コヒーレント軟X線を用いた高空間・高時間分解顕微干渉イメージングシステムの開発

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コヒーレント軟X線を用いた高空間・高時間分解顕微干渉イメージングシステムの開発

代表研究者	富田卓朗
研究課題番号	KAKENHI-PROJECT-25286086
研究種目	基盤研究(B)
研究分野	理工系総合理工量子ビーム科学量子ビーム科学
研究機関	徳島大学
研究分担者	長谷川登
研究分担者	錦野将元
研究分担者	河内哲哉
研究分担者	末元徹
研究分担者	大西直文
研究協力者	江山剛史
研究協力者	柿本直也
研究協力者	井筒類
研究期間開始年月日	2013/4/1
研究期間終了年度	2015
研究ステータス	完了 (2015/4/1)
配分額（合計）	17,420,000 (直接経費 :13,400,000、間接経費 :4,020,000)
配分額（履歴）	2015年度：2,600,000 (直接経費 :2,000,000、間接経費 :600,000) 2014年度：3,900,000 (直接経費 :3,000,000、間接経費 :900,000) 2013年度：10,920,000 (直接経費 :8,400,000、間接経費 :2,520,000)
キーワード	軟X線レーザー顕微計測時間分解測定フェムト秒レーザーアブレーションシングルショット計測分子動力学解析

研究成果

[雑誌論文] The Shape of The Exfoliated Surface during Femtosecond Laser Ablation

N. Kakimoto, T. Eyama, R. Izutsu and T. Tomita 2016

[学会発表] タングステンにおけるアブレーション過程のフルエンス依存性

柿本直也, 井筒類, 富田卓朗 2015

[学会発表] フェムト秒レーザー照射による SiC 上へのオーミック電極作製の可能性

富田卓朗 2015

[学会発表] 軟X線シャドウグラフを用いたフェムト秒レーザー照射によるタングステンの剥離薄膜形状の観測

柿本直也, 江山剛史, 井筒類, 富田卓朗, 長谷川登, 錦野将元, 南康夫, 馬場基芳, 河内哲哉, 山極満, 末元徹 2015

[学会発表] 金属のフェムト秒レーザーアブレーション過程における剥離形状と照射強度分布の相関

江山剛史, 柿本直也, 井筒類, 富田卓朗, 長谷川登, 錦野将元, 南康夫, 馬場基芳, 河内哲哉, 山極満, 末元徹 2015

[学会発表] フェムト秒レーザーアブレーションにおけるタングステン剥離薄膜形状の局所強度依存性

井筒類, 江山剛史, 柿本直也, 富田卓朗, 長谷川登, 錦野将元, 南康夫, 馬場基芳, 河内哲哉, 山極満, 末元徹 2015

[学会発表] 軟X線干渉計測を用いたタングステンにおけるアブレーション過程の観測

柿本直也, 井筒類, 富田卓朗 2015

[学会発表] SiC基板への回路描画を目指したフェムト秒レーザー改質

板東洋太, 直井美貴, 富田卓朗 2015

[学会発表] The Shape of The Exfoliated Surface during Femtosecond Laser Ablation

Naoya Kakimoto, Takashi Eyama, Rui Izutsu and Takuro Tomita 2015

[学会発表] 軟X線シャドウグラフを用いたタングステンにおけるアブレーション過程の観測

井筒類, 柿本直也, 富田卓朗 2015

[雑誌論文] Time-resolved soft x-ray imaging of femtosecond laser ablation process in metals

Takuro Tomita, Masaharu Nishikino, Noboru Hasegawa, Yasuo Minami, Ryota Takei, Motoyoshi Baba, Takashi Eyama, Shodai Takayoshi, Takeshi Kaihori, Toshimasa Morita, Yusuke Hirano, Tetsuya Kawachi, Mitsuru Yamagiwa and Tohru Suemoto 2014

[学会発表] Direct observation of femtosecond laser ablation on metals by plasma-based soft x-ray laser

Takashi Eyama, Naoya Kakimoto, Takuro Tomita, Noboru Hasegawa, Masaharu Nishikino, Yasuo Minami, Ryota Takei, Motoyoshi Baba, Takeshi Kaihori, Toshimasa Morita, Yusuke Hirano, Tetsuya Kawachi, Mitsuru Yamagiwa and Tohru Suemoto 2014

[学会発表] Progress and Prospects of Coherent X-ray Research using High Power Lasers in JAEA

T. Kawachi, M. Nishikino, A. Sasaki, M. Ishino, N. Hasegawa, T.i Imazono, P. Tatian, A. Faenov, M. Magnitskiy, M. Maruyama, T. Tomita, T. Suemoto, P. Alexander, S. Bulanov, H. Kiriyama, M. Yamagiwa, M. Kando, M. Yamagiwa, K. Kondo, P. Bolton, Y. Kato 2014

