama and Yasuo Oka :
Spin dynamics of excitons and magnetic ions in Cd_1-xMn_xTe/Cd_1-yMg_yTe quantum wells,
Physica B : Condensed Matter, Vol.340-342, 890-894, 2003.

(出版サイトへのリンク): ● Publication site (DOI): 10.1016/j.physb.2003.09.095
(文献検索サイトへのリンク): ● Search Scopus @ Elsevier (DOI): 10.1016/j.physb.2003.09.095

(DOI: 10.1016/j.physb.2003.09.095) Satoshi Shirotori, Kentaro Kayanuma, Takuro Tomita, Zhanghai Chen, Debnath Chandra Mukulu, Izuru Souma, Akihiro Murayama and Yasuo Oka :
Magnetic-Field-Induced Level Crossing and the Spin Dynamics of Excitons in Zn_1-xMn_xTe/ZnTe Quantum Wells,
Journal of Superconductivity: Incorporating Novel Magnetism, Vol.16, No.2, 457-460, 2003.

(出版サイトへのリンク): ● Publication site (DOI): 10.1023/A:1023683302298
(文献検索サイトへのリンク): ● Summary page in Scopus @ Elsevier: 2-s2.0-3042540120

(DOI: 10.1023/A:1023683302298, Elsevier: Scopus) Eizi Nakayama, Tomoyuki Uchida, Izuru Souma, Takuro Tomita, Zhanghai Chen, Akihiro Murayama and Yasuo Oka :
Effects of Digital Doping of Mn on Giant Magneto-Optical Properties of Zn_1-xMn_xSe Quantum Wells,
Journal of Superconductivity: Incorporating Novel Magnetism, Vol.16, No.2, 407-410, 2003.

(出版サイトへのリンク): ● Publication site (DOI): 10.1023/A:1023658629614
(文献検索サイトへのリンク): ● Summary page in Scopus @ Elsevier: 2-s2.0-1642309938

(DOI: 10.1023/A:1023658629614, Elsevier: Scopus) Yasuo Oka, Kentaro Kayanuma, Eizi Nakayama, Satoshi Sirotori, Hideki Sakurai, Ayahito Uetake, Izuru Souma, Takuro Tomita, Zhanghai Chen and Akihiro Murayama :
Excitonic Propeties and Dyanamics in Diluted Magnetic Semiconductor Quantum Nanostructures,
Nonlinear Optics, Vol.29, No.7-9, 491-499, 2002. Takuro Tomita, Shingo Saito, Tohru Suemoto, Hiroshi Harima and Shin-ichi Nakashima :
Ultrafast Electron Relaxation Processes in SiC,
Materials Science Forum, Vol.389-393, 641-644, 2002.

(出版サイトへのリンク): ● Publication site (DOI): 10.4028/www.scientific.net/MSF.389-393.641
(文献検索サイトへのリンク): ● Search Scopus @ Elsevier (DOI): 10.4028/www.scientific.net/MSF.389-393.641

(DOI: 10.4028/www.scientific.net/MSF.389-393.641) Takuro Tomita, Shingo Saito, Tohru Suemoto, Hiroshi Harima and Shin-ichi Nakashima :
Inter-conduction band electron relaxation dynaimcs in 6H-SiC,
Applied Physics Letters, Vol.79, No.9, 1279-1281, 2001.

(出版サイトへのリンク): ● Publication site (DOI): 10.1063/1.1399304
(文献検索サイトへのリンク): ● Search Scopus @ Elsevier (DOI): 10.1063/1.1399304

(DOI: 10.1063/1.1399304) Takayuki Makino, Tien Nguen Tuan, Handdong Sun, Chinhau Chia, Yuzaburo Segawa, Masashi Kawasaki, Akira Ohtomo, Kentaro Tamura, Tohru Suemoto, Hidefumi Akiyama, Motoyoshi Baba, Shingo Saito, Takuro Tomita and Hideomi Koinuma :
Temperature dependence of near ultraviolet photoluminescence in ZnO/(Mg,Zn)O multiple quantum wells,
Applied Physics Letters, Vol.78, No.14, 1979-1981, 2001.

(出版サイトへのリンク): ● Publication site (DOI): 10.1063/1.1357451
(文献検索サイトへのリンク): ● Summary page in Scopus @ Elsevier: 2-s2.0-0035794395

(DOI: 10.1063/1.1357451, Elsevier: Scopus) Shin-ichi Nakashima, Hiroshi Harima, Takuro Tomita and Tohru Suemoto :
Raman intensity profiles of folded longitudinal phonon modes in SiC polytypes,
Physical Review B, Condensed Matter and Materials Physics, Vol.62, No.24, 16605-16611, 2000.

(出版サイトへのリンク): ● Publication site (DOI): 10.1103/PhysRevB.62.16605
(文献検索サイトへのリンク): ● Summary page in Scopus @ Elsevier: 2-s2.0-0034670905

(DOI: 10.1103/PhysRevB.62.16605, Elsevier: Scopus) Takuro Tomita, Shingo Saito, Motoyoshi Baba, Martin Hundhausen, Tohru Suemoto and Shin-ichi Nakashima :
Selective resonance effect of the folded longitudinal phonon modes in the Raman spectra of SiC,
Physical Review B, Condensed Matter and Materials Physics, Vol.62, No.19, 12896-12901, 2000. Shin-ichi Nakashima, Hiroshi Harima, Takuro Tomita and Tohru Suemoto :
Raman Spectral Profiles of Folded Longitudinal Modes in SiC under Off-resonant Condition,
Materials Science Forum, Vol.338-342, 591-594, 2000.

(文献検索サイトへのリンク): ● Summary page in Scopus @ Elsevier: 2-s2.0-0033715609

(Elsevier: Scopus) Takuro Tomita, Shingo Saito, Motoyoshi Baba, Martin Hundhausen, Tohru Suemoto and Shin-ichi Nakashima :
Selectively Resonant Raman Spectra of Folded Phonon Modes in SiC,
Materials Science Forum, Vol.338-342, 587-590, 2000.

(文献検索サイトへのリンク): ● Summary page in Scopus @ Elsevier: 2-s2.0-0033701001

(Elsevier: Scopus)

MISC

Kentaro Kayanuma, Takuro Tomita, Akihiro Murayama, Yasuo Oka, Irina A. Buyanova and Weimin M. Chen :
Dynamical study of optical spin injection in ZnMnSe/ZnCdSe double quantum wells,
Extended Abstracts of The 10th Symposium on the Physics and Application of Spin-Related Phenomena in Semiconductors, 88-91, 2004. Satoshi Shirotori, Kentaro Kayanuma, Izuru Souma, Takuro Tomita, Akihiro Murayama and Yasuo Oka :
Magnetic-field-induced switching of spin injection in a Zn_1-xMn_xTe/ZnTe double quantum well,
Extended Abstracts of The 9th Symposium on Physics and Application of Spin-related Phenomena in Semiconductors, 184-187, 2003. Kentaro Kayanuma, Satoshi Shirotori, Takuro Tomita, Kohei Seo, Izuru Souma, Akihiro Murayama and Yasuo Oka :
Transient photoluminescence spectroscopy of spin injection in CdTe-Cd_1-xMn_xTe double quantum wells,
Extended Abstracts of The 9th Symposium on Physics and Application of Spin-related Phenomena in Semiconductors, 63-66, 2003. Hideki Sakurai, Kohei Seo, Kentaro Kayanuma, Zhanghai Chen, Takuro Tomita, Akihiro Murayama and Yasuo Oka :
Spin dynamics of excitons in Cd_1-xMn_xTe / Cd_1-yMg_yTe quantum wells studied by transient pump-probe spectroscopy,
Extended Abstracts of The 9th Symposium on Physics and Application of Spin-related Phenomena in Semiconductors, 60-62, 2003. Zhanghai Chen, Hideki Sakurai, Takuro Tomita, Kentaro Kayanuma, Masaaki Takahashi, Akihiro Murayama and Yasuo Oka :
Ultrafast dynamics of spin-polarized exciton formation and relaxation in Cd_1-xMn_xTe epilayers,
Extended Abstracts of The 8th Symposium on The Physics and Application of Spin-related Phenomena in Semiconductors, 99-102, 2002. Akihiro Murayama, Kentaro Kayanuma, Satoshi Shirotori, Zhanghai Chen, Takuro Tomita, Izuru Souma and Yasuo Oka :
Spin injection and spin-dependent level crossing of excitons in double quantum wells of II-VI diluted magnetic semiconductors,
Extended Abstracts of The 8th Symposium on The Physics and Application of Spin-related Phenomena in Semiconductors, 85-88, 2002. Tatsuya Okada, Takuro Tomita, Tomoyuki Ueki, Takuya Hashimoto, Hiroki Kawakami, Yuki Fuchikami, Hiromu Hisazawa and Yasuhiro Tanaka :
Low-temperature diffusion assisted by femtosecond laser-induced modifications at Ni/SiC interface,
Applied Physics Express, Vol.11, No.1, 016502-1-016502-4, 2018.

(出版サイトへのリンク): ● Publication site (DOI): 10.7567/APEX.11.016502
(文献検索サイトへのリンク): ● CiNii @ 国立情報学研究所 (CRID): 1360284924860328960; ● Summary page in Scopus @ Elsevier: 2-s2.0-85039981004

(DOI: 10.7567/APEX.11.016502, CiNii: 1360284924860328960, Elsevier: Scopus) Tomoyuki Ueki, Kazuki Morimoto, Hiroki Yokota, Takuro Tomita and Tatsuya Okada :
Application of femtosecond laser irradiation to low-temperature diffusion at the Ni/SiC interface,
Applied Physics Express, Vol.8, No.2, 026503-1-026503-4, 2015.

(出版サイトへのリンク): ● Publication site (DOI): 10.7567/APEX.8.026503
(文献検索サイトへのリンク): ● Summary page in Scopus @ Elsevier: 2-s2.0-84922376842

(DOI: 10.7567/APEX.8.026503, Elsevier: Scopus)

総説・解説

富田卓朗 :
固体物性からみたレーザーアブレーション, --- 講座:レーザー生成プラズマの新しい温度，密度領域における物性とシミュレーション ---,
プラズマ・核融合学会誌, Vol.89, No.7, 493-499, 2013年7月.

(要約): 三次元微細加工や非熱加工など,他の加工法にはない独特の加工技術としてフェムト秒レーザーアブレーションが注目を集めているが,その基礎的な物理過程はほとんどわかっていないのが現状である.また,フェムト秒レーザー照射は非常に短い時間(∼100fs)で非常に高いエネルギー(∼10^9J/cm^3)を微小な領域(∼1μm^3)に注入できる唯一の手法であることから,局所的に高温度・高密度状態を生成する手段として利用できる可能性もある.そこで,本章では,フェムト秒レーザー照射によって自発的に固体表面に形成されるレーザー誘起ナノ周期構造や,フェムト秒レーザー照射による物性改質,また,フェムト秒レーザー照射によって誘起される衝撃波と,それに伴う残留応力について,最近の研究成果を紹介するとともに,これらの結果からレーザー生成プラズマの新領域開拓についての展望を述べる.
(キーワード): femtosecond laser ablation / Coulomb explosion / laser-induced nanostructure / Raman spectroscopy / transmission electron microscopy / high density plasma / shock wave / warm dense matter
(文献検索サイトへのリンク): ● CiNii @ 国立情報学研究所 (CRID): 1520009407383544704

(CiNii: 1520009407383544704) 富田卓朗, 長谷川登, 錦野将元, 河内哲哉, 末元徹 :
軟X線レーザープローブによるアブレーションダイナミクスのイメージング,
レーザー研究, Vol.40, No.8, 592-597, 2012年8月.

(キーワード): Femtosecond laser ablation / Soft x-ray laser / Interferometry / Reflective imaging
(文献検索サイトへのリンク): ● CiNii @ 国立情報学研究所 (CRID): 1390566775156158848

(CiNii: 1390566775156158848) 富田卓朗 :
超短パルスレーザーを使ったSiCのマイクロ/ナノ加工と用途, --- 特集「シリコンカーバイドがやってきた」 ---,
工業材料, Vol.55, No.10, 56-59, 2007年10月.

講演・発表

Tomoko Numata, Keisuke Takabayashi, Eibon Tsuchiya, Naomoto Ishikawa, Takuro Tomita, Yohei Kobayashi and Makoto Yamaguchi :
Local crystallinity change on poly(ether ether ketone) induced by ultrashort laser pulse irradiation using low frequency Raman spectroscopy,
The 24th International Symposium on Laser Precision Microfabrication (LPM2023), R4-S16-2, Hirosaki, Jun. 2023. Kenya Bando, Tomoyuki Ueki, Hiromu Hisazawa, Takuro Tomita, Tatsuya Okada and Makoto Yamaguchi :
Modifications induced by femtosecond laser irradiation on (001) surface of diamond crystal,
The 22nd International Symposium on Laser Precision Microfabrication, 97, Online, Jun. 2021. Ken Yamamoto, Takashi Takahashi, Yoshiharu Utsumi, Akinori Shibata, Makoto Yamaguchi, Yohei Kobayashi and Takuro Tomita :
Spontaneous formation of the nano-periodic structures of DLC on SiC by picosecond laser irradiation,
The 22nd International Symposium on Laser Precision Microfabrication, 56, Online, Jun. 2021. Kazuki Mimura, Takashi Takahashi, Makoto Yamaguchi, Yohei Kobayashi and Takuro Tomita :
The pulse duration dependent ablation crater on Si,
The 22nd International Symposium on Laser Precision Microfabrication, 55, Online, Jun. 2021. Tatsuya Okada, Takuro Tomita, Yuki Fuchikami, Yusaku Mizuo, Hiromu Hisazawa and Yasuhiro Tanaka :
Formation of Ohmic Contact at Ni/SiC Interface with the Assistance of Femtosecond-Laser-Induced Modifications,
International Conference on Materials and Systems for Sustainability 2019, A3-P-8-(1040), Nagoya, Nov. 2019. Takuro Tomita, Hiroki Kawakami and Yoshiki Naoi :
Femtosecond laser irradiation aided low-temperature thermal anneal of Ni electrode on SiC,
The 8th International Congress on Laser Advanced Materials Processing, We2-L8, Hiroshima, May 2019. Hiroyuki Katayama, Yoshiki Naoi, Tatsuya Okada, Yasuhiro Tanaka and Takuro Tomita :
Study of ohmic contact electrode on p-GaN using moderate crystal damage effect induced by femtosecond laser irradiation technique,
International Workshop on Nitride Semiconductors 2018, ThP-ED-6, Kanazawa, Nov. 2018. Hiroyuki Katayama, Hiroki Kawakami, Yasuhiro Tanaka, Yoshiki Naoi, Tatsuya Okada and Takuro Tomita :
Femtosecond laser irradiation for the low contact resistance electrode fabrication on p-type gallium nitride,
19th International Symposium on Laser Precision Microfabrication (LPM 2018), 57, Edinburgh, Jun. 2018. Hiroki Kawakami, Yoshiki Naoi and Takuro Tomita :
Formation of Ni ohmic electrode on SiC by femtosecond laser irradiation associated with thermal annealing,
International Workshop on UV Materials and Devices 2017, We-P5, Fukuoka, Nov. 2017. Hiroyuki Katayama, Yuki Yamasaki, Hiroki Kawakami, Yoshiki Naoi and Takuro Tomita :
Annealing of Ni/Au electrode on p-GaN by femtosecond laser irradiation,
International Workshop on UV Materials and Devices 2017, We-P3, Fukuoka, Nov. 2017. Masaharu Nishikino, Noboru Hasegawa, Takuro Tomita, Yasuo Minami, Takashi Eyama, Naoya Kakimoto, Rui Izutsu, Motoyoshi Baba, Tetsuya Kawachi and Tohru Suemoto :
Observation of fs-laser spallative ablation using soft X-ray laser probe,
Proceedings of SPIE, Vol.10091, 100910O-1-100910O-5, San Francisco, Mar. 2017.

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(DOI: 10.1117/12.2255725) Noboru Hasegawa, Takuro Tomita, Masaharu Nishikino, Takashi Eyama, Naoya Kakimoto, Naofumi Ohnishi, Atsushi M. Ito, Motoyoshi Baba, Yasuo Minami, Tetsuya Kawachi, Mitsuru Yamagiwa and Tohru Suemoto :
A study of the femto-second laser ablation process in metals by using a soft x-ray laser probe,
Plasma Conference 2014, Niigata, Nov. 2014. Masaharu Nishikino, Noboru Hasegawa, Takuro Tomita, Takashi Eyama, Naoya Kakimoto, Naofumi Ohnishi, Atsushi M. Ito, Motoyoshi Baba, Yasuo Minami, Tetsuya Kawachi, Mitsuru Yamagiwa and Tohru Suemoto :
Observation of Femtosecond Laser Ablation on Tungsten by using Soft X-ray Laser,
Plasma Conference 2014, Niigata, Nov. 2014. Naoya Kakimoto, Takashi Eyama, Takuro Tomita, Noboru Hasegawa, Masaharu Nishikino, Yasuo Minami, Ryota Takei, Motoyoshi Baba, Takeshi Kaihori, Toshimasa Morita, Yusuke Hirano, Tetsuya Kawachi, Mitsuru Yamagiwa and Tohru Suemoto :
Observation of femtosecond laser ablation process in nano-seconds region by soft x-ray shadow graph,
9th International Conference on Photo-Excited Processes and Applications, 119, Matsue, Oct. 2014. Eizo Yanagita, Manato Deki, Yoshiki Naoi, Takahiro Makino, Takeshi Ohshima and Takuro Tomita :
Shallow impurity levels in femtosecond laser modified areas on semi insulating 6H-SiC,
9th International Conference on Photo-Excited Processes and Applications, 111, Matsue, Sep. 2014. M. B. Agranat, S. I. Ashitkov, Motoyoshi Baba, Takashi Eyama, Anatoly Faenov, Noboru Hasegawa, Daiki Hatomi, D. K. Ilnitsky, N. A. Inorgamov, Tetsuya Kawachi, V. A. Khokhlov, Yasuo Minami, Masaharu Nishikino, Naofumi Ohnishi, Pikuz Tatian, V. V. Shepelev, Tohru Suemoto, Shodai Takayoshi, Ryota Takei, Takuro Tomita, Mitsuru Yamagiwa, V. V. Zhakhovsky and Yu V. Petrov :
Hydrodynamics driven by ultrashort laser pulse,
9th International Conference on Photo-Excited Processes and Applications, 30, Matsue, Sep. 2014. Masaharu Nishikino, Noboru Hasegawa, Takashi Eyama, Naoya Kakimoto, Takuro Tomita, Daiki Hatomi, Naofumi Ohnishi, Atsushi M Ito, Yasuo Minami, Motoyoshi Baba, Tetsuya Kawachi, Mitsuru Yamagiwa and Tohru Suemoto :
Observation of Weakly Excited Ablation Dynamics with Femtosecond Laser by using Time-Resolved Soft X-ray Imaging Technique,
14th International Conference for X-Ray Lasers 2014, Colorado, May 2014. Tetsuya Kawachi, Masaharu Nishikino, Akira Sasaki, Makoto Ishino, Noboru Hasegawa, Takashi Imazono, Pikuz Tatian, Anatoly Faenov, M. Magnitskiy, M. Maruyama, Takuro Tomita, Tohru Suemoto, Pirozhhkov Alexander, Sergei Bulanov, Hiromitsu Kiriyama, Mitsuru Yamagiwa, Masaki Kando, Mitsuru Yamagiwa, K. Kondo, P. Bolton and Yoshiaki Kato :
Progress and Prospects of Coherent X-ray Research using High Power Lasers in JAEA,
14th International Conference for X-Ray Lasers 2014, Colorado, May 2014. Takashi Eyama, Naoya Kakimoto, Takuro Tomita, Noboru Hasegawa, Masaharu Nishikino, Yasuo Minami, Ryota Takei, Motoyoshi Baba, Takeshi Kaihori, Toshimasa Morita, Yusuke Hirano, Tetsuya Kawachi, Mitsuru Yamagiwa and Tohru Suemoto :
Direct observation of femtosecond laser ablation on metals by plasma-based soft x-ray laser,
International conference on HIGH ENERGY DENSITY SCIENCES 2014, HEDSp9-31, Yokohama, Apr. 2014. Takuro Tomita, Noboru Hasegawa, Masaharu Nishikino, Takashi Eyama, Yasuo Minami, Ryota Takei, Motoyoshi Baba, Takeshi Kaihori, Toshimasa Morita, Yusuke Hirano, Tetsuya Kawachi, Mitsuru Yamagiwa and Tohru Suemoto :
Observation of the transient state of the femtosecond laser ablation phenomena on various metals,
8th International Conference on Reactive Plasmas 31st Symposium on Plasma Processing, 6P-PM-S14-P34, Fukuoka, Feb. 2014. Shodai Takayoshi, Manato Deki, Yoshiki Naoi, Takahiro Makino, Takeshi Ohshima and Takuro Tomita :
Temperature Dependence of Electric Conductivities in Femtosecond Laser Modified Areas in Silicon Carbide,
The International Conference on Silicon CArbide and Related Materials, Mo-P-29, Miyazaki, Sep. 2013. Masaharu Nishikino, Noboru Hasegawa, Takuro Tomita, Yasuo Minami, Ryota Takei, Motoyoshi Baba, Takashi Eyama, Shodai Takayoshi, Tetsuya Kawachi, Mitsuru Yamagiwa and Tohru Suemoto :
Observation of the surface dynamics of femtosecond laser ablation by time-resolved soft x-ray imaging techinique,
The Eighth International Conference on Inertial Fusion Sciences and Applications, 401, Nara, Sep. 2013. Takashi Eyama, Takuro Tomita, Masaharu Nishikino, Noboru Hasegawa, Yasuo Minami, Ryota Takei, Motoyoshi Baba, Yusuke Hirano, Toshimasa Morita, Tetsuya Kawachi, Mitsuru Yamagiwa and Tohru Suemoto :
Femtosecond laser ablation process on platinum and gold observed by plasma-based soft x-ray laser,
The Eighth International Conference on Inertial Fusion Sciences and Applications, 402, Nara, Sep. 2013. Masaharu Nishikino, Noboru Hasegawa, Takuro Tomita, Yasuo Minami, Ryota Takei, Motoyoshi Baba, Takashi Eyama, Shodai Takayoshi, Tetsuya Kawachi, Mitsuru Yamagiwa and Tohru Suemoto :
(Invited) Observation of the nano-scale surface dynamics of femtosecond laser ablation by time-resolved soft x-ray imaging technique,
SPIE Optics + Photonics 2013, 8849-13, San Diego, Aug. 2013.

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(DOI: 10.1117/12.2022834, Elsevier: Scopus) Noboru Hasegawa, Takuro Tomita, Masaharu Nishikino, Yasuo Minami, Motoyoshi Baba, Ryota Takei, Takeshi Kaihori, Yusuke Hirano, Toshimasa Morita, Tetsuya Kawachi, Mitsuru Yamagiwa and Tohru Suemoto :
A study of the femto-second laser ablation process in metals by using a single shot soft x-ray laser probe,
The 12th Asia Pacific Physics Conference, Chiba, Jul. 2013. Takuro Tomita, Masaharu Nishikino, Noboru Hasegawa, Kota Terakawa, Yasuo Minami, Ryota Takei, Motoyoshi Baba, Takeshi Kaihori, Toshimasa Morita, Tetsuya Kawachi, Mitsuru Yamagiwa and Tohru Suemoto :
The reflective imaging of femtosecond laser ablation dynamics on platinum probed by plasma based soft x-ray laser,
11th Asia-Pacific Conference on Plasma Science and Technology and 25th Symposium on Plasma Science for Materials, 478, Kyoto, Oct. 2012. Hideyuki Watanabe, Takuro Tomita, Shinichi Nakashima, Yukako Katou and Shinichi Shikata :
Raman Scattering from Optical Phonons in Isotopic 12C13C Diamond Superlattices,
Internatinal Conference on Electronic Materials, B-7-P24-018, Yokohama, Sep. 2012. Takeshi Ohshima, Manato Deki, Takahiro Makino, Naoya Iwamoto, Shinobu Onoda, Toshio Hirao, Kazutoshi Kojima, Takuro Tomita, Shigeki Matsuo and Shuichi Hashimoto :
Breakdown Voltage In Silicon Carbide Metal-Oxide-Semiconductor Devices Induced By Ion Beams,
22nd International Conference on the Application of Accelerators in Research and Industry, Vol.1525, 654-658, Texas, Aug. 2012.

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(DOI: 10.1063/1.4802408, Elsevier: Scopus) Takuro Tomita, Minoru Yamamoto, Noboru Hasegawa, Masaharu Nishikino, Masahiko Ishino, Takeshi Kaihori, Yoshihiro Ochi, Tetsuya Kawachi, Mitsuru Yamagiwa, Ryota Takei, Yasuo Minami, Kota Terakawa and Tohru Suemoto :
Femtosecond laser ablation dynamics of platinum observed by soft x-ray reflective imaging,
The 2012 Ultrafast Phenomena Conference, THU.PIII.13, Lausanne, Switzerland, Jul. 2012. Takuro Tomita, Masaharu Nishikino, Noboru Hasegawa, Kota Terakawa, Yasuo Minami, Ryota Takei, Motoyoshi Baba, Takeshi Kaihori, Morita Toshimasa, Tetsuya Kawachi, Mitsuru Yamagiwa and Tohru Suemoto :
Single-shot soft x-ray reflective imaging of femtosecond laser ablation process on platinum,
5th AWCXR & ISSP International Workshop on Coherent Soft-X-ray Sciences, 5.15, Chiba, Jun. 2012. Noboru Hasegawa, Yoshihiro Ochi, Tetsuya Kawachi, Kota Terakawa, Ryota Takei, Yasuo Minami, Motoyoshi Baba, Takuro Tomita, Masaharu Nishikino, Takeshi Kaihori, Mitsuru Yamagiwa and Tohru Suemoto :
Development of the single shot soft x-ray interferometer for observation of the nanometer-scaled surface dynamics,
5th AWCXR & ISSP International Workshop on Coherent Soft-X-ray Sciences, 5.3, Chiba, Jun. 2012. Tohru Suemoto, Kota Terakawa, Ryota Takei, Yasuo Minami, Motoyoshi Baba, Takuro Tomita, Noboru Hasegawa, Masaharu Nishikino, Yoshihiro Ochi, Mitsuru Yamagiwa and Tetsuya Kawachi :
Observation of laser ablation dynamics by soft X-ray imaging and interferometry,
5th AWCXR & ISSP International Workshop on Coherent Soft-X-ray Sciences, 2.6, Chiba, Jun. 2012. Tetsuya Kawachi, Akira Sasaki, Masaharu Nishikino, Masahiko Ishino, Noboru Hasegawa, Takashi Imazono, Yoshihiro Ochi, Momoko Tanaka, Kota Terakawa, Ryota Takei, Yasuo Minami, Motoyoshi Baba, Takuro Tomita, Anatoly Faenov, Pikuz Tatiana, Pirozhhkov Alexander, Esirkepov Zh. Timur, Janulewicz Karol, Kim Min Chul, Stiel Holger, Masaki Kando, Sergei Bulanov, Koindo Kimihiro, Mitsuru Yamagiwa and Tohru Suemoto :
Source development of laser-driven plasma x-ray lasers,
5th AWCXR & ISSP International Workshop on Coherent Soft-X-ray Sciences, 2.1, Chiba, Jun. 2012. Hideyuki Watanabe, Takuro Tomita, Shinichi Nakashima, Yukako Katou and Shinichi Shikata :
Raman Scattering in Diamond Isotopical Superlattices,
The sixth international New Diamond and Nano Carbons Conference (NDNC 2012), A2.5, San Juan, Puerto Rico, May 2012. O Ryongsok, Atsushi Iwamoto, Yuki Nishi, Yuya Funase, Takahiro Yuasa, Takuro Tomita, Masao Nagase, Hiroki Hibino and Hiroshi Yamaguchi :
Microscopic Raman mapping for epitaxial graphene on 4H-SiC (0001),
24th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2011), Vol.51, No.6, Kyoto, Japan, Oct. 2011.

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(DOI: 10.1143/JJAP.51.06FD06, Elsevier: Scopus) Takuro Tomita, Noboru Hasegawa, Kota Terakawa, Minoru Yamamoto, Yasuo Minami, Yoshihiro Ochi, Takeshi Kaihori, Masaharu Nishikino, Mitsuru Yamagiwa, Tetsuya Kawachi and Tohru Suemoto :
Picosecond snapshot of surface morphology by using coherent soft X-ray pulses,
24th International Microprocesses and Nanotechnology Conference, 27P-11-92, Kyoto, Oct. 2011. Noboru Hasegawa, Yoshihiro Ochi, Tetsuya Kawachi, Masaharu Nishikino, Masahiko Ishino, Takashi Imazono, Takeshi Kaihori, Akira Sasaki, Kota Terakawa, Yasuo Minami, Takuro Tomita, Minoru Yamamoto, Yoshifumi Umeda, Mitsuru Yamagiwa and Tohru Suemoto :
Observation of the laser-induced surface dynamics by the single-shot x-ray laser interferometer,
SPIE Optics + Photonics, 8140-17, San Diego, Aug. 2011.

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(DOI: 10.1117/12.893442, Elsevier: Scopus) Minoru Yamamoto, Noboru Hasegawa, Kota Terakawa, Yoshifumi Umeda, Takuro Tomita, Yoshihiro Ochi, Takeshi Kaihori, Tetsuya Kawachi, Yasuo Minami and Tohru Suemoto :
Observation of femtosecond-laser ablation process by using the soft X-ray laser interferometer,
The 12th International Symposium on Laser Precision Microfabrication, 157, Takamatsu, Jun. 2011. Manato Deki, Takuro Ito, Takuro Tomita, Shigeki Matsuo, Shuichi Hashimoto, Takahiro Kitada, Toshiro Isu, Shinobu Onoda and Takeshi Oshima :
Laser Modification Aiming at the Enhancement of Local Electrical Conductivities in SiC,
The 9th International Workshop on Radiation Effects on Semiconductor Devices for Space Applications, 218-221, Takasaki, Oct. 2010. Manato Deki, Minoru Yamamoto, Ito Takuto, Takuro Tomita, Shigeki Matsuo, Shuichi Hashimoto, Takahiro Kitada, Toshiro Isu, Shinobu Onoda and Takeshi Ohshima :
Femtosecond laser modification aiming at the enhancement of local electric conductivities in SiC,
30th International Conference on the Physics of Semiconductors, P1-306, Seoul, Jul. 2010. Tohru Suemoto, Kota Terakawa, Yasuo Minami, Yoshihiro Ochi, Noboru Hasegawa, Tetsuya Kawachi, Takuro Tomita, Minoru Yamamoto and Manato Deki :
Soft X-ray interferometer for time-resolved diagnostics of laser-aided nano-fabrication,
17th International Conference on Ultrafast Phenomena, TuE1, Colorado, Jul. 2010. Tetsuya Kawachi, Noboru Hasegawa, Masaharu Nishikino, Masahiko Ishino, Takashi Imazono, Toshiyuki Ohba, Takeshi Kaihori, Maki Kishimoto, Yoshihiro Ochi, Momoko Takanka, Masato Koike, Masataka Kado, Kazumichi Namikawa, Tohru Suemoto, Kota Terakawa, Takuro Tomita, Minoru Yamamoto, Nobuhiko Sarukura, Hiroaki Nishimura, Faenov Anatoly, Bulanov Sergei, Hiroyuki Daido and Yoshiaki Kato :
Source Development and Novel Application of Laser Driven Plasma X-ray Lasers in JAEA,
Proceedings of the 12th international conference on X-ray Lasers, 15-24, Gwangju Korea, May 2010. Noboru Hasegawa, Yoshihiro Ochi, Tetsuya Kawachi, Kota Terakawa, Takuro Tomita, Minoru Yamamoto, Masaharu Nishikino, Toshiyuki Ohba, Takeshi Kaihori, Takashi Imazono, Akira Sasaki, Maki Kishimoto, Masahiko Ishino, Masataka Kado, Momoko Takanka, Tomoharu Nakazato, Nobuhiko Sarukura and Tohru Suemoto :
Development of the x-ray interferometer and the method of spatial and temporal synchronization of XRL and optical pulse,
Proceedings of the 12th international conference on X-ray Lasers, 353-358, Gwangju Korea, May 2010. Takuro Tomita, Tatsuya Okada, Tomonori Takahashi, Minoru Yamamoto, Manato Deki, Shigeki Matsuo and Shuichi Hashimoto :
Femtosecond laser induced periodic structure inside SiC observed by TEM,
The Extended Abstract of International Symposium on the Physics of Excitation-assisted nano-proceses, P-13, Wakayama, Nov. 2009. Yoshihiro Ochi, Noboru Hasegawa, Tetsuya Kawachi, Kota Terakawa, Tohru Suemoto, Takuro Tomita, Minoru Yamamoto, Manato Deki, Momoko Tanaka, Masaharu Nishikino, Masahiko Ishino, Takashi Imazono, Maki Kishimoto, Toshiyuki Ohba, Takeshi Kaihori and Akira Sugiyama :
Development of 0.1-Hz Double-Target X-ray Laser and Its Application,
The abstract of Ultrafast Optics (UFO) and High Field Short Wavelength (HFSW) XIII, P2.11, Arcachon, France, Sep. 2009. Minoru Yamamoto, Kodai Iwasa, Manato Deki, Takuro Tomita, Kei Nakagawa, Nobutomo Uehara, Hiroyuki Okamoto and Masaru Kamano :
Theoretical Analysis of Time-Resolved Photothermal Divergence Signal on GaAs substrate,
Abstract of SemiconNano 2009, P-13, Tokushima, Aug. 2009. Tetsuya Kawachi, Maki Kishimoto, Masataka Kado, Yoshihiro Ochi, Noboru Hasegawa, Momoko Tanaka, Masaharu Nishikino, Masahiko Ishino, Takashi Imazono, Toshiyuki Ohba, Takeshi Kaihori, Masato Koike, Kazumichi Namikawa, Tohru Suemoto, Kota Terakawa, Takuro Tomita, Nobuhiko Sarukura, Hiroaki Nishimura, Anatoly Faenov, Sergei Bulanov and Hiroyuki Daido :
Source Development and Novel Applications of X-ray Lasers for Probing Materials,
Proceedings of SPIE, Vol.7451, No.1, 745107-1-745107-11, San Diego, Aug. 2009.

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(DOI: 10.1117/12.825662, Elsevier: Scopus) Daniel Werner, Shuichi Hashimoto, Takayuki Uwada, Takuro Tomita and Shigeki Matsuo :
Examination of laser-induced splitting of Au and Ag flakes to produce nanoparticles in solutions,
LAMP2009 (The 5th International Congress on Laser Advanced Materials Processing) Program and Technical Digest, 129, Kobe, Jun. 2009. Tatsuya Okada, Takuro Tomita, Shigeki Matsuo, Shuichi Hashimoto, Yoichiro Ishida, Satoshi Kiyama and Tomonori Takahashi :
Periodic structures induced by femtosecond laser pulses inside 4H-SiC single crystal,
LAMP2009 (The 5th International Congress on Laser Advanced Materials Processing) Program and Technical Digest, 75, Kobe, Jun. 2009. Shigeki Matsuo, Satoshi Kiyama, Kensuke Tokumi, Takuro Tomita and Shuichi Hashimoto :
Three-dimensional Microstructuring inside Transparent Solid Substrates Assisted by Femtosecond Laser Pulses,
PIERS 2009 in Beijing (Progress In Electromagnetics Research Symposium), Beijing, Mar. 2009. Hiroyuki Kawahara, Tatsuya Okada, Ryota Kumai, Takuro Tomita, Shigeki Matsuo, Shuichi Hashimoto and Makoto Yamaguchi :
Cross-Sectional TEM Analysis of Structural Change in 4H-SiC Single Crystal Irradiated by Femtosecond Laser Pulses,
Materials Science Forum, Vol.600-603, 883-886, Otsu, Japan (Oct.2007), Jan. 2009.