[学会発表] 軟X線レーザープローブを用いた，金属表面のフェムト秒レーザーアブレーション過程の観測

山極満, 長谷川登, 錦野将元, 富田卓朗, 江山剛史, 柿本直也, 大西直文, 羽富大起, 伊藤篤史, 南康夫, 武井亮太, 馬場基芳, 河内哲哉, 末元徹 2014

[学会発表] フェムト秒レーザー照射に伴う金属表面剥離過程の分子動力学解析

羽富大起, 大西直文, 錦野将元, 長谷川登, 富田卓朗, 伊藤篤史, 河内哲哉, 山極満, 末元徹 2014

[学会発表] Observation of Femtosecond Laser Ablation on Tungsten by using Soft X-ray Laser

Masaharu Nishikino, Noboru Hasegawa, Takuro Tomita, Takashi Eyama, Naoya Kakimoto, Naofumi Ohnishi, Atsushi M. Ito, Motoyoshi Baba, Yasuo Minami, Tetsuya Kawachi, Mitsuru Yamagiwa and Tohru Suemoto 2014

[学会発表] 軟 X 線シャドウグラフを用いたナノ秒スケールにおける金のフェムト秒レーザーアブレーション過程の観測

柿本直也, 江山剛史, 富田卓朗, 長谷川登, 錦野将元, 南康夫, 馬場基芳, 海堀岳史, 守田利昌, 平野祐介, 河内哲哉, 山極満, 末元徹 2014

[学会発表] 軟X線レーザープローブを用いた金属のフェムト秒レーザーアブレーション過程の時間分解計測

長谷川登, 富田卓朗, 錦野将元, 武井亮太, 馬場基芳, 江山剛史, 柿本直也, 河内哲哉, 山極満, 末元徹 2014

[学会発表] 軟X 線シャドウグラフを用いた金におけるフェムト秒レーザーアブレーション過程のフルエンス依存性

柿本直也, 江山剛史, 富田卓朗, 長谷川登, 錦野将元, 南康夫, 馬場基芳, 河内哲哉, 山極満, 末元徹 2014

[学会発表] Observation of Weakly Excited Ablation Dynamics with Femtosecond Laser by using Time-Resolved Soft X-ray Imaging Technique

Masaharu Nishikino, Noboru Hasegawa, Takashi Eyama, Naoya Kakimoto, Takuro Tomita, Daiki Hatomi, Naofumi Ohnishi, Atsushi M Ito, Yasuo Minami, Motoyoshi Baba, Tetsuya Kawachi, Mitsuru Yamagiwa and Tohru Suemoto 2014

[学会発表] 軟X線ニュートンリングとシャドウグラフを用いた金属表面のフェムト秒レーザーアブレーション過程の観測

江山剛史, 柿本直也, 富田卓朗, 長谷川登, 錦野将元, 南康夫, 武井亮太, 馬場基芳, 大西直文, 羽富大起, 海堀岳史, 守田利昌, 平野祐介, 河内哲哉, 山極満, 末元徹 2014

[学会発表] A study of the femto-second laser ablation process in metals by using a soft x-ray laser probe

Noboru Hasegawa, Takuro Tomita, Masaharu Nishikino, Takashi Eyama, Naoya Kakimoto, Naofumi Ohnishi, Atsushi M. Ito, Motoyoshi Baba, Yasuo Minami, Tetsuya Kawachi, Mitsuru Yamagiwa and Tohru Suemoto 2014

[学会発表] 軟X線レーザーを用いた金属表面のフェムト秒レーザーアブレーション過程の観測I

長谷川登, 錦野将元, 富田卓朗, 江山剛史, 柿本直也, 大西直文, 羽富大起, 伊藤篤史, 南康夫, 武井亮太, 馬場基芳, 河内哲哉, 山極満, 末元徹 2014

[雑誌論文] Submicron scale image observation with a grazing incidence reflection-type single-shot soft X-ray microscope

Motoyoshi Baba, Masaharu Nishikino, Noboru Hasegawa, Takuro Tomita, Yasuo Minami, Ryota Takei, Mitsuru Yamagiwa, Tetsuya Kawachi and Tohru Suemoto 2014

[学会発表] Observation of the transient state of the femtosecond laser ablation phenomena on various metals

Takuro Tomita, Noboru Hasegawa, Masaharu Nishikino, Takashi Eyama, Yasuo Minami, Ryota Takei, Motoyoshi Baba, Takeshi Kaihori, Toshimasa Morita, Yusuke Hirano, Tetsuya Kawachi, Mitsuru Yamagiwa and Tohru Suemoto 2014

[学会発表] 斜入射型反射軟X線顕微鏡によるサブミクロン画像観察

馬場基芳, 錦野将元, 長谷川登, 富田卓朗, 南康夫, 武井亮太, 山極満, 河内哲哉, 末元徹 2014

[学会発表] タングステンにおけるフェムト秒レーザーアブレーション過程の軟X線プローブ光を用いた観測

江山剛史, 柿本直也, 富田卓朗, 長谷川登, 錦野将元, 南康夫, 馬場基芳, 大西直文, 伊藤篤史, 河内哲哉, 山極満, 末元徹 2014

[学会発表] Observation of femtosecond laser ablation process in nano-seconds region by soft x-ray shadow graph