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(Elsevier: Scopus) Shigeki Matsuo, Satoshi Kiyama, Takuro Tomita and Shuichi Hashimoto :
Optically Driven Micro Rotator embedded in Solid Substrate,
Microprocesses and Nanotechnology 2008, 482-483, Fukuoka, Oct. 2008. Shigeki Matsuo, Haruki Sumi, Takuro Tomita and Shuichi Hashimoto :
Femtosecond laser assisted etching of borosilicate glasses with aqueous solution of KOH,
6th International Conference on Photo-Excited Processes and Applications, Sapporo, Sep. 2008. Masayuki Fujitsuka, Makoto Yamaguchi, Shigeru Ueno, Ichiro Miura, Wataru Erikawa and Takuro Tomita :
Application of confocal laser scanning microscope combined with Raman spectroscopy system for 4H-SiC under indentation,
The abstracts of the 21th international conference on Raman spectroscopy (ICORS), 311, Uxbridge, Aug. 2008. Takuro Tomita, Ryota Kumai, Makoto Yamaguchi, Shigeki Matsuo and Shuichi Hashimoto :
SEM observation of cross-sectional structures of laser-induced ripples on semiconductors and HOPG,
The proceedings of the 9th International Symposium on Laser Precision Microfabrication, Québec City, Jun. 2008. Tatsuya Okada, Takuro Tomita, Shigeki Matsuo, Shuichi Hashimoto, Hiroyuki Kawahara, Yoichiro Ishida, Ryota Kumai, Masako Kawamoto and Makoto Yamaguchi :
Structural Changes Induced by Femtosecond Laser Pulses on 4H-SiC Single Crystal: Studies Utilizing Transmission Electron Microscopy,
Proceedings of the 9th International Symposium on Laser Precision Microfabrication, #08-59, Québec City, Jun. 2008. Satoshi Kiyama, Takuro Tomita, Shigeki Matsuo and Shuichi Hashimoto :
Laser fabrication and manipulation of optical rotator embedded inside a transparent solid material,
The proceedings of the 9th International Symposium on Laser Precision Microfabrication, Québec City, Jun. 2008. Shigeki Matsuo, Haruki Sumi, Takuro Tomita and Shuichi Hashimoto :
Femtosecond laser assisted etching of borosilicate glasses,
The proceedings of the 9th International Symposium on Laser Precision Microfabrication, Québec City, Jun. 2008. Daniel Werner, Shuichi Hashimoto, Takuro Tomita and Shigeki Matsuo :
Examination of silver nanoparticle fabrication in primary alcohols by laser ablation of flakes,
XXIII International Conference on Photochemistry Book of Abstracts, 595, Cologne, Jul. 2007. Tatsuya Okada, Hiroyuki Kawahara, Ryota Kumai, Takuro Tomita, Shigeki Matsuo, Shuichi Hashimoto and Makoto Yamaguchi :
TEM observation of structural changes under 4H-SiC single crystal surface irradiated by femtosecond laser pulses,
The proceedings of the 8-th International Symposium on Laser Precision Microfabrication, 65, Wien, Apr. 2007. Makoto Yamaguchi, Shigeru Ueno, Ryota Kumai, Keita Kinoshita, Takuro Tomita, Shigeki Matsuo and Shuichi Hashimoto :
Amorphous structure of ripple on SiC studied by micro Raman spectroscopy,
The proceedings of the 8-th International Symposium on Laser Precision Microfabrication, 221, Wien, Apr. 2007. Takuro Tomita, Ryota Kumai, Keita Kinoshita, Shigeki Matsuo and Shuichi Hashimoto :
Surface morphology-dependent formation of ripples on Si, SiC, and HOPG substrates,
The proceedings of the 8-th International Symposium on Laser Precision Microfabrication, 219, Wien, Apr. 2007. Takuro Tomita, Takeshi Mitani and Shin-ichi Nakashima :
Analysis of surface polarity dependent DUV Raman spectra by bond-Raman-polarizability concept,
The abstracts of the 20th international conference on Raman spectroscopy (ICORS), 149, Yokohama, Aug. 2006. Makoto Yamaguchi, Shigeru Ueno, Keita Kinoshita, Toshiaki Murai, Takuro Tomita, Shigeki Matsuo and Shuichi Hashimoto :
Characterization of femtosecond pulsed laser-induced ripple structure in semiconductor materials by using of micro-optical spectroscopy,
The 4th International Congress on Laser Advanced Materials Processing, 117, Kyoto, May 2006. Shigeki Matsuo, Yusuke Tabuchi, Tatsuya Okada, Takuro Tomita, Shuichi Hashimoto, Saulius Juodkazis and Hiroaki Misawa :
Femtosecond laser assisted etching of quartz,
XXIst IUPAC Symposium on Photochemistry, 520, Kyoto, Apr. 2006. Shigeki Matsuo, Takashi Miyamoto and Takuro Tomita :
Laser Microfabrication of Photoresist Rod Array Using a Microlens Array,
International Quantum Electronics Conference 2005 and the Pacific Rim Conference on Lasers and Electro-Optics 2005, 1731-1732, Tokyo, Jul. 2005. Takuro Tomita, Keita Kinoshita and Shigeki Matsuo :
Surface Structures of Femtosecond Laser Irradiated 4H-SiC Crystal,
International Quantum Electronics Conference 2005 and the Pacific Rim Conference on Lasers and Electro-Optics 2005, 1744-1745, Tokyo, Jul. 2005. Akihiro Murayama, Takuro Tomita, Kyoko Hyomi, Izuru Souma and Yasuo Oka :
Micro-photoluminescence spectroscopy for quantum dots of II-VI semiconductors in glass,
Proceedings of The XX International Congress on Glass, Vol.P-16, 036, Kyoto, Sep. 2004. Akihiro Murayama, Ayahito Uetake, Izuru Soma, Kentaro Kayanuma, Tsutomu Asahina, Kyoko Hyomi, Takuro Tomita and Yasuo Oka :
Exicitonic spin dynamics in coupled quantum dots of diluted magnetic semiconductors,
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Optical study of spin injection dynamics in double quantum wells of II-VI diluted magnetic semiconductors,
Physics of Semiconductors, Part B, 1387-1388, Arizona, Jul. 2004. Takuro Tomita, Ayahito Uetake, Tsutomu Asahina, Akihiro Murayama and Yasuo Oka :
Micro-photoluminescence spectroscopy of Zn_xCd_yMn_1-x-ySe/ZnSe quantum nanostructures under magnetic field,
nanoSPEC2003, A4, Osaka, Oct. 2003. Takuro Tomita, Ayahito Uetake, Tsutomu Asahina, Zhanghai Chen, Akihiro Murayama and Yasuo Oka :
Magneto-optical Properties of Quantum Nano-dots of II-VI Magnetic Semiconductors,
Proceedings of International Symposium on Synthetic Nano-function Materials Project, 178-181, Chiba, Feb. 2003. Akihiro Murayama, Kentaro Kayanuma, Satoshi Shirotori, Zhanghai Chen, Takuro Tomita, Izuru Souma and Yasuo Oka :
Carrier Spin Injection and Spin Separation in Quantum Wells of II-VI Magnetic Semiconductors,
Proceedings of International Symposium on Synthetic Nano-function Materials Project, 173-177, Chiba, Feb. 2003. Satoshi Shirotori, Kentaro Kayanuma, Takuro Tomita, Zhanghai Chen, Debnath Chandra Mukulu, Izuru Souma, Akihiro Murayama and Yasuo Oka :
Switching of a spatial spin configuration of excitons in Zn_1-xMn_xTe/ZnTe quantum wells,
Proceedings of the 26th International Conference on the Physics of Semiconductors, INSTITUTE OF PHYSICS, CONFERENCE SERIES, No.171, E1-4, Edingburgh, Jul. 2002. Takuro Tomita, Shingo Saito, Tohru Suemoto, Hiroshi Harima and Shin-ichi Nakashima :
Polytype dependence of intervalley scattering processes in SiC,
Proceedings of the 26th International Conference on the Physics of Semiconductors, INSTITUTE OF PHYSICS, CONFERENCE SERIES, No.171, H33, Edinburgh, Jul. 2002. Takuro Tomita, Shingo Saito, Tohru Suemoto, Hiroshi Harima and Shin-ichi Nakashima :
Ultrafast inter-conduction band carrier dynamics in SiC,
The proceedings of 25th International Conference on the Physics of Semiconductors, 202-203, Osaka, Sep. 2000. 関宏都, 古市健人, 高林圭佑, 土屋叡本, 山口誠, 岡田達也, 小林洋平, 富田卓朗 :
超短パルスレーザー照射によるSnCu固溶体中間相の生成,
2024年第71回応用物理学会春季学術講演会, 23a-13M-9, 2024年3月. 富田卓朗 :
[invited]金属多層膜への超短パルスレーザー照射による非熱的合金化,
2024年第71回応用物理学会春季学術講演会, 22p-1BN-3, 2024年3月. 千種晃平, 伏見勇人, 岡田達也, 富田卓朗 :
フェムト秒レーザー照射によるSiC表面周期構造形成過程のパルス分解観察,
令和6年電気学会全国大会, 1-024, 2024年3月. 福田海人, 須藤直也, 関宏都, 川上拓哉, 永松謙太郎, 高林圭佑, 小林洋平, 山口誠, 髙島祐介, 直井美貴, 富田卓朗 :
p型窒化ガリウム上金属電極へのピコ秒レーザー照射の影響,
令和6年電気学会全国大会, 2-079, 2024年3月. 伏見勇人, 岡田達也, 富田卓朗 :
フェムト秒レーザー照射によるSiC表面周期構造形成のその場観察,
レーザー学会学術講演会第44回年次大会, Vol.44, D04-18a-X-03, 2024年1月. 伏見勇人, 千種晃平, 岡田達也, 富田卓朗 :
走査型電子顕微鏡を用いたレーザー加工のその場観察光学系構築とSiC表面周期構造形成過程のパルス分解観察,
第34回光物性研究会, Vol.34, IB-28, 2023年12月. 関宏都, 古市健人, 土屋叡本, 山口誠, 岡田達也, 小林洋平, 富田卓朗 :
ピコ秒レーザー照射によるチタン/ニッケル界面への影響,
2023年第84回応用物理学会秋季学術講演会講演概要集, 20p-B205-9, 2023年9月. 岩浅郁哉, 植木智之, 富田卓朗, 岡田達也 :
フェムト秒レーザ照射したダイヤモンド表面へのP+およびN+イオン注入,
2023年第84回応用物理学会秋季学術講演会講演概要集, 20a-B205-8, 2023年9月. 村上大介, 植木智之, 久澤大夢, 富田卓朗, 岡田達也 :
フェムト秒レーザ照射を応用した4H-SiC上のNIオーミック電極形成,
日本金属学会中国四国支部第63回講演大会講演概要集, A14, 2023年8月. 櫻井雄弥, 岩浅郁哉, 植木智之, 久澤大夢, 富田卓朗, 岡田達也 :
フェムト秒レーザ照射したダイヤモンド単結晶へのn型イオン注入,
日本金属学会中国四国支部第63回講演大会講演概要集, A15, 2023年8月. 関宏都, 古市健人, 土屋叡本, 山口誠, 岡田達也, 小林洋平, 富田卓朗 :
チタン/ニッケル界面へのピコ秒レーザー照射による界面改質,
2023年度応用物理・物理系学会中国四国支部合同学術講演会, Dp-5, 2023年7月. 田岡知樹, 牧野高紘, 富田卓朗 :
放射線による半導体破壊現象解明のためのフェムト秒レーザー照射実験系の構築,
2023年度応用物理・物理系学会中国四国支部合同学術講演会, Dp-4, 2023年7月. 河野太洋, 土屋叡本, 山口誠, 岡田達也, 小林洋平, 富田卓朗 :
鉄/クロム/ニッケル薄膜へのピコ秒レーザー照射による新奇合金生成のパルス時間幅依存性,
第70回応用物理学会春季学術講演会, Vol.70, 18a-A405-7, 2023年3月. 古市健人, 山口誠, 岡田達也, 富田卓朗 :
SiC上のFe/Cr/Ni 積層膜へのフェムト秒レーザー照射,
第70回応用物理学会春季学術講演会, Vol.70, 18a-A405-6, 2023年3月. 河野太洋, 山口誠, 岡田達也, 富田卓朗 :
銅/亜鉛界面へのフェムト秒レーザー照射による新奇金属合金化手法,
2022年第83回応用物理学会秋季学術講演会概要集, 23p-C301-3, 2022年9月. 亀井優之, 山口誠, 岡田達也, 富田卓朗 :
フェムト秒レーザー照射によるAlのSiCへの局所フルエンスに依存した拡散,
2022年第83回応用物理学会秋季学術講演会概要集, 23p-C301-2, 2022年9月. 岩浅郁哉, 植木智之, 富田卓朗, 岡田達也 :
ダイヤモンド表面へのフェムト秒レーザ照射とホウ素イオン注入,
2022年第83回応用物理学会秋季学術講演会概要集, 22a-C301-9, 2022年9月. 岸田崇秀, 植木智之, 久澤大夢, 富田卓朗, 岡田達也 :
フェムト秒レーザ照射したSiC表面におけるNiシリサイド形成,
日本金属学会中国四国支部第65回講演大会講演概要集, B15, 2022年8月. 岩浅郁哉, 植木智之, 久澤大夢, 富田卓朗, 岡田達也 :
ダイヤモンド表面に形成したフェムト秒レーザ誘起改質によるホウ素イオン導入促進,
日本金属学会中国四国支部第65回講演大会講演概要集, B14, 2022年8月. 河野太洋, 山口誠, 岡田達也, 富田卓朗 :
銅/亜鉛界面へのフェムト秒レーザー照射による非熱力学的な合金生成手法,
2022年度応用物理学会中国四国支部学術講演会講演概要集, Aa-5, 2022年7月. 古市建人, 山口誠, 岡田達也, 富田卓朗 :
SiC上のAu/Cu積層膜へのフェムト秒レーザー照射,
2022年度応用物理学会中国四国支部学術講演会講演概要集, Aa-4, 2022年7月. 岩浅郁哉, 植木智之, 富田卓朗, 岡田達也 :
フェムト秒レーザ照射したダイヤモンド結晶表面へのホウ素イオン注入,
2022年度応用物理学会中国四国支部学術講演会講演概要集, Aa-2, 2022年7月. 岸田崇秀, 植木智之, 富田卓朗, 岡田達也 :
フェムト秒レーザ照射したSiC表面におけるNi電極形成,
2022年度応用物理学会中国四国支部学術講演会講演概要集, Aa-1, 2022年7月. 河野太洋, 峯元希, 三村一暉, 山口誠, 岡田達也, 富田卓朗 :
フェムト秒レーザーアブレーションの走査電子顕微鏡によるその場観察,
第69回応用物理学会春季学術講演会講演予稿集, Vol.69, 24p-E106-2, 2022年3月. 古市健人, 山本健, 土屋叡本, ⾼橋考, 内海慶春, 柴田明宣, 山口誠, 小林洋平, 富田卓朗 :
SiC上DLC膜におけるピコ秒レーザー誘起ナノ周期構造のパルス時間幅依存性,
第69回応用物理学会春季学術講演会講演予稿集, Vol.69, 24p-E106-1, 2022年3月. 高林圭佑, 三村一暉, 高橋孝, 富田卓朗, 小林洋平, 山口誠 :
加工閾値近傍でのピコ秒レーザー誘起Si上DLC膜の構造評価,
第69回応用物理学会春季学術講演会講演予稿集, Vol.69, 24a-E106-4, 2022年3月. 富田卓朗 :
(invited) ワイドバンドギャップ半導体をキャップ層として使用したフェムト秒レーザー照射による新規合金の作製,
レーザー学会学術講演会第42回年次大会, Vol.42, D04-12p-IV-01, 2022年1月. ⼤⽵康介, ⾼林圭祐, 三村⼀暉, ⾼橋考, 富田卓朗, ⼩林洋平, ⼭⼝誠 :
Si上DLC膜のレーザー痕のパルス幅・フルエンス依存性,
2021年度精密工学会東北支部学術講演会, B05, 2021年11月. 野澤明弘, ⾼林圭祐, 三村⼀暉, 富田卓朗, ⼭⼝誠 :
フェムト秒レーザー誘起のダイヤモンドの構造変化のラマン分光法による評価,
2021年度精密工学会東北支部学術講演会, A02, 2021年11月. 三村一暉, 坂東賢哉, 山口誠, 岡田達也, 富田卓朗 :
Cuをキャップ層として用いたAlのフェムト秒レーザー誘起構造変化,
第82回応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集, Vol.82, 11a-N321-8, 2021年9月. 小川倖平, 富田卓朗, 久澤大夢, 岡田達也 :
フェムト秒レーザ誘起改質を導入した SiC 単結晶表面における Ni 電極形成,
日本金属学会中国四国支部第61回講演大会講演概要集, A16, 2021年8月. 小川倖平, 久澤大夢, 富田卓朗, 岡田達也 :
フェムト秒レーザ照射した4H-SiC表面におけるNi電極の電流-電圧特性,
2021年度応用物理・物理系学会中国四国支部合同学術講演会, Fp-5, 2021年7月. 高林圭佑, カイディールカマロン, 山口誠, 富田卓朗, 高橋孝, 小林洋平 :
ピコ秒レーザー照射によるSi上DLC膜の構造変化,
第68回応用物理学会春季学術講演会講演予稿集, Vol.68, 19p-Z07-7, 2021年3月. 山本健, 高橋孝, 内海慶春, 柴田明宣, 山口誠, 小林洋平, 富田卓朗 :
ピコ秒レーザー照射を用いたSiC上DLCにおけるレーザー誘起ナノ周期構造の形成,
第68回応用物理学会春季学術講演会講演予稿集, Vol.68, 18a-Z04-4, 2021年3月. 三村一暉, 高橋孝, 山口誠, 小林洋平, 富田卓朗 :
Siにおけるレーザー加工痕のパルス時間幅依存性,
第68回応用物理学会春季学術講演会講演予稿集, Vol.68, 18a-Z04-3, 2021年3月. 山口誠, 高林圭祐, ルクマンハムバリビンザイニ, 富田卓朗 :
SiC表面の短パルスレーザー照射よる表面改質層のラマン散乱分光法評価,
2020年度砥粒加工学会学術講演会, B27, 2020年9月. 水本善雄, 髙島祐介, 直井美貴, 富田卓朗 :
Ni/SiC界面へのフェムト秒レーザ照射による熱アニールを用いないオーミック電極形成,
第81回応用物理学会秋季学術講演会, 9a-Z18-4, 2020年9月. 坂東賢哉, 植木智之, 富田卓朗, 久澤大夢, 岡田達也, 小林幸雄, 伊藤元雄 :
ダイヤモンド単結晶表面へのフェムト秒レーザ照射誘起改質導入とホウ素イオン注入,
日本金属学会中国四国支部第60回講演大会講演概要集, B05, 2020年8月. 山本健, 高橋孝, 内海慶春, 柴田明宣, 山口誠, 小林洋平, 富田卓朗 :
ピコ秒レーザー照射による4H-SiC上DLCの改質,
2020年度応用物理・物理系学会中国四国支部合同学術講演会講演概要集, Bp-8, 2020年8月. 三村一暉, 高橋孝, 山口誠, 小林洋平, 富田卓朗 :
粗面化したSi におけるレーザ加工痕のパルス幅依存性,
2020年度応用物理・物理系学会中国四国支部合同学術講演会講演概要集, Bp-10, 2020年8月. 坂東賢哉, 植木智之, 富田卓朗, 久澤大夢, 岡田達也, 小林幸雄, 伊藤元雄 :
フェムト秒レーザ照射したダイヤモンド表面へのホウ素イオン注入,
2020年度応用物理・物理系学会中国四国支部合同学術講演会講演概要集, Cp-2, 2020年8月. 水本善雄, 髙島祐介, 直井美貴, 富田卓朗 :
SiC上Ni電極剥離に着目したフェムト秒レーザ照射改質による電極形成,
2020年度応用物理・物理系学会中国四国支部合同学術講演会, Bp-7, 2020年8月. ルクマンハムバリビンザイニ, 山口誠, 山野太久, 富田卓朗, 岡田達也 :
SiCにおけるフェムト秒レーザー誘起表面改質の可視・紫外ラマン散乱分光,
2019年度精密工学会東北支部学術講演会, C05, 2019年11月. 渕上裕暉, 薮内麻由, 宮本美佑, 二村大, 山口誠, 岡田達也, 富田卓朗 :
走査型電子顕微鏡を用いたフェムト秒レーザー加工過程のパルス分解観察,
第80回応用物理学会秋季学術講演会講演概要集, 18p-N304-8, 2019年9月. 水尾優作, 渕上裕暉, 久澤大夢, 富田卓朗, 岡田達也 :
SiC単結晶表面におけるフェムト秒レーザ照射誘起改質を応用したNi電極の作製,
日本金属学会中国四国支部第59回講演大会講演概要集, B08, 2019年8月. 内田健介, 今垣諒彌, 植木智之, 久澤大夢, 富田卓朗, 岡田達也, 田中康弘 :
ダイヤモンド単結晶表面におけるフェムト秒レーザ照射誘起改質とTiの反応,
日本金属学会中国四国支部第59回講演大会講演概要集, B25, 2019年8月. 水尾優作, 渕上裕暉, 富田卓朗, 久澤大夢, 岡田達也 :
フェムト秒レーザ照射誘起改質を導入したSiC単結晶上Ni電極の特性評価,
2019年度応用物理・物理系学会中国四国支部合同学術講演会講演予稿集, Fp-4, 2019年7月. 片山裕之, 直井美貴, 岡田達也, 田中康弘, 富田卓朗 :
フェムト秒レーザー照射による結晶改質がp-GaNへのオーミックコンタクトに与える影響,
第66回応用物理学会春季学術講演会, 10a-W631-12, 2019年3月. 水尾優作, 渕上裕暉, 富田卓朗, 久澤大夢, 岡田達也 :
フェムト秒レーザ照射誘起改質を応用したNi/SiC界面における電極形成,
2019年第66回応用物理学会春季学術講演会講演予稿集, 9a-W631-2, 2019年3月. 枝澤光希, 浦西将, 富田卓朗, 西野克志 :
AlN結晶のアニール処理による機械的ダメージの回復評価,
第79回応用物理学会秋季学術講演会, 19p-PA4-1, 2018年9月. 富田卓朗, 竹中一将, 板東洋太, 滝谷悠介, 山口誠, 田中康弘, 中島信一, 岡田達也 :
表面局在した格子振動に由来するSiCのラマンスペクトル,
日本物理学会2018年秋季大会, 11aPS36, 2018年9月. 渕上裕暉, 植木智之, 富田卓朗, 久澤大夢, 岡田達也, 田中康弘 :
フェムト秒レーザ照射改質の導入によるNi/SiC界面のNiシリサイド形成,
日本金属学会中国四国支部第58回講演大会講演概要集, 26, 2018年8月. 今垣諒彌, 植木智之, 富田卓朗, 久澤大夢, 岡田達也, 田中康弘 :
ダイヤモンド表面へのフェムト秒レーザ照射改質の導入によるTi/ダイヤモンド界面反応,
日本金属学会中国四国支部第58回講演大会講演概要集, 25, 2018年8月. 今垣諒彌, 植木智之, 富田卓朗, 久澤大夢, 岡田達也, 田中康弘 :
フェムト秒レーザ照射改質を導入したダイヤモンド表面へのTi蒸着,
2018年度応用物理・物理系学会中国四国支部合同学術講演会, 5, 2018年8月. 渕上裕暉, 植木智之, 富田卓朗, 久澤大夢, 岡田達也, 田中康弘 :
4H-SiC表面へのフェムト秒レーザ照射改質導入によるNi/SiC界面反応の促進,
2018年度応用物理・物理系学会中国四国支部合同学術講演会講演予稿集, 4, 2018年8月. 宮本美佑, 富田卓朗 :
走査型電子顕微鏡内でのフェムト秒レーザー光照射光学系の構築,
第65回応用物理学会春季学術講演会講演予稿集, 20a-P1-2, 2018年3月. 川上博貴, 直井美貴, 富田卓朗 :
ホール測定によるNi/SiC界面に形成されたフェムト秒レーザー改質層の電気特性評価,
第65回応用物理学会春季学術講演会, 20a-P1-4, 2018年3月. 渕上裕暉, 橋本拓哉, 川上博貴, 植木智之, 富田卓朗, 岡田達也, 田中康弘 :
フェムト秒レーザ誘起改質を応用したNi/SiC界面における低温拡散,
第65回応用物理学会春季学術講演会講演予稿集, 19p-A404-9, 2018年3月. 片山裕之, 川上博貴, 今垣諒彌, 橋本拓哉, 山口誠, 田中康弘, 直井美貴, 岡田達也, 富田卓朗 :
p-GaN上オーミック電極形成のためのフェムト秒レーザー照射方法の検討,
第65回応用物理学会春季学術講演会, 19p-A404-11, 2018年3月. 竹中一将, 板東洋太, 滝谷悠介, 山口誠, 田中康弘, 中島信一, 岡田達也, 富田卓朗 :
サブミクロン厚4H-SiCにおけるラマンスペクトルの極性面依存性,
第65回応用物理学会春季学術講演会講演予稿集, 18p-B203-17, 2018年3月. 竹中一将, 板東洋太, 滝谷悠介, 山口誠, 田中康弘, 中島信一, 岡田達也, 富田卓朗 :
SiCのサブミクロン厚領域におけるラマンスペクトルの数値計算,
第28回光物性研究会, IIA-68, 2017年12月. 竹中一将, 板東洋太, 滝谷悠介, 山口誠, 田中康弘, 中島信一, 岡田達也, 富田卓朗 :
サブミクロン厚SiCにおける極性面に依存したラマンスペクトル,
先進パワー半導体分科会第4回講演会, IIA-20, 2017年11月. 川上博貴, 直井美貴, 富田卓朗 :
SiC と金属の界面におけるフェムト秒レーザー照射支援アニール,
先進パワー半導体分科会第4回講演会, IIB-8, 2017年11月. 川上博貴, 直井美貴, 富田卓朗 :
フェムト秒レーザー照射により作製したSiC上Ni電極の電気特性評価,
第78回応用物理学会秋季学術講演会, 8a-A410-2, 2017年9月. 二村大, 川上博貴, 植木智之, 富田卓朗, 岡田達也, 田中康弘 :
フェムト秒レーザ照射によるダイヤモンド単結晶表面への改質導入とアニールに伴う変化,
第78回応用物理学会秋季学術講演会, 7p-S45-12, 2017年9月. 二村大, 川上博貴, 植木智之, 富田卓朗, 岡田達也, 田中康弘 :
ダイヤモンド単結晶表面へのフェムト秒レーザ照射による改質導入,
日本金属学会第57回中国四国支部講演大会講演概要集, A21, 2017年8月. 二村大, 川上博貴, 植木智之, 富田卓朗, 岡田達也, 田中康弘 :
ダイヤモンド単結晶表面におけるフェムト秒レーザ照射誘起改質,
2017年度応用物理・物理系学会中国四国支部合同学術講演会講演概要集, 55, 2017年7月. 川上博貴, 直井美貴, 富田卓朗 :
フェムト秒レーザー支援アニールによるSiC上へのNi電極作製,
第64回応用物理学会春季学術講演会, 15a-512-8, 2017年3月. 山崎勇輝, 川上博貴, 直井美貴, 富田卓朗 :
フェムト秒レーザーアニールによるp-GaN上へのNi/Auオーミック電極作製,
第64回応用物理学会春季学術講演会, 15a-512-7, 2017年3月. 井筒類, 近藤恭介, 富田卓朗 :
透明固体材料における干渉計測によるフェムト秒レーザーアブレーション過程の観測,
第64回応用物理学会春季学術講演会, 14p-512-2, 2017年3月. 井筒類, 近藤恭介, 富田卓朗 :
Linnik干渉計を用いたホウケイ酸ガラスにおけるフェムト秒レーザーアブレーション過程の観測,
レーザー学会学術講演会第37回年次大会, Vol.37, 20, 2017年1月. 板東洋太, 滝谷悠介, 田中康弘, 中島信一, 岡田達也, 富田卓朗 :
極薄SiCにおけるラマンスペクトルの極性面及び膜厚依存性,
第27回光物性研究会論文集, Vol.27, 19-22, 2016年12月. 板東洋太, 竹中一将, 滝谷悠介, 田中康弘, 中島信一, 岡田達也, 富田卓朗 :
極薄SiCにおけるラマンスペクトルの極性面依存性,
2016年度応用物理・物理系学会中国四国支部合同学術講演会講演概要集, 44, 2016年7月. 政井勇輝, 植木智之, 田中康弘, 富田卓朗, 岡田達也 :
Al/ダイヤモンド単結晶界面へのフェムト秒レーザ照射に伴う微細周期構造形成,
2016年度応用物理・物理系学会中国四国支部合同学術講演会講演概要集, 27, 2016年7月. 橋本拓哉, 植木智之, 田中康弘, 富田卓朗, 岡田達也 :
SiC単結晶上に電子ビーム蒸着したニッケル薄膜の双晶化,
2016年度応用物理・物理系学会中国四国支部合同学術講演会講演概要集, 26, 2016年7月. 滝谷悠介, 近藤健太, 直井美貴, 富田卓朗, 岡田達也 :
レーザー支援アニールによるNi/SiC界面でのニッケルシリサイド形成及び炭素拡散,
公益社団法人応用物理学会先進パワー半導体分科会第2回講演会, Vol.2, 148, 2015年11月. 滝谷悠介, 近藤健太, 植木智之, 田中康弘, 富田卓朗, 岡田達也 :
Ni/SiC界面におけるフェムト秒レーザ照射誘起ひずみ及び低温アニールによるNiシリサイド形成,
日本金属学会2015年秋期講演大会(第157回)概要集, 80, 2015年9月. 柿本直也, 井筒類, 富田卓朗 :
タングステンにおけるアブレーション過程のフルエンス依存性,
第76回応用物理学会秋季学術講演会, Vol.76, 13p-2F-1, 2015年9月. 滝谷悠介, 近藤健太, 植木智之, 田中康弘, 富田卓朗, 岡田達也 :
フェムト秒レーザー照射によるNi/SiC界面へのひずみ導入と低温アニール,
第76回応用物理学会秋季学術講演会, 13p-2F-10, 2015年9月. 滝谷悠介, 近藤健太, 植木智之, 田中康弘, 富田卓朗, 岡田達也 :
Ni/SiC界面におけるフェムト秒レーザ照射誘起ひずみを応用した低温拡散,
日本金属学会中国四国支部第55回講演大会講演概要集, 52, 2015年8月. 柿本直也, 井筒類, 富田卓朗 :
軟X線干渉計測を用いたタングステンにおけるアブレーション過程の観測,
2015年度応用物理・物理系学会中国四国支部合同学術講演会, Ga-2, 2015年8月. 井筒類, 柿本直也, 富田卓朗 :
軟X線シャドウグラフを用いたタングステンにおけるアブレーション過程の観測,
2015年度応用物理・物理系学会中国四国支部合同学術講演会, Ga-1, 2015年8月. 板東洋太, 直井美貴, 富田卓朗 :
SiC基板への回路描画を目指したフェムト秒レーザー改質,
2015年度応用物理・物理系学会中国四国支部合同学術講演会, Ga-3, 2015年8月. 江山剛史, 柿本直也, 井筒類, 富田卓朗, 長谷川登, 錦野将元, 南康夫, 馬場基芳, 河内哲哉, 山極満, 末元徹 :
金属のフェムト秒レーザーアブレーション過程における剥離形状と照射強度分布の相関,
日本物理学会第70回年次大会(2015年)概要集, Vol.70, 2616, 2015年3月. 柿本直也, 江山剛史, 井筒類, 富田卓朗, 長谷川登, 錦野将元, 南康夫, 馬場基芳, 河内哲哉, 山極満, 末元徹 :
軟X線シャドウグラフを用いたフェムト秒レーザー照射によるタングステンの剥離薄膜形状の観測,
日本物理学会第70回年次大会(2015年)概要集, Vol.70, 1506, 2015年3月. 井筒類, 江山剛史, 柿本直也, 富田卓朗, 長谷川登, 錦野将元, 南康夫, 馬場基芳, 河内哲哉, 山極満, 末元徹 :
フェムト秒レーザーアブレーションにおけるタングステン剥離薄膜形状の局所強度依存性,
第62 回応用物理学会春季学術講演会講演予稿集, Vol.62, 04-078, 2015年3月. 出来真斗, 近藤健太, 柳田栄造, 板東洋太, 森本和樹, 岡田達也, 富田卓朗 :
フェムト秒レーザー支援アニールによるNi/SiC界面の低温シリサイド化,
応用物理学会先進パワー半導体分科会第1回講演会, 114, 2014年11月. 森本和樹, 植木智之, 富田卓朗, 岡田達也 :
Ni/SiC界面へのfsレーザ照射によるひずみ導入と低温アニール,
日本金属学会2014年秋期講演大会, 213, 2014年9月. 柿本直也, 江山剛史, 富田卓朗, 長谷川登, 錦野将元, 南康夫, 馬場基芳, 河内哲哉, 山極満, 末元徹 :
軟X 線シャドウグラフを用いた金におけるフェムト秒レーザーアブレーション過程のフルエンス依存性,
第75 回応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集, Vol.75, 03-227, 2014年9月. 柳田栄造, 近藤健太, 板東洋太, 出来真斗, 牧野高紘, 大島武, 直井美貴, 富田卓朗 :
SiC のフェムト秒レーザー改質部における電気伝導機構,
第75 回応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集, Vol.75, 03-226, 2014年9月. 近藤健太, 柳田栄造, 板東洋太, 出来真斗, 岡田達也, 富田卓朗 :
フェムト秒レーザー照射によるNi/SiC 界面反応の物性解析,
第75 回応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集, Vol.75, 03-225, 2014年9月. 森本和樹, 植木智之, 富田卓朗, 岡田達也 :
Ni/SiC 界面へのフェムト秒レーザ照射と低温アニールによるNi 拡散の促進,
第75 回応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集, Vol.75, 03-224, 2014年9月. 出来真斗, 牧野高紘, 富田卓朗, 児島一聡, 大島武 :
イオン照射を行った4H-SiC MOSFETにおける絶縁破壊電界,
第75 回応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集, Vol.75, 15-226, 2014年9月. 江山剛史, 柿本直也, 富田卓朗, 長谷川登, 錦野将元, 南康夫, 馬場基芳, 大西直文, 伊藤篤史, 河内哲哉, 山極満, 末元徹 :
タングステンにおけるフェムト秒レーザーアブレーション過程の軟X線プローブ光を用いた観測,
日本物理学会秋季大会, Vol.69, No.2, 673, 2014年9月. 森本和樹, 植木智之, 富田卓朗, 岡田達也 :
fsレーザ照射によるSiC中へのひずみ導入と低温アニールに伴うNi拡散,
日本金属学会中国四国支部第54回講演大会講演概要集, 6, 2014年8月. 森本和樹, 植木智之, 富田卓朗, 岡田達也 :
Ni/SiC界面へのフェムト秒レーザ照射と低温アニールに伴う変化,
2014年度応用物理・物理系学会中国四国支部講演予稿集, 62, 2014年7月. 馬場基芳, 錦野将元, 長谷川登, 富田卓朗, 南康夫, 武井亮太, 山極満, 河内哲哉, 末元徹 :
斜入射型反射軟X線顕微鏡によるサブミクロン画像観察,
日本物理学会年次大会, Vol.69, No.4, 875, 2014年3月. 羽富大起, 大西直文, 錦野将元, 長谷川登, 富田卓朗, 伊藤篤史, 河内哲哉, 山極満, 末元徹 :
フェムト秒レーザー照射に伴う金属表面剥離過程の分子動力学解析,
日本物理学会年次大会, Vol.69, No.4, 875, 2014年3月. 江山剛史, 柿本直也, 富田卓朗, 長谷川登, 錦野将元, 南康夫, 武井亮太, 馬場基芳, 大西直文, 羽富大起, 海堀岳史, 守田利昌, 平野祐介, 河内哲哉, 山極満, 末元徹 :
軟X線ニュートンリングとシャドウグラフを用いた金属表面のフェムト秒レーザーアブレーション過程の観測,
日本物理学会年次大会, Vol.69, No.4, 875, 2014年3月. 山極満, 長谷川登, 錦野将元, 富田卓朗, 江山剛史, 柿本直也, 大西直文, 羽富大起, 伊藤篤史, 南康夫, 武井亮太, 馬場基芳, 河内哲哉, 末元徹 :
軟X線レーザープローブを用いた，金属表面のフェムト秒レーザーアブレーション過程の観測,
日本物理学会年次大会, Vol.69, No.4, 874, 2014年3月. 富田卓朗, 江山剛史, 柿本直也, 長谷川登, 錦野将元, 南康夫, 武井亮太, 馬場基芳, 大西直文, 羽富大起, 海堀岳史, 守田利昌, 平野祐介, 河内哲哉, 山極満, 末元徹 :
軟X線イメージングによる金属表面におけるアブレーション過程の観測,
日本物理学会年次大会, Vol.69, No.4, 740, 2014年3月. 錦野将元, 長谷川登, 富田卓朗, 江山剛史, 柿本直也, 大西直文, 羽富大起, 伊藤篤史, 南康夫, 武井亮太, 馬場基芳, 河内哲哉, 山極満, 末元徹 :
軟X線レーザーを用いた金属表面のフェムト秒レーザーアブレーション過程の観測II,
日本物理学会年次大会, Vol.69, 2014年3月. 長谷川登, 錦野将元, 富田卓朗, 江山剛史, 柿本直也, 大西直文, 羽富大起, 伊藤篤史, 南康夫, 武井亮太, 馬場基芳, 河内哲哉, 山極満, 末元徹 :
軟X線レーザーを用いた金属表面のフェムト秒レーザーアブレーション過程の観測I,
日本物理学会年次大会, Vol.69, 2014年3月. 柿本直也, 江山剛史, 富田卓朗, 長谷川登, 錦野将元, 南康夫, 馬場基芳, 海堀岳史, 守田利昌, 平野祐介, 河内哲哉, 山極満, 末元徹 :
軟 X 線シャドウグラフを用いたナノ秒スケールにおける金のフェムト秒レーザーアブレーション過程の観測,
第 61 回応用物理学会春季学術講演会講演予稿集, Vol.61, 04-286, 2014年3月. 岡知輝, 出来真斗, 直井美貴, 牧野高紘, 大島武, 富田卓朗 :
SiCのフェムト秒レーザー改質部における電気伝導度の温度依存性,
第 61 回応用物理学会春季学術講演会講演予稿集, Vol.61, 04-262, 2014年3月. 長谷川登, 富田卓朗, 錦野将元, 武井亮太, 馬場基芳, 江山剛史, 柿本直也, 河内哲哉, 山極満, 末元徹 :
軟X線レーザープローブを用いた金属のフェムト秒レーザーアブレーション過程の時間分解計測,
レーザー学会創立40周年記念学術講演会第34回年次大会, Vol.34, 21aVIII-6, 2014年1月. 錦野将元, 長谷川登, 富田卓朗, 江山剛史, 柿本直也, 羽富大起, 大西直文, 馬場基芳, 河内哲哉, 山極満, 末元徹 :
軟X線レーザーによる金のフェムト秒レーザーアブレーション過程の観測,
レーザー学会創立40周年記念学術講演会第34回年次大会, Vol.34, 21aIII-9, 2014年1月. 羽富大起, 大西直文, 錦野将元, 長谷川登, 富田卓朗, 河内哲哉, 山極満, 末元徹 :
Pt表面におけるフェムト秒レーザーアブレーション過程の分子動力学解析,
日本物理学会秋季大会, Vol.68, 828, 2013年9月. 長谷川登, 錦野将元, 海堀岳史, 平野祐介, 守田利昌, 河内哲哉, 山極満, 富田卓朗, 江山剛史, 柿本直也, 羽富大起, 大西直文, 南康夫, 武井亮太, 馬場基芳, 末元徹 :
ピコ秒からサブマイクロ秒時間領域における金属のフェムト秒レーザーアブレーションダイナミクスの観測,
日本物理学会秋季大会, Vol.68, 827, 2013年9月. 江山剛史, 富田卓朗, 錦野将元, 長谷川登, 南康夫, 武井亮太, 馬場基芳, 大西直文, 羽富大起, 海堀岳史, 守田利昌, 平野祐介, 河内哲哉, 山極満, 末元徹 :
軟X線反射率イメージングによる金および白金におけるレーザーアブレーションダイナミクスの観測,
日本物理学会秋季大会, Vol.68, 2013年9月. 江山剛史, 富田卓朗, 錦野将元, 長谷川登, 南康夫, 武井亮太, 馬場基芳, 大西直文, 羽富大起, 海堀岳史, 守田利昌, 平野祐介, 河内哲哉, 山極満, 末元徹 :
軟X 線レーザーによる金及び白金におけるフェムト秒レーザーアブレーション過程の観測,
第74回応用物理学会春季学術講演会講演予稿集, Vol.74, 04-241, 2013年9月. 出来真斗, 牧野高紘, 富田卓朗, 児島一聡, 大島武 :
SiC-MOSキャパシタにおけるシングルイベント破壊機構の検討,
第74回応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集, Vol.74, 15-190, 2013年9月. 出来真斗, 牧野高紘, 富田卓朗, 児島一聡, 大島武 :
4H-SiC MOS キャパシタにおける絶縁破壊電界のLET および膜厚依存性,
第60回応用物理学会春季学術講演会講演予稿集, Vol.60, 15-266, 2013年3月. 錦野将元, 長谷川登, 富田卓朗, 南康夫, 武井亮太, 石野雅彦, 寺川康太, 江山剛史, 高吉翔大, 河内哲哉, 山極満, 馬場基芳, 末元徹 :
軟X線レーザー干渉計による白金のフェムト秒レーザーアブレーション初期過程,
第60 回応用物理学会春季学術講演会講演予稿集, Vol.60, 04-277, 2013年3月. 江山剛史, 高吉翔大, 富田卓朗, 錦野将元, 長谷川登, 南康夫, 武井亮太, 馬場基芳, 平野祐介, 海堀岳史, 守田利昌, 河内哲哉, 山極満, 末元徹 :
軟X 線レーザーで観るフェムト秒レーザーアブレーション過程の物質依存性,
第60 回応用物理学会春季学術講演会講演予稿集, Vol.60, 04-276, 2013年3月. 富田卓朗, 錦野将元, 長谷川登, 南康夫, 武井亮太, 馬場基芳, 海堀岳史, 守田利昌, 平野祐介, 河内哲哉, 山極満, 末元徹 :
軟X 線レーザーを用いた金属におけるレーザーアブレーションダイナミクスの観測,
日本物理学会年次大会, Vol.68, No.4, 824, 2013年3月. 友部健, 三谷武志, 中島信一, 藤森裕基, 富田卓朗, 桑原奈月, 西澤伸一, 奥村元 :
ラマン散乱測定および強度計算に基づく10H-SiC 積層構造の決定,
第60 回応用物理学会春季学術講演会講演予稿集, Vol.60, 15-246, 2013年3月. Choi Yun-Jeong, 富田卓朗, 直井美貴 :
Morphological change of carbon film surface through thermal annealing,
第60回応用物理学会春季学術講演会, 28p-PB3-9, 2013年3月. 長谷川登, 富田卓朗, 錦野将元, 南康夫, 馬場基芳, 武井亮太, 寺川康太, 海堀岳史, 平野祐介, 守田利昌, 河内哲哉, 山極満, 末元徹 :
軟X 線プローブによるフェムト秒レーザーアブレーション過程の直接観測 (II),
日本物理学会年次大会, Vol.68, No.4, 987, 2013年3月. 長谷川登, 富田卓朗, 錦野将元, 武井亮太, 馬場基芳, 河内哲哉, 山極満, 末元徹 :
軟X線レーザープローブによるフェムト秒レーザーアブレーション過程の時間分解計測,
レーザー学会第33回年次大会, Vol.33, 2013年1月. 錦野将元, 長谷川登, 富田卓朗, 武井亮太, 馬場基芳, 河内哲哉, 山極満, 末元徹 :
軟X線レーザー干渉計測による白金のフェムト秒レーザーアブレーション,
レーザー学会第33回年次大会, Vol.33, 2013年1月. 藤本拓生, Choi Yun Jeong, 富田卓朗, 直井美貴 :
リン添加による炭素系薄膜CVD成長に関する研究,
第42回結晶成長国内会議(NCCG-42), 10PS08, 2012年11月. 九鬼健, 横山達也, 富田卓朗, 直井美貴 :
MOCVD法によるリン化ゲルマニウム結晶成長に関する研究,
第42回結晶成長国内会議(NCCG-42), 10PS07, 2012年11月. 富田卓朗, 錦野将元, 長谷川登, 南康夫, 武井亮太, 馬場基芳, 寺川康太, 海堀岳史, 守田利昌, 河内哲哉, 山極満, 末元徹 :
軟X線イメージングによる閾値特性を持ったアブレーションダイナミクスの観測,
日本物理学会秋季大会, Vol.67, No.4, 834, 2012年9月. 長谷川登, 富田卓朗, 錦野将元, 南康夫, 馬場基芳, 武井亮太, 寺川康太, 海堀岳史, 河内哲哉, 山極満, 末元徹 :
軟X線プローブによるフェムト秒レーザーアブレーション過程の直接観測,
日本物理学会秋季大会, Vol.67, No.4, 834, 2012年9月. 出来真斗, 牧野高紘, 岩本直也, 小野田忍, 富田卓朗, 橋本修一, 児島一聡, 大島武 :
イオン照射したSiC-MOS キャパシタにおける絶縁破壊電界のLET 依存性,
第73 回応用物理学会学術講演会講演予稿集, Vol.73, 15-294, 2012年9月. 富田卓朗, 尾崎信彦, 菅野智士, 江山剛史, 高吉翔大, 森田健, 井須俊郎 :
GaAs/AlGaAs多重量子井戸におけるフェムト秒レーザーアブレーション,
2012年秋季第73回応用物理学会学術講演会, No.12p-PA4-6, 2012年9月. 富田卓朗, 錦野将元, 長谷川登, 南康夫, 武井亮太, 馬場基芳, 寺川康太, 海堀岳史, 守田利昌, 河内哲哉, 山極満, 末元徹 :
軟X線干渉計測と反射率計測で観るフェムト秒レーザーアブレーション,
第73 回応用物理学会学術講演会講演予稿集, Vol.73, 140, 2012年9月. 横田洋輝, 植木智之, 富田卓朗, 岡田達也 :
4H-SiC単結晶内部における円偏光フェムト秒レーザ照射誘起欠陥,
日本金属学会中国四国支部第52回講演大会講演概要集, 71, 2012年8月. 横田洋輝, 植木智之, 富田卓朗, 岡田達也 :
円偏光フェムト秒レーザー照射による4H-SiC単結晶内部の欠陥形成,
2012年度支部学術講演会講演予稿集, 16, 2012年7月. 植木智之, 富田卓朗, 松尾繁樹, 橋本修一, 岡田達也 :
4H-SiC単結晶内部におけるフェムト秒レーザ誘起欠陥の照射条件依存性,
日本金属学会2012年春期(第150回)大会講演概要集, 283, 2012年3月. 長谷川登, 錦野将元, 富田卓朗, 南康夫, 武井亮太, 大西諒, 石野雅彦, 山本稔, 寺川康太, 海堀岳史, 守田利昌, 河内哲哉, 山極満, 末元徹 :
軟X線反射イメージングによるフェムト秒レーザーアブレーション過程の局所フルエンス依存性の観察, --- 軟X線反射イメージングによるフェムト秒レーザーアブレーション過程の局所フルエンス依存性の観察 ---,
日本物理学会年次大会, Vol.67, No.1, 26pYE-3, 2012年3月. 富田卓朗, 長谷川登, 錦野将元, 南康夫, 武井亮太, 大西諒, 石野雅彦, 山本稔, 寺川康太, 海堀岳史, 河内哲哉, 山極満, 末元徹 :
フェムト秒レーザーアブレーション過程における軟X線反射率の局所フルエンス依存性Ⅱ,
日本物理学会年次大会, Vol.67, No.1, 815, 2012年3月. 錦野将元, 長谷川登, 富田卓朗, 南康夫, 武井亮太, 大西諒, 石野雅彦, 山本稔, 寺川康太, 海堀岳史, 河内哲哉, 山極満, 末元徹 :
フェムト秒レーザーアブレーション過程における軟X線反射率の局所フルエンス依存性Ⅰ,
日本物理学会年次大会, Vol.67, No.1, 815, 2012年3月. 出来真斗, 牧野高紘, 富田卓朗, 大島武, 児島一聡 :
イオン照射下におけるSiC-MOS キャパシタのリーク電流,
第59 回応用物理学関係連合講演会講演予稿集, 15-296, 2012年3月. 渡邊幸志, 富田卓朗, 中島信一, 加藤有香子, 鹿田真一 :
同位体ダイヤモンド超格子のラマン散乱,
第59 回応用物理学関係連合講演会講演予稿集, 06-047, 2012年3月. 錦野将元, 長谷川登, 富田卓朗, 南康夫, 武井亮太, 石野雅彦, 山本稔, 寺川康太, 海堀岳史, 河内哲哉, 山極満, 末元徹 :
白金におけるフェムト秒レーザーアブレーション過程Ⅰ,
第59 回応用物理学関係連合講演会講演予稿集, 04-303, 2012年3月. 富田卓朗, 長谷川登, 錦野将元, 南康夫, 武井亮太, 石野雅彦, 山本稔, 寺川康太, 海堀岳史, 河内哲哉, 山極満, 末元徹 :
白金におけるフェムト秒レーザーアブレーション過程Ⅱ,
第59 回応用物理学関係連合講演会講演予稿集, 04-304, 2012年3月. 呉龍錫, 岩本篤, 田尾拓人, 井口宗明, 奥村俊夫, 杉村晶史, 富田卓朗, 永瀬雅夫, 日比野浩樹, 山口浩司 :
ひずみによるラマンシフトを用いた SiC 上グラフェンの層数評価,
第59回応用物理学関係連合講演会, No.16a-B2-4, 2012年3月. 松尾繁樹, 梅田善文, 奥本裕希, 富田卓朗, 橋本修一 :
ガラスのフェムト秒レーザー支援エッチングにおける照射パラメータ依存性,
第59 回応用物理学関係連合講演会講演予稿集, 04-284, 2012年3月. 植木智之, 富田卓朗, 松尾繁樹, 橋本修一, 岡田達也 :
4H-SiC 単結晶内部において形成するフェムト秒レーザ照射誘起欠陥,
第59 回応用物理学関係連合講演会講演予稿集, 04-271, 2012年3月. 伊藤拓人, 大西諒, 出来真斗, 富田卓朗, 松尾繁樹, 橋本修一, 北田貴弘, 井須俊郎, 小野田忍, 大島武 :
フェムト秒レーザー照射による表面及び内部におけるSiC 改質部の電気伝導特性,
2012年春季第59回応用物理学関係連合講演会, 04-283, 2012年3月. 長谷川登, 山本稔, 富田卓朗, 錦野将元, 海堀岳史, 南康夫, 武井亮太, 河内哲哉, 山極満, 末元徹 :
軟X線レーザー反射イメージングによるフェムト秒レーザーアブレーション過程の時間分解計測,
レーザー学会第32回年次大会, Vol.32, 113, 2012年1月. 渡邊幸志, 富田卓朗, 中島信一, 加藤有香子, 鹿田真一 :
同位体ダイヤモンド超格子からのラマン散乱,
第25回ダイヤモンドシンポジウム, P1-05, 2011年12月. 富田卓朗, 山本稔, 長谷川登, 寺川康太, 南康夫, 錦野将元, 石野雅彦, 越智義浩, 海堀岳史, 河内哲哉, 山極満, 末元徹 :
時間分解軟X線反射率イメージングによるアブレーションダイナミクスの観測,
日本物理学会秋季大会, Vol.66, No.2, 723, 2011年9月. 岩本篤, 呉龍錫, 船瀬雄也, 西勇輝, 湯浅貴浩, 富田卓朗, 永瀬雅夫, 関根佳明, 日比野浩樹, 山口浩司 :
ラマン分光法によるSiC上グラフェンの内部応力解析,
第72回応用物理学会学術講演会, No.1a-E-1, 2011年9月. 伊藤拓人, 出来真斗, 富田卓朗, 松尾繁樹, 橋本修一, 北田貴弘, 井須俊郎, 小野田忍, 大島武 :
フェムト秒レーザー照射によるSiC改質部の局所電気伝導度の照射偏光依存性Ⅱ,
第72回応用物理学会学術講演会, 04-236, 2011年8月. 山本稔, 富田卓朗, 長谷川登, 寺川康太, 南康夫, 錦野将元, 石野雅彦, 越智義浩, 海堀岳史, 河内哲哉, 山極満, 末元徹 :
軟X線レーザープローブによる超短パルスレーザーアブレーションダイナミクスの時間分解反射率イメージング,
第72回応用物理学会学術講演会, 04-214, 2011年8月. 柏野亮太, 伊藤拓人, 富田卓朗, 松尾繁樹, 橋本修一, 岡田達也 :
SiC単結晶内部に形成したレーザ誘起微細周期構造のアニールによる変化,
応用物理学会中国四国支部2011年度支部学術講演会講演予稿集, 134, 2011年7月. 富田卓朗, 寺川康太, 山本稔, 長谷川登, 南康夫, 錦野将元, 越智義浩, 海堀岳史, 河内哲哉, 山極満, 末元徹 :
コヒーレント軟X線を用いたフェムト秒レーザーアブレーション過程のイメージング,
レーザー・量子エレクトロニクス研究会, 53-57, 2011年5月. 山口誠, 藤塚将行, 上野滋, 神津知己, 三浦一郎, 源泰寛, 富田卓朗 :
SiC における押込み圧痕部の深紫外顕微ラマン分光,
第58回応用物理学関係連合講演会, 18-086, 2011年3月. 松尾繁樹, 岩浅廣大, 富田卓朗, 橋本修一 :
フッ化物結晶のフェムト秒レーザー支援エッチング,