Naoya Kakimoto, Takashi Eyama, Takuro Tomita, Noboru Hasegawa, Masaharu Nishikino, Yasuo Minami, Ryota Takei, Motoyoshi Baba, Takeshi Kaihori, Toshimasa Morita, Yusuke Hirano, Tetsuya Kawachi, Mitsuru Yamagiwa and Tohru Suemoto 2014

[雑誌論文] Time-resolved soft x-ray imaging of femtosecond laser ablation processes on metals

[学会発表] 軟X線イメージングによる金属表面におけるアブレーション過程の観測

富田卓朗, 江山剛史, 柿本直也, 長谷川登, 錦野将元, 南康夫, 武井亮太, 馬場基芳, 大西直文, 羽富大起, 海堀岳史, 守田利昌, 平野祐介, 河内哲哉, 山極満, 末元徹 2014

[学会発表] 軟X線レーザーによる金のフェムト秒レーザーアブレーション過程の観測

錦野将元, 長谷川登, 富田卓朗, 江山剛史, 柿本直也, 羽富大起, 大西直文, 馬場基芳, 河内哲哉, 山極満, 末元徹 2014

[学会発表] 軟X線レーザーを用いた金属表面のフェムト秒レーザーアブレーション過程の観測II

錦野将元, 長谷川登, 富田卓朗, 江山剛史, 柿本直也, 大西直文, 羽富大起, 伊藤篤史, 南康夫, 武井亮太, 馬場基芳, 河内哲哉, 山極満, 末元徹 2014

[学会発表] レーザーアブレーションダイナミクスのイメージング

富田卓朗 2013

[学会発表] Femtosecond laser ablation process on platinum and gold observed by plasma-based soft x-ray laser

Takashi Eyama, Takuro Tomita, Masaharu Nishikino, Noboru Hasegawa, Yasuo Minami, Ryota Takei, Motoyoshi Baba, Yusuke Hirano, Toshimasa Morita, Tetsuya Kawachi, Mitsuru Yamagiwa and Tohru Suemoto 2013

[学会発表] 軟X 線レーザーによる金及び白金におけるフェムト秒レーザーアブレーション過程の観測

江山剛史, 富田卓朗, 錦野将元, 長谷川登, 南康夫, 武井亮太, 馬場基芳, 大西直文, 羽富大起, 海堀岳史, 守田利昌, 平野祐介, 河内哲哉, 山極満, 末元徹 2013

[学会発表] Pt表面におけるフェムト秒レーザーアブレーション過程の分子動力学解析

羽富大起, 大西直文, 錦野将元, 長谷川登, 富田卓朗, 河内哲哉, 山極満, 末元徹 2013

[学会発表] A study of the femto-second laser ablation process in metals by using a single shot soft x-ray laser probe

Noboru Hasegawa, Takuro Tomita, Masaharu Nishikino, Yasuo Minami, Motoyoshi Baba, Ryota Takei, Takeshi Kaihori, Yusuke Hirano, Toshimasa Morita, Tetsuya Kawachi, Mitsuru Yamagiwa and Tohru Suemoto 2013

[学会発表] Observation of the nano-scale surface dynamics of femtosecond laser ablation by time-resolved soft x-ray imaging technique

Masaharu Nishikino, Noboru Hasegawa, Takuro Tomita, Yasuo Minami, Ryota Takei, Motoyoshi Baba, Takashi Eyama, Shodai Takayoshi, Tetsuya Kawachi, Mitsuru Yamagiwa and Tohru Suemoto 2013

[学会発表] Observation of the surface dynamics of femtosecond laser ablation by time-resolved soft x-ray imaging techinique

Masaharu Nishikino, Noboru Hasegawa, Takuro Tomita, Yasuo Minami, Ryota Takei, Motoyoshi Baba, Takashi Eyama, Shodai Takayoshi, Tetsuya Kawachi, Mitsuru Yamagiwa and Tohru Suemoto 2013

[学会発表] ピコ秒からサブマイクロ秒時間領域における金属のフェムト秒レーザーアブレーションダイナミクスの観測

長谷川登, 錦野将元, 海堀岳史, 平野祐介, 守田利昌, 河内哲哉, 山極満, 富田卓朗, 江山剛史, 柿本直也, 羽富大起, 大西直文, 南康夫, 武井亮太, 馬場基芳, 末元徹 2013

[学会発表] 軟X線反射率イメージングによる金および白金におけるレーザーアブレーションダイナミクスの観測

[雑誌論文] 固体物性からみたレーザーアブレーション, --- 講座:レーザー生成プラズマの新しい温度，密度領域における物性とシミュレーション ---

富田卓朗 2013