第58回応用物理学関係連合講演会, 04-296, 2011年3月. 伊藤拓人, 出来真斗, 富田卓朗, 松尾繁樹, 橋本修一, 北田貴弘, 井須俊郎, 小野田忍, 大島武 :
フェムト秒レーザー照射によるSiC改質部の局所電気伝導度の照射偏光依存性,
第58回応用物理学関係連合講演会, 04-287, 2011年3月. 呉龍錫, 岩本篤, 西勇輝, 船瀬雄也, 湯浅貴浩, 富田卓朗, 永瀬雅夫, 日比野浩樹, 山口浩司 :
ラマン分光法による 4H-SiC 上エピタキシャルグラフェンの膜質評価,
第58回応用物理学関係連合講演会, No.26p-KE-17, 2011年3月. 長谷川登, 山本稔, 寺川康太, 越智義浩, 南康夫, 梅田善文, 富田卓朗, 河内哲哉, 末元徹 :
軟X線レーザー干渉計によるレーザーアブレーション過程の時間分解計測,
レーザー学会学術講演会第31回年次大会, Vol.31, 162, 2011年1月. 伊藤拓人, 出来真斗, 富田卓朗, 松尾繁樹, 橋本修一, 北田貴弘, 井須俊郎, 小野田忍, 大島武 :
SiCのフェムト秒レーザー改質部における局所電気伝導度の照射偏光依存性,
SiC及び関連ワイドギャップ半導体研究会第19回講演会予稿集, 110-111, 2010年10月. 出来真斗, 伊藤拓人, 富田卓朗, 松尾繁樹, 橋本修一, 北田貴弘, 井須俊郎, 小野田忍, 大島武 :
フェムト秒レーザー改質したSiCにおける局所電気伝導度の照射フルエンス依存性,
SiC及び関連ワイドギャップ半導体研究会第19回講演会予稿集, 114-115, 2010年10月. 高橋智則, 富田卓朗, 松尾繁樹, 橋本修一, 岡田達也 :
4H-SiC単結晶内部におけるフェムト秒レーザ誘起周期構造,
日本金属学会2010年秋期(第147回)大会講演概要集, 360, 2010年9月. 長谷川登, 山本稔, 寺川康太, 越智義浩, 富田卓朗, 河内哲哉, 末元徹 :
軟X線レーザー干渉計によるレーザーアブレーションの診断,
日本物理学会2010年秋季大会講演予稿集, Vol.2, 174, 2010年9月. 山本稔, 長谷川登, 寺川康太, 富田卓朗, 越智義浩, 大場俊幸, 海堀岳史, 河内哲哉, 南康夫, 末元徹 :
フェムト秒レーザーパルス蓄積照射によるアブレーション過程の観察,
日本物理学会2010年秋季大会講演予稿集, Vol.4, 674, 2010年9月. 松尾繁樹, 富田卓朗, 橋本修一 :
フェムト秒レーザーパルスを照射したガラスのエッチング特性の温度・濃度依存性,
第71 回応用物理学会学術講演会講演予稿集, 04-287, 2010年9月. 高橋智則, 富田卓朗, 松尾繁樹, 橋本修一, 岡田達也 :
4H-SIC単結晶内部におけるフェムト秒レーザ誘起周期構造の3次元可視化,
2010年秋季<第71回>応用物理学会学術講演会講演予稿集, 15a-L6, 2010年9月. 富田卓朗, 山本稔, 寺川康太, 長谷川登, 越智義浩, 大場俊幸, 海堀岳史, 河内哲哉, 南康夫, 末元徹 :
フェムト秒レーザーアブレーションにおける蓄積効果の直接観察,
第71 回応用物理学会学術講演会講演予稿集, 07-098, 2010年9月. 山本稔, 長谷川登, 寺川康太, 富田卓朗, 越智義浩, 河内哲哉, 大場俊幸, 海堀岳史, 南康夫, 末元徹 :
軟X線レーザー干渉計によるフェムト秒レーザーパルス積算照射効果の観測,
第71 回応用物理学会学術講演会講演予稿集, 04-280, 2010年9月. 出来真斗, 伊藤拓人, 富田卓朗, 松尾繁樹, 橋本修一, 北田貴弘, 井須俊郎, 小野田忍, 大島武 :
SiCのフェムト秒レーザー改質部における局所電気伝導度の照射フルエンス依存性,
第71 回応用物理学会学術講演会講演予稿集, 04-269, 2010年9月. 松尾繁樹, 富田卓朗, 橋本修一 :
ガラスのフェムト秒レーザー支援エッチングにおける選択性のエッチング条件依存性,
2010年光化学討論会講演要旨集, 361, 2010年9月. 篠岡幸臣, 富田卓朗, 松尾繁樹, 橋本修一, 岡田達也 :
4H-SiC単結晶内部におけるフェムト秒レーザ誘起周期構造の照射条件依存性,
日本金属学会中国四国支部第50回講演大会概要集, 55, 2010年8月. 篠岡幸臣, 山本稔, 出来真斗, 富田卓朗, 松尾繁樹, 橋本修一, 岡田達也 :
4H-SiC単結晶内部へのフェムト秒レーザ照射により誘起される微細周期構造の形態,
2010年度応用物理学会中国四国支部学術講演会講演予稿集, 17, 2010年7月. 高橋智則, 富田卓朗, 松尾繁樹, 橋本修一, 岡田達也 :
4H-SiC単結晶内部に形成したフェムト秒レーザ誘起周期構造の3次元イメージング,
2010年度応用物理学会中国四国支部学術講演会講演予稿集, 16, 2010年7月. 寺川康太, 越智義浩, 南康夫, 河内哲哉, 富田卓朗, 山本稔, 出来真斗, 長谷川登, 大場俊幸, 海堀岳史, 末元徹 :
ポンププローブ軟X線干渉計によるアブレーションダイナミクスの観測,
日本物理学会年次大会, Vol.65, No.4, 744, 2010年3月. 越智義浩, 河内哲哉, 寺川康太, 末元徹, 南康夫, 富田卓朗, 山本稔, 出来真斗, 長谷川登, 大場俊幸, 海堀岳史 :
軟X 線レーザープローブによる固体表面ダイナミクス観測手法の開発,
日本物理学会年次大会, Vol.65, No.4, 744, 2010年3月. 富田卓朗, 山本稔, 出来真斗, 越智義浩, 河内哲哉, 長谷川登, 大場俊幸, 海堀岳史, 寺川康太, 末元徹 :
コヒーレント軟X線プローブによるフェムト秒レーザーアブレーションダイナミクスの観測,
第57 回応用物理学関係連合講演会, Vol.57, 04-293, 2010年3月. 越智義浩, 河内哲哉, 寺川康太, 末元徹, 富田卓朗, 山本稔, 出来真斗, 長谷川登, 大場俊幸, 石野雅彦, 海堀岳史 :
高輝度プラズマ軟X線レーザーの高繰り返し発生と物性研究への応用,
レーザー学会学術講演会第30回年次大会, 4aI-5, 2010年2月. 出来真斗, 伊藤拓人, 山本稔, 富田卓朗, 松尾繁樹, 橋本修一, 北田貴弘, 井須俊郎, 小野田忍, 大島武 :
6H-SiC基板へのフェムト秒レーザー改質による電気伝導のパルスピッチ依存性,
SiC及び関連ワイドギャップ半導体研究会講演会予稿集, Vol.18, 148-149, 2009年12月. 山本稔, 出来真斗, 高橋智則, 富田卓朗, 岡田達也, 松尾繁樹, 橋本修一, 山口誠, 中川圭, 上原信知, 釜野勝 :
ラマン分光法による4H-SiC内部へのフェムト秒レーザー誘起ひずみ層形成過程の解明,
SiC及び関連ワイドギャップ半導体研究会講演会予稿集, Vol.18, 84-85, 2009年12月. 越智義浩, 河内哲哉, 長谷川登, 大場俊幸, 海堀岳史, 錦野将元, 田中桃子, 岸本牧, 寺川康太, 末元徹, 富田卓朗, 山本稔, 出来真斗 :
軟X 線レーザープローブによる固体表面における高速過渡現象の観測,
高速度イメージングとフォトニクスに関する総合シンポジウム2009, O-15, 2009年12月. 越智義浩, 寺川康太, 末元徹, 河内哲哉, 長谷川登, 富田卓朗, 山本稔, 出来真斗, 大場俊幸, 海堀岳史 :
軟X線レーザー干渉計を用いたナノスケール擾乱の高時間分解観察,
日本物理学会秋季大会, Vol.64, No.2, 672, 2009年9月. 山口誠, 藤塚将行, 上野滋, 三浦一郎, 江利川亘, 富田卓朗 :
単結晶SiCにおける押込圧痕部の顕微ラマン分光,
2009年秋季・第70回応用物理学会学術講演会・講演予稿集, 425, 2009年9月. 出来真斗, 山本稔, 伊藤拓人, 岩見勝弘, 富田卓朗, 松尾繁樹, 橋本修一, 中河義典, 北田貴弘, 井須俊郎, 小野田忍, 大島武 :
イオン注入電極を作製したSiC基板へのフェムト秒レーザー照射による電気伝導特性制御,
2009年秋季・第70回応用物理学会学術講演会・講演予稿集, 1057, 2009年9月. 山本稔, 出来真斗, 高橋智則, 富田卓朗, 岡田達也, 松尾繁樹, 橋本修一, 山口誠, 中川圭, 上原信知, 釜野勝 :
ラマン分光測定を用いた4H-SiCにおけるフェムト秒レーザー内部改質部の応力評価,
2009年秋季・第70回応用物理学会学術講演会・講演予稿集, 1056, 2009年9月. 岡田達也, 富田卓朗, 松尾繁樹, 橋本修一, 高橋智則 :
フェムト秒レーザ照射により誘起された4H-SiC単結晶内部における周期構造の偏光依存性,
2009年秋季・第70回応用物理学会学術講演会・講演予稿集, 1049, 2009年9月. 高橋智則, 岡田達也, 富田卓朗, 松尾繁樹, 橋本修一, 石田陽一郎, 木山聡 :
4H-SiC単結晶内部におけるフェムト秒レーザ誘起周期構造のパルスエネルギー依存性,
2009年秋季・第70回応用物理学会学術講演会・講演予稿集, 1048, 2009年9月. 高橋智則, 富田卓朗, 松尾繁樹, 橋本修一, 岡田達也 :
4H-SiC単結晶内部へのフェムト秒レーザ照射による周期構造形成,
日本金属学会中国四国支部第49回講演大会講演概要集, 59, 2009年8月. 高橋智則, 岡田達也, 富田卓朗, 松尾繁樹, 橋本修一 :
4H-SiC単結晶内部へのフェムト秒レーザ照射に伴う微細周期構造の断面TEM観察,
応用物理学会中国四国支部2009年度支部学術講演会講演予稿集, 27, 2009年8月. 野村英矩, 熊井亮太, 富田卓朗, 森田健, 松尾繁樹, 橋本修一, 井須俊郎 :
シリコン表面上で生成されるリップル構造のパルス数及びフルエンス依存性,
第56回応用物理学関係連合講演会講演予稿集, Vol.56, No.3, 1180, 2009年4月. 岡田達也, 富田卓朗, 松尾繁樹, 橋本修一, 石田陽一郎, 木山聡, 高橋智則 :
4H-SiC単結晶内部におけるフェムト秒レーザ誘起周期構造,
第56回応用物理学関係連合講演会講演予稿集, 1175, 2009年4月. 富田卓朗, 岡田達也, 河原啓之, 熊井亮太, 松尾繁樹, 橋本修一, 山口誠, 上野滋, 川本昌子, 新藤恵美, 吉田明 :
顕微ラマン分光およびTEM/EELSによるレーザー誘起表面ナノ構造の解析,
日本物理学会年次大会, Vol.64, No.4, 749, 2009年3月. 熊井亮太, 富田卓朗, 森田健, 松尾繁樹, 橋本修一, 井須俊郎 :
100kHzフェムト秒レーザーを用いた半導体へのナノ周期構造の作製,
レーザー学会学術講演会第29回年次大会講演予稿集, Vol.29, 125, 2009年1月. 木山聡, 富田卓朗, 松尾繁樹, 橋本修一 :
Microfluidic devices のための埋め込み型可動構造物の作製,
レーザー学会学術講演会第29回年次大会講演予稿集, Vol.29, 116, 2009年1月. 富田卓朗, 岡田達也, 河原啓之, 熊井亮太, 松尾繁樹, 橋本修一, 山口誠, 上野滋, 川本昌子, 新藤恵美, 吉田明 :
フェムト秒レーザー照射による4H-SiC改質部のTEM観察とラマン分光,
SiC及び関連ワイドギャップ半導体研究会講演会予稿集, Vol.17, 125-126, 2008年12月. 岩見勝弘, 富田卓朗, 松尾繁樹, 橋本修一, 齋藤伸吾, 阪井清美 :
フェムト秒レーザー改質された4H-SiCの赤外分光,
SiC及び関連ワイドギャップ半導体研究会講演会予稿集, Vol.17, 121-122, 2008年12月. 藤塚将行, 山口誠, 上野滋, 三浦一郎, 江利川亘, 富田卓朗 :
4H-SiCにおけるインデンテーション圧痕部の顕微ラマン分光,
SiC及び関連ワイドギャップ半導体研究会講演会予稿集, Vol.17, 76-77, 2008年12月. 木山聡, 富田卓朗, 松尾繁樹, 橋本修一 :
フェムト秒レーザー支援エッチング加工よる微小流体制御素子の開発,
第27回固体・表面光化学討論会講演要旨集, Vol.27, 119-120, 2008年11月. 高井宏章, 富田卓朗, 松尾繁樹, 橋本修一 :
金ナノ粒子を利用した透明無機固体材料の微細光加工の試み,
第27回固体・表面光化学討論会講演要旨集, Vol.27, 115-116, 2008年11月. 徳見憲亮, 富田卓朗, 松尾繁樹, 橋本修一 :
フェムト秒レーザー照射と高温エッチングによるサファイアの内部加工,
第27回固体・表面光化学討論会講演要旨集, Vol.27, 113-114, 2008年11月. Werner Daniel, 橋本修一, 富田卓朗, 松尾繁樹 :
その場観察法を用いたレーザーアブレーションによる金ナノ粒子作製法の検討,
第27回固体・表面光化学討論会講演要旨集, Vol.27, 77-78, 2008年11月. 松尾繁樹, 角治樹, 富田卓朗, 橋本修一 :
ホウケイ酸ガラスのフェムト秒レーザー誘起選択エッチング,
第27回固体・表面光化学討論会講演要旨集, Vol.27, 85-86, 2008年11月. 岩見勝弘, 富田卓朗, 松尾繁樹, 橋本修一, 北田貴弘, 中河義典, 井須俊郎, 齋藤伸吾 :
フェムト秒レーザー照射により改質されたSiCの電気伝導特性,
第69回応用物理学会学術講演会講演予稿集, Vol.69, No.3, 999, 2008年9月. 角治樹, 松尾繁樹, 富田卓朗, 橋本修一 :
フェムト秒レーザー支援エッチングの進行過程のその場観察,
応用物理学関係連合講演会, Vol.55, No.3, 1192, 2008年3月. 徳見憲亮, 富田卓朗, 松尾繁樹, 橋本修一 :
フェムト秒レーザー照射と高温エッチングによるサファイア内部の除去加工,
応用物理学関係連合講演会, Vol.55, No.3, 1188, 2008年3月. 岡田達也, 河原啓之, 熊井亮太, 富田卓朗, 松尾繁樹, 橋本修一, 山口誠, 川本昌子 :
フェムト秒レーザ照射により誘起された4H-SiC表面周期構造の断面TEM観察,
日本金属学会2008年春期大会講演概要, 342, 2008年3月. 富田卓朗, 河原啓之, 熊井亮太, 川本昌子, 山口誠, 岡田達也, 松尾繁樹, 橋本修一 :
レーザー誘起ナノ周期構造の断面形状と物性解析,
日本物理学会年次大会, Vol.63, 742, 2008年3月. 岩見勝弘, 熊井亮太, 富田卓朗, 松尾繁樹, 橋本修一, 北田貴弘, 中河義典, 井須俊郎 :
フェムト秒レーザー照射に伴う4H-SiC上での電気伝導度変化の検討,
SiC及び関連ワイドギャップ半導体研究会講演会予稿集, Vol.16, 129-130, 2007年11月. 松尾繁樹, 守屋聖, 富田卓朗, 橋本修一 :
レーザー光照射によるガラスの選択的エッチング,
第26回固体表面光化学討論会講演要旨集, 2007年11月. 佐俣和男, 橋本修一, 富田卓朗, 松尾繁樹 :
ゼオライト微粒子の2次元・3次元配列による光機能の創出,
2007光化学討論会講演要旨集, 2007年9月. Daniel Werner, 橋本修一, 富田卓朗, 松尾繁樹, 槇田洋二 :
銀フレークを用いたアルコール中におけるレーザーアブレーションによるナノ粒子作製,
2007光化学討論会講演要旨集, 2007年9月. 木山聡, 富田卓朗, 松尾繁樹, 橋本修一 :
フェムト秒レーザー加工による固体内光圧回転体の作製,
応用物理学会学術講演会, Vol.68, No.3, 1143, 2007年9月. 熊井亮太, 富田卓朗, 松尾繁樹, 橋本修一, 山口誠 :
Si, SiC 及びHOPGにおけるリップル断面形状の直接観察,
応用物理学会学術講演会, Vol.68, No.3, 1142, 2007年9月. 木山聡, 富田卓朗, 松尾繁樹, 橋本修一 :
フェムト秒レーザー支援エッチング加工による固体内光圧回転体の作製,
第68回レーザ加工学会講演論文集, 215-216, 2007年5月. 河原啓之, 岡田達也, 熊井亮太, 富田卓朗, 松尾繁樹, 橋本修一, 山口誠 :
フェムト秒レーザーを照射した4H-SiC単結晶表面における構造変化のTEM観察,
第54回応用物理学関係連合講演会予稿集, 1206, 2007年3月. 松尾繁樹, 守屋聖, 富田卓朗, 橋本修一 :
カバーガラスのフェムト秒レーザー支援エッチング加工,
第54回応用物理学関係連合講演会予稿集, 1206, 2007年3月. 熊井亮太, 富田卓朗, 松尾繁樹, 橋本修一 :
高配向性グラファイトにおけるリップル構造の断面形状,
第54回応用物理学関係連合講演会予稿集, 1203, 2007年3月. Daniel Werner, 橋本修一, 松尾繁樹, 富田卓朗 :
液中レーザーアブレーションによる金属ナノ粒子作製法の検討,
日本化学会第87春季年会講演予稿集, 2007年3月. 富田卓朗, 熊井亮太, 木下敬太, 松尾繁樹, 橋本修一 :
初期表面粗さがフェムト秒レーザー誘起ナノ周期構造生成に及ぼす影響,
日本物理学会春季大会, Vol.62, No.1, 737, 2007年3月. 松尾繁樹, 富田卓朗, 橋本修一, 岡田達也, ヨードカシスサウリウス, 三澤弘明 :
感光性を付与されていない透明固体材料の内部加工,
レーザ学会第356回研究会報告, 47-51, 2006年12月. 富田卓朗, 熊井亮太, 木下敬太, 松尾繁樹, 橋本修一 :
超短パルスレーザーを用いたSiCのマイクロ/ナノ加工,
SiC及び関連ワイドギャップ半導体研究会講演会予稿集, Vol.15, 106-107, 2006年11月. 越智謙吾, 富田卓朗, 岡田達也, 山口誠, 東嶺孝一, 木本恒暢 :
4H-SiC基板/エピ膜界面における表面欠陥の起源のTEM観察,
第67回応用物理学会学術講演会講演予稿集, 370, 2006年8月. 山口誠, 上野滋, 熊井亮太, 木下敬太, 富田卓朗, 松尾繁樹, 橋本修一 :
リップル形成過程における局所構造変化の顕微ラマン分光解析,
第67回応用物理学会学術講演会講演予稿集, 1037, 2006年8月. 富田卓朗, 熊井亮太, 木下敬太, 松尾繁樹, 橋本修一 :
レーザー誘起ナノ周期構造生成の試料表面粗さ依存性,
第67回応用物理学会学術講演会講演予稿集, 1037, 2006年8月. 河原啓之, 富田卓朗, 岡田達也, 東嶺孝一, 山口誠, 木本恒暢 :
4H-SiC基板/エピ膜界面に存在するエピ膜表面欠陥の起源のTEM観察,
2006年度応用物理学会中国四国支部学術講演会講演予稿集, 138, 2006年7月. 佐藤正弘, 富田卓朗, 松尾繁樹, 橋本修一 :
マイクロレンズアレイを用いた微小三次元周期構造物の作製,
2006年度応用物理学会中国四国支部学術講演会講演予稿集, 33, 2006年7月. 守屋聖, 松尾繁樹, 富田卓朗, 橋本修一 :
フェムト秒レーザー支援エッチングによるガラスの内部加工,
2006年度応用物理学会中国四国支部学術講演会講演予稿集, 45, 2006年7月. 富田卓朗, 熊井亮太, 木下敬太, 松尾繁樹, 橋本修一 :
照射条件と試料表面粗さに依存したレーザー誘起ナノ周期構造生成,
2006年度日本物理学会中国支部・四国支部学術講演会講演予稿集, 80, 2006年7月. 松尾繁樹, 富田卓朗, 橋本修一, 岡田達也, ヨードカシスサウリウス, 三澤弘明 :
フェムト秒レーザーによる透明固体材料の内部加工,
第66回レーザ加工学会講演論文集, 2006年6月. 富田卓朗, 木下敬太, 村井利彰, 福森康裕, 松尾繁樹, 橋本修一, 長瀬寛和, 中嶋誠, 末元徹 :
半導体におけるフェムト秒レーザー誘起ナノ周期構造生成過程,
日本物理学会年次大会, Vol.61, No.1, 737, 2006年3月. 山口誠, 上野滋, 木下敬太, 村井利彰, 富田卓朗, 松尾繁樹, 橋本修一 :
顕微分光によるフェムト秒レーザー誘起ナノ周期構造の評価,
日本物理学会年次大会, Vol.61, No.1, 737, 2006年3月. 福森康裕, 木下敬太, 富田卓朗, 松尾繁樹, 橋本修一 :
少数パルス照射によるフェムト秒レーザー誘起リップル,
第53回応用物理学関係連合講演会予稿集, 1209, 2006年3月. 山口誠, 上野滋, 木下敬太, 村井利彰, 富田卓朗, 松尾繁樹, 橋本修一 :
半導体表面におけるフェムト秒レーザー誘起ナノ周期構造の顕微分光,
第53回応用物理学関係連合講演会予稿集, 1209, 2006年3月. 富田卓朗, 三谷武志, 中島信一 :
極紫外光励起によるSiC表面フォノンに対するラマンスペクトルの数値計算,
第53回応用物理学関係連合講演会予稿集, 419, 2006年3月. 中島信一, 三谷武志, 富田卓朗, 加藤智久, 西澤伸一, 奥村元, 播磨弘 :
DUVラマン散乱分光によるSiCの表面フォノンの測定と極性面判定,
第53回応用物理学関係連合講演会予稿集, 419, 2006年3月. 中島信一, 三谷武志, 富田卓朗, 西澤伸一, 加藤智久, 奥村元, 播磨弘 :
極紫外ラマン散乱分光によるSiC{0001}面の極性判定,
SiC及び関連ワイドギャップ半導体研究会講演会予稿集, Vol.14, 42-43, 2005年11月. 富田卓朗, 三谷武志, 中島信一 :
SiCにおける極紫外ラマンスペクトルの数値シミュレーション,
SiC及び関連ワイドギャップ半導体研究会講演会予稿集, Vol.14, 44-45, 2005年11月. 宮本高志, 松尾繁樹, 富田卓朗, 橋本修一 :
マイクロレンズアレイを用いたフェムト秒レーザー加工のマスクによる加工範囲制御,
第66回応用物理学会学術講演会講演予稿集, 996, 2005年9月. 木下敬太, 富田卓朗, 松尾繁樹, 橋本修一, 長瀬寛和, 中嶋誠, 末元徹 :
シリコンカーバイドにおけるレーザー誘起リップルの照射条件依存性,
第66回応用物理学会学術講演会講演予稿集, 996, 2005年9月. 富田卓朗, 松尾繁樹, 岡田達也, 木本恒暢, 三谷武志, 中島信一 :
4H-SiCホモエピタキシャル膜におけるコメット欠陥の深紫外顕微ラマン分光法による解析,
第66回応用物理学会学術講演会講演予稿集, 306, 2005年9月. 山口誠, 上野滋, 木下敬太, 富田卓朗, 松尾繁樹, 橋本修一 :
共焦点顕微ラマン分光によるレーザー誘起リップルの評価,
第66回応用物理学会学術講演会講演予稿集, 994, 2005年9月. 松尾繁樹, 宮本高志, 富田卓朗 :
マイクロレンズアレイを用いた高アスペクト比周期構造物のフェムト秒レーザー加工,
第52回応用物理学関係連合講演会予稿集, 1294, 2005年3月. 富田卓朗, 木下敬太, 松尾繁樹 :
フェムト秒レーザー誘起リップルの初期生成過程,
第52回応用物理学関係連合講演会予稿集, 1292, 2005年3月. 長瀬寛和, 中嶋誠, 富田卓朗, 末元徹, 磯部正彦, 上田寛 :
α'-NaV₂O₅ における過渡反射率変化の励起強度依存性,
日本物理学会年次大会, Vol.60, No.1, 729, 2005年3月. 朝比奈努, 富田卓朗, 植竹理人, 相馬出, 村山明宏, 岡泰夫 :
Zn_1-x-yCd_xMn_ySe/ZnSe量子構造の作製と磁気光物性,
日本物理学会年次大会, Vol.59, No.1, 774, 2004年3月. 萱沼健太郎, 瀬尾光平, 富田卓朗, 相馬出, 村山明宏, Weimin M. Chen, Irina A. Buyanova, 岡泰夫 :
II-VI族希薄磁性半導体2重量子井戸における光-キャリアスピンダイナミクス,
日本物理学会年次大会, Vol.59, No.1, 671, 2004年3月. 富田卓朗, 植竹理人, 朝比奈努, 相馬出, 村山明宏, 岡泰夫 :
希薄磁性半導体量子構造における磁場中顕微分光,
日本物理学会年次大会, Vol.59, No.1, 671, 2004年3月. 佐久間実緒, 仲山英次, 氷見恭子, 富田卓朗, 相馬出, 村山明宏, 岡泰夫 :
ZnSe系半導体量子井戸と磁性薄膜界面の磁気光物性,
第64回応用物理学会学術講演会, 2003年9月. 萱沼健太郎, 瀬尾光平, 富田卓朗, 相馬出, 村山明宏, 岡泰夫 :
CdTe-Cd_1-xMn_xTe 系量子井戸における励起子スピン注入とスピン緩和ダイナミクス,
日本物理学会秋季大会, Vol.58, No.2, 588, 2003年9月. 植竹理人, 富田卓朗, 朝比奈努, 相馬出, 村山明宏, 岡泰夫 :
磁性半導体二重量子ドットの励起子ダイナミクス,
日本物理学会秋季大会, Vol.58, No.2, 576, 2003年9月. 植竹理人, 富田卓朗, 朝比奈努, 仲山英次, 相馬出, 佐藤敏雄, 村山明宏, 岡泰夫 :
Zn_1-x-yCd_xMn_ySe 量子ドットアレイの磁気光学特性,
日本物理学会年次大会, Vol.58, No.1, 666, 2003年3月. 萱沼健太郎, 白鳥聡志, 富田卓朗, 瀬尾光平, 相馬出, 村山明宏, 岡泰夫 :
CdTe-Cd_1-xMn_xTe 系量子井戸構造における励起子スピンダイナミクス,
日本物理学会年次大会, Vol.58, No.1, 666, 2003年3月. 白鳥聡志, 萱沼健太郎, 相馬出, 富田卓朗, 村山明宏, 佐藤賢次, 岡泰夫 :
Zn_1-xMn_xTe/ZnTe 量子井戸における準位交差とスピンダイナミクス,
日本物理学会年次大会, Vol.58, No.1, 665, 2003年3月. Zhanghai Chen, 櫻井秀樹, 瀬尾光平, 白鳥聡志, 萱沼健太郎, 富田卓朗, 村山明宏, 岡泰夫 :
Study of exciton dynamics in Cd_1-xMn_xTe/Cd_1-yMg_yTe quantum wells by pump-probe spectroscopy,
日本物理学会年次大会, Vol.58, No.1, 665, 2003年3月. 富田卓朗, 植竹理人, 朝比奈努, Zhanghai Chen, 仲山英次, 相馬出, 村山明宏, 岡泰夫 :
ZnSe系希薄磁性半導体量子ドットの顕微分光,
日本物理学会年次大会, Vol.58, No.1, 732, 2003年3月. 植竹理人, 朝比奈努, Zhanghai Chen, 佐藤敏雄, 仲山英次, 富田卓朗, 村山明宏, 岡泰夫 :
Zn_1-x-yCd_xMn_ySe規則配列量子ドットの作製と磁気光物性,
応用物理学会東北支部第57回学術講演会, 2002年12月. Zhanghai Chen, 高橋昌明, 櫻井秀樹, 萱沼健太郎, 富田卓朗, 村山明宏, 岡泰夫 :
Magnetic field tuned many-body effects in diluted magnetic semiconductors,
日本物理学会秋季大会, Vol.57, 585, 2002年9月. 櫻井秀樹, 白鳥聡志, 萱沼健太郎, 富田卓朗, Zhanghai Chen, 村山明宏, 岡泰夫 :
ポンププローブ分光によるCd_1-xMn_xTe/Cd_1-yMg_yTe 量子井戸の励起子ダイナミクス,
日本物理学会秋季大会, Vol.57, No.2, 585, 2002年9月. 白鳥聡志, Debnath Chandra Mukulu, 萱沼健太郎, 相馬出, 富田卓朗, 村山明宏, 佐藤賢次, 岡泰夫 :
Zn_1-xMn_xTe/ZnTe量子井戸におけるエネルギー準位交叉とキャリアスピンダイナミクス,
日本物理学会秋季大会, Vol.57, No.2, 577, 2002年9月. 仲山英次, 相馬出, 富田卓朗, 村山明宏, 岡泰夫 :
MnSeをデジタルドープした量子井戸における構造に依存した磁気光学特性,
日本物理学会秋季大会, Vol.57, No.2, 577, 2002年9月. 富田卓朗, 齋藤伸吾, 末元徹, 播磨弘, 中島信一 :
伝導帯間遷移を用いたSiCにおける電子緩和過程の観測,
日本物理学会年次大会, Vol.56, No.1, 645, 2001年3月. 富田卓朗, 齋藤伸吾, 末元徹, 播磨弘, 中島信一 :
6H-SiCにおける自由電子の伝導帯間超高速緩和過程,
SiC及び関連ワイドギャップ半導体研究会講演会予稿集, Vol.9, 66, 2000年12月. 若井良平, 出来裕香里, 白井正伸, 田中耕一郎, 富田卓朗, 齋藤伸吾, 末元徹 :
ZnSe量子井戸における励起子系の高密度励起効果,
第11回光物性研究会, Vol.55, 2000年12月. 若井良平, 出来裕香里, 白井正伸, 田中耕一郎, 富田卓朗, 齋藤伸吾, 末元徹 :
ZnSe多重量子井戸における励起子の高密度励起効果,
日本物理学会年次大会, Vol.55, No.2, 647, 2000年9月. 長谷川智晴, 柳和宏, 富田卓朗, 齋藤伸吾, 末元徹, 田中耕一郎 :
SrTiO₃量子常誘電相におけるSHG散乱強度の角度依存性,
日本物理学会春季大会, Vol.55, No.1, 842, 2000年3月. 富田卓朗, 齋藤伸吾, 馬場基芳, Martin Hundhausen, 末元徹 :
SiCにおける折り返しフォノンモードの選択共鳴ラマンスペクトル,
光物性研究会'98, 335-338, 1998年11月. 富田卓朗, 齋藤伸吾, 馬場基芳, Martin Hundhausen, 末元徹 :
SiCにおける折り返しフォノンモードの選択共鳴ラマンスペクトル,
日本物理学会秋季大会, Vol.53, No.2, 249, 1998年9月. 古谷崇, 家根田剛士, 富田卓朗, 藤本孝 :
レーザー光と準安定希ガス原子及び摂動原子との相互作用,
日本物理学会年次大会, Vol.52, 822, 1997年3月.

研究会・報告書: 富田卓朗, 西野克志 :
半導体工学基礎におけるピンポン玉を用いた数式の可視化について,
教育シンポジウム2024, No.4, 2024年1月. 辻颯太, 関宏都, 河野太洋, 岡田達也, 富田卓朗 :
GaN上でのピコ秒レーザー照射による新奇合金の形成,
2023年度応用物理学会中四国支部若手半導体研究会, P-10, 2023年11月. 福田海人, 須藤直也, 富田卓朗 :
p型窒化ガリウム上Ni/Auのピコ秒レーザー照射による原子拡散,
2023年度応用物理学会中四国支部若手半導体研究会, P-8, 2023年11月. 千種晃平, 伏見勇人, 富田卓朗 :
走査型電子顕微鏡を用いたフェムト秒レーザー照射によるSi表面周期構造のその場観察,
2023年度応用物理学会中四国支部若手半導体研究会, P-4, 2023年11月. 富田卓朗 :
[invited]フェムト秒レーザー照射を用いたワイドバンドギャップ半導体への電極作製の展望,
第2回電気学会調査専門委員会「レーザプロセッシングを利用して作製したナノ材料の応用技術」, 2023年8月. 富田卓朗 :
[invited] フェムト秒レーザー照射による半導体デバイス作製にむけて,
第十一回紀州吉宗セミナー, 2018年3月. 富田卓朗 :
(invited) フェムト秒レーザー照射を用いた原子拡散の新展開,
第12回励起ナノプロセス研究会, 2017年3月. 川上博貴, 近藤健太, 直井美貴, 富田卓朗 :
連続波レーザーアニールによるSiC上へのNi電極作製と評価,
第35回電子材料シンポジウム, Vol.114, No.338, Fr1-5, 2016年7月. 富田卓朗 :
(invited)フェムト秒レーザー照射による SiC 上へのオーミック電極作製の可能性,
中四国支部第54回材質制御研究会 -材料と光科学の接点-, 2015年9月. Takuro Tomita :
(invited) Single-shot soft x-ray imaging for the understanding of femtosecond-laser induced nano-periodic structure formation process,
The 15th Symposium on Advanced Photon Research, Nov. 2014. 富田卓朗 :
電気電子工学科における研究室教育,
工学教育シンポジウム2014, 4, 2014年3月. 富田卓朗 :
(invited) レーザーアブレーションダイナミクスのイメージング,
第9回励起ナノプロセス研究会, A-4-1-A-4-6, 2013年12月. 富田卓朗 :
プラズマ軟X線レーザーを用いた白金におけるフェムト秒レーザーアブレーションダイナミクスの観測,
平成24年度核融合科学研究所共同研究「プラズマの素過程と分光診断の展望」研究会, 2013年1月. 富田卓朗, 山本稔, 長谷川登, 寺川康太, 南康夫, 錦野将元, 石野雅彦, 越智義浩, 海堀岳史, 河内哲哉, 山極満, 末元徹 :
時間分解軟X線反射率イメージングによる白金のアブレーションダイナミクスの観測,
レーザー学会第421回研究会報告, 1-6, 2011年12月. 富田卓朗, 山本稔, 長谷川登, 寺川康太, 南康夫, 錦野将元, 石野雅彦, 越智義浩, 海堀岳史, 河内哲哉, 山極満, 末元徹 :
ナノメートルスケールダイナミクス観測のためのコヒーレント軟X線干渉計測システムの構築,
励起ナノプロセス研究会, P-3, 2011年11月. Minoru Yamamoto, Noboru Hasegawa, Takuro Tomita, Kota Terakawa, Yasuo Minami, Masaharu Nishikino, Masahiko Ishino, Yoshihiro Ochi, Takeshi Kaihori, Tetsuya Kawachi, Mitsuru Yamagiwa and Tohru Suemoto :
Observation of femtosecond-laser ablation process by soft X-ray laser probe,
The 12th symposium on Advanced Photon Research (ISTC-JAEA Joint meeting), 59, May 2011. Noboru Hasegawa, Minoru Yamamoto, Kota Terakawa, Masaharu Nishikino, Yoshihiro Ochi, Yasuo Minami, Takuro Tomita, Tetsuya Kawachi and Tohru Suemoto :
Development of the x-ray interferometer and the method of temporal synchronization of x-ray and optical pulse,
The 12th symposium on Advanced Photon Research (ISTC-JAEA Joint meeting), 54, May 2011. 出来真斗, 伊藤拓人, 富田卓朗, 松尾繁樹, 橋本修一, 北田貴弘, 井須俊郎, 小野田忍, 大島武 :
フェムト秒レーザー照射によるSiC改質部の局所電気伝導度の照射強度および偏光依存性,
第5回フロンティア研究センターシンポジウム「日亜寄附講座研究成果報告会」, 10, 2011年2月. 富田卓朗 :
フェムト秒レーザーによる半導体材料の表面加工,
第5回フロンティア研究センターシンポジウム「日亜寄附講座研究成果報告会」, 7, 2011年2月. 松尾繁樹, 富田卓朗, 橋本修一 :
フェムト秒レーザー照射によるガラスのエッチングレート増大のメカニズム,
レーザー学会第408回研究会, 2010年11月. 河内哲哉, 佐々木明, 長谷川登, 石野雅彦, 錦野将元, 今園孝志, 岸本牧, 越智義浩, 田中桃子, 佐藤克俊, 山本稔, 並河一道, 末元徹, Faenov Anatoly, Sergei Bulanov, 富田卓朗 :
軟X線レーザープローブによるナノスケールダイナミクスの観察,
第11回光量子科学研究シンポジウム予稿集, Vol.11, 13, 2010年6月. 山本稔, 長谷川登, 寺川康太, 梅田善文, 富田卓朗, 越智義浩, 河内哲哉, 大場俊幸, 海堀岳史, 南康夫, 末元徹 :
フェムト秒レーザーアブレーションにおけるパルスの蓄積効果,
第11回光量子科学研究シンポジウム予稿集, Vol.11, 31, 2010年6月. 長谷川登, 山本稔, 寺川康太, 富田卓朗, 越智義浩, 河内哲哉, 大場俊幸, 海堀岳史, 末元徹 :
軟X線レーザー干渉計によるナノスケール構造の観察,
第11回光量子科学研究シンポジウム予稿集, Vol.11, 33, 2010年6月. 末元徹, 寺川康太, 南康夫, 越智義浩, 長谷川登, 山本稔, 富田卓朗, 河内哲哉 :
軟X線レーザープローブ干渉計によるアブレーション初期過程の解明,
第11回光量子科学研究シンポジウム予稿集, Vol.11, 47, 2010年6月. 富田卓朗 :
フェムト秒レーザーが誘起する固体材料表面及び内部での自発的構造形成,
平成21年度核融合科学研究所共同研究「原子分子光の素過程とプラズマ分光の研究フロンティア」研究会, 2010年1月. 松尾繁樹, 木山聡, 徳見憲亮, 富田卓朗, 橋本修一 :
透明固体材料の内部加工と内部駆動,
レーザー学会第382回研究会, 19-23, 2008年12月. 岩見勝弘, 富田卓朗, 松尾繁樹, 橋本修一, 齋藤伸吾, 阪井清美 :
シリコンカーバイドにおけるフェムト秒レーザー改質部の赤外分光,
励起ナノプロセス研究会, Vol.4, P-10, 2008年11月. 富田卓朗, 岡田達也, 河原啓之, 熊井亮太, 松尾繁樹, 橋本修一, 山口誠, 上野滋, 川本昌子, 新藤恵美, 吉田明 :
SiCへのフェムト秒レーザー照射によって誘起されたアモルファス相の分析,
励起ナノプロセス研究会, Vol.4, P-11, 2008年11月. 富田卓朗 :
レーザー誘起ナノ周期構造の物性分析,
励起ナノプロセス研究会, 2007年9月. 富田卓朗 :
加工と物性の観点からみたフェムト秒レーザー照射の可能性,
レーザー学会中国四国支部平成17年度第1回講演会, 13-16, 2005年12月. 富田卓朗, 植竹理人, 朝比奈努, 相馬出, 村山明宏, 岡泰夫 :
希薄磁性半導体量子ドットの磁場中顕微分光,
第3回東北大学多元物質科学研究所研究発表会, 15, 2003年12月. 富田卓朗 :
フェムト秒レーザー照射によるシリコンカーバイドの局所電気伝導度制御,
村田学術振興財団年報, No.25, 39-45, 京都, 2011年12月. 富田卓朗 :
ワイドギャップ半導体における三次元フェムト秒レーザー加工と光改質,
池谷科学技術振興財団年報, Vol.18, 84, 2007年12月. 富田卓朗 :
フェムト秒レーザーを用いた新加工領域における半導体の改質,
2006年度新世代研究所研究助成成果報告書, 61-66, 千葉, 2007年12月. 富田卓朗, 村山明宏 :
希薄磁性半導体量子ドットにおけるスピン機能性の開拓,
村田学術振興財団年報, No.18, 213-223, 京都, 2004年12月. Takuro Tomita, Shingo Saito, Tohru Suemoto, Hiroshi Harima and Shin-ichi Nakashima :
Structure Dependent Ultrafast Relaxation Time of Photo-Excited Carriers in SiC,
Technical Report of ISSP, No.3693, Chiba, May 2003. Takuro Tomita, Shingo Saito, Tohru Suemoto, Hiroshi Harima and Shin-ichi Nakashima :
Inter-Conduction Band Electron Relaxation Dynaimcs in 6H-SiC,
Technical Report of ISSP, No.3616, Chiba, Jul. 2001. Takuro Tomita, Shingo Saito, Motoyoshi Baba, Martin Hundhausen, Tohru Suemoto and Shin-ichi Nakashima :
Selective Resonance Effect of the Folded Longitudinal Phonon Modes in the Raman Spectra of SiC,
Technical Report of ISSP, No.3572, Chiba, Oct. 2000.

特許: 齋藤伸吾, 溝口幸司, 富田卓朗 : 単結晶シリコンカーバイドの評価方法, 特願2009-296356 (2009年12月), 特開2011-149698 (2011年8月), 特許第5712456号 (2015年3月).
作品: 研究者総覧に該当データはありませんでした。
補助金・競争的資金: フェムト秒レーザー加工によるシリコンカーバイドへの単一光子源の作製 (研究課題/領域番号: 17H05340 )
フェムト秒レーザー光照射によるワイドバンドギャップ半導体と金属界面の非熱的合金化 (研究課題/領域番号: 17H03147 )
フェムト秒レーザー誘起ひずみを応用したSiC上の低温電極形成法の提案 (研究課題/領域番号: 15K06466 )
SiC/金属界面レーザーアニールプロセスの動的モニタリング (研究課題/領域番号: 26630132 )
コヒーレント軟X線を用いた高空間・高時間分解顕微干渉イメージングシステムの開発 (研究課題/領域番号: 25286086 )
フェムト秒レーザー光励起プラズマによるナノ構造の自発的形成 (研究課題/領域番号: 24110712 )
反射型シングルショット時間分解軟X線顕微鏡の試作 (研究課題/領域番号: 23651103 )
フェムト秒レーザーを用いたワイドバンドギャップ半導体改質技術の開発 (研究課題/領域番号: 19760035 )
パワーエレクトロニクス材料のフェムト秒レーザー加工と物性評価 (研究課題/領域番号: 17760056 )
ゼオライト結晶を利用した微小領域光化学反応の計測 (研究課題/領域番号: 17029067 )
ナノ構造中に閉じ込められたスピン配列の光学的制御 (研究課題/領域番号: 15740175 )
金属磁性体と半導体の原子層制御界面の磁性と光スピン機能性 (研究課題/領域番号: 15360002 )
半導体-磁性体複合ナノ構造における光スピン注入と輸送 (研究課題/領域番号: 13450002 )
研究者番号（90359547）による検索

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2024年4月16日更新

専門分野・研究分野: 光物質科学
光物性物理学 (Optical Condensed Matter Physics)
半導体物理学 (Semiconductor Physics)
所属学会・所属協会: 日本物理学会
応用物理学会
American Physical Society
テラヘルツテクノロジーフォーラム
電気学会
TACMIコンソーシアム
委員歴・役員歴: 日本物理学会 (2013年秋季大会実行委員会委員)
応用物理学会 (第66回応用物理学会学術講演会現地実行委員 [2005年4月〜11月], 励起ナノプロセス研究会企画幹事 [2017年1月〜2019年12月])
電気学会 ( [2015年12月〜])
TACMIコンソーシアム (徳島大学連絡担当者 [2019年4月〜])
受賞: 2007年6月, 安藤博記念学術奨励賞 ((財)安藤研究所)
2009年3月, 源内奨励賞 (財団法人エレキテル尾崎財団)
2009年11月, 若手研究者学長賞 (徳島大学)
2023年10月, 徳島県科学技術大賞 (徳島県)
活動: 独立行政法人情報通信研究機構 (招へい専門員 [2008年12月〜2011年3月])
社団法人レーザー学会 (第29回実行委員会委員(総務係副主査)・プログラム委員(A部門副主査) [2008年6月〜2009年3月], 第37回実行委員会委員(会計係委員) [201年6月〜2017年3月])
2013 電気関係学会四国支部連合大会 (現地実行委員(会場担当)，プログラム編集委員会委員(材料部門) [2013年9月〜9月])
日本物理学会中国支部・四国支部, 応物物理学会中国四国支部学術講演会 (実行委員会委員 [2006年7月〜7月])
2014 電気関係学会四国支部連合大会 (プログラム編集委員会委員(材料部門) [2014年7月])
2015年度応用物理・物理系学会中国四国支部合同学術講演会 (プログラム委員 [2015年5月〜8月])
2016 電気関係学会四国支部連合大会 (プログラム編集委員会委員(材料部門) [2016年7月])
徳島電気技術協会 (会計幹事 [2016年5月〜2018年4月])
徳島電気技術協会 (庶務幹事 [2018年5月〜2019年4月])
2022 電気関係学会四国支部連合大会 (プログラム編集委員会委員(材料部門) [2022年8月〜9月])
応用物理学会 (応用物理学会中国四国支部研究会企画委員 [2016年12月〜])
電気学会 (2024電気学会全国大会実行委員会 [2023年10月〜2024年6月])

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2024年4月14日更新

2024年4月13日更新

Ｊグローバル

Jグローバル最終確認日: 2024/4/13 01:27
氏名（漢字）: 富田卓朗
氏名（フリガナ）: トミタタクロウ
氏名（英字）: Tomita Takuro
所属機関: 徳島大学准教授

リサーチマップ

researchmap最終確認日: 2024/4/14 01:47
氏名（漢字）: 富田卓朗
氏名（フリガナ）: トミタタクロウ
氏名（英字）: Tomita Takuro
プロフィール: リサーチマップAPIで取得できませんでした。
登録日時: 2018/11/19 18:20
更新日時: 2024/4/5 06:11
アバター画像URI: https://researchmap.jp/27859732/avatar.jpg
ハンドル: リサーチマップAPIで取得できませんでした。
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eメール（その他）: リサーチマップAPIで取得できませんでした。
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性別: リサーチマップAPIで取得できませんでした。
没年月日: リサーチマップAPIで取得できませんでした。
所属ID: 0344000000
所属: 徳島大学
部署: 大学院社会産業理工学研究部理工学域電気電子系物性デバイス分野
職名: 准教授
学位: 博士(理学)
学位授与機関: 東京大学
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その他の所属部署: リサーチマップAPIで取得できませんでした。
その他の所属職名: リサーチマップAPIで取得できませんでした。
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経歴
受賞
Misc
論文
講演・口頭発表等
書籍等出版物: リサーチマップAPIで取得できませんでした。
研究キーワード
研究分野
所属学協会
担当経験のある科目
その他: リサーチマップAPIで取得できませんでした。
Works: リサーチマップAPIで取得できませんでした。
特許
学歴
委員歴
社会貢献活動: リサーチマップAPIで取得できませんでした。

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2024年4月13日更新

研究者番号: 90359547

所属（現在）: 2024/4/1 : 徳島大学, 大学院社会産業理工学研究部(理工学域), 准教授

所属（過去の研究課題 情報に基づく）*注記: 2017/4/1 – 2019/4/1 : 徳島大学, 大学院社会産業理工学研究部(理工学域), 准教授
2013/4/1 – 2015/4/1 : 徳島大学, ソシオテクノサイエンス研究部, 准教授
2012/4/1 : 徳島大学, ソシオテクノサイエンス研究部, 助教
2012/4/1 : 徳島大学, 大学院・ソシオテクノサイエンス研究部, 助教
2007/4/1 – 2008/4/1 : 徳島大学, 大学院・ソシオテクノサイエンス研究部, 助教
2006/4/1 : 徳島大学, 大学院・ソシオテクノサイエンス研究部, 助手
2006/4/1 : 徳島大学, 工学(系)研究科(研究院), 助手
2005/4/1 : 徳島大学, 工学研究科, 助手
2004/4/1 – 2005/4/1 : 徳島大学, 大学院・工学研究科, 助手
2003/4/1 : 東北大学, 多元物質科学研究所, 助手

審査区分/研究分野

研究代表者

理工系 / 数物系科学 / 物理学 / 物性Ⅰ
理工系 / 工学 / 応用物理学・工学基礎 / 応用物理学一般
理工系 / 工学 / 応用物理学・工学基礎 / 応用光学・量子光工学
理工系 / 総合理工 / 量子ビーム科学 / 量子ビーム科学
理工系 / 工学 / 電気電子工学 / 電子・電気材料工学
理工系 / 工学 / 機械工学 / 機械材料・材料力学
理工系

研究代表者以外

総合・新領域系 / 複合新領域 / ナノ・マイクロ科学 / ナノ材料・ナノバイオサイエンス
工学 / 応用物理学・工学基礎 / 応用物性・結晶工学
理工系 / 工学 / 応用物理学・工学基礎 / 応用物性・結晶工学
理工系 / 工学 / 材料工学 / 複合材料・表界面工学
理工系

キーワード

研究代表者

希薄磁性半導体 / 量子構造 / スピン注入 / スピン緩和 / 励起子トンネリング / 顕微分光 / II-IV族半導体 / 円偏光度 / フェムト秒レーザー / リップル構造 / レーザー加工 / 表面処理技術 / ワイドギャップ半導体 / シリコンカーバイド / 照射条件依存性 / 改質技術 / ワイドバンドギャップ半導体 / 電気伝導度 / 接触抵抗 / 電極 / レーザー照射 / アブレーション / ナノプラズマ / 軟X線プローブ / 多重量子井戸 / 軟X線レーザー / 顕微計測 / 時間分解測定 / フェムト秒レーザーアブレーション / シングルショット計測 / 分子動力学解析 / レーザーアニール / モニタリング / SiC / 金属電極 / 合金化 / 走査型電子顕微鏡 / その場観察 / シングルショット / 単一光子源 / レーザー加工・改質 / 窒化ガリウム / ダイアモンド / レーザー合金化 / 界面合金化 / オーミック電極 / 窒化物半導体

研究代表者以外

ゼオライト / 蛍光色素 / 蛍光顕微鏡 / 共焦点レーザー顕微鏡 / 走査型電子顕微鏡 / 色素 / 蛍光スペクトル / 共焦点顕微鏡 / ナノ計測 / 軟 X 線レーザー / 顕微技術 / 時間分解 / 軟Ｘ線レーザー / スピン注入 / 半導体 / 磁性半導体 / 磁性体 / スピンエレクトロニクス / ナノ構造 / リソグラフィー / フォトルミネッセンス / spin injection / semiconductors / magnetic semiconductors / magnetic materials / spin electronics / nanostructures / lithography / photoluminescence / 磁性半導体ナノ構造 / 半導体・磁性体原子層界面 / 半導体・磁性体ハイブリッド構造 / 光スピン機能性 / スピンダイナミクス / 半導体・磁性体原子層制御界面 / Nanostructures of diluted magnetic semiconductors / Interface between semiconductors and magnetic materials / Hybrid nanostructures of magnetic materials and semiconductors / Optical spin functionality / Spin dynamics / シリコンカーバイド / フェムト秒レーザー / 電極 / フェムト秒レーザ / SiC / 結晶欠陥 / 相互拡散 / ダイヤモンド / 双晶化 / リップル

研究課題研究成果共同研究者

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2019年9月30日

p型窒化物半導体へのオーミック電極作製技術の開発（富田卓朗）

富田卓朗岡田達也直井美貴久澤大夢髙島祐介

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