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ナノ機械パラメトロン素子の研究

KAKEN 科学研究費助成事業データベース で見る
研究課題番号 KAKENHI-PROJECT-20246064
研究種目 基盤研究(A)
研究分野 理工系
工学
電気電子工学
電子デバイス・電子機器
研究機関 日本電信電話株式会社NTT物性科学基礎研究所
代表研究者 山口 浩司
研究分担者 永瀬 雅夫
研究分担者 山崎 謙治
研究分担者 山口 徹
研究分担者 岡本 創
研究分担者 小野満 恒二
研究期間 開始年月日 2008/4/1
研究期間 終了年度 2010
研究ステータス 完了 (2010/4/1)
配分額(合計) 47,190,000 (直接経費 :36,300,000、間接経費 :10,890,000)
配分額(履歴) 2010年度:5,200,000 (直接経費 :4,000,000、間接経費 :1,200,000)
2009年度:10,530,000 (直接経費 :8,100,000、間接経費 :2,430,000)
2008年度:31,460,000 (直接経費 :24,200,000、間接経費 :7,260,000)
キーワード 電子デバイス
集積回路
新規デバイス
マイクロマシン
ナノマシン
マイクロ

研究成果

[学会発表] Dynamic characterization method of GaAs membrane resonator by direct excitation using scanning probe microscopy

K.Tamaru, K.Nonaka, M.Nagase, H.Yamaguchi, R.Kometani, S.Warisawa, S,Ishihara 2009

[雑誌論文] Direct actuation of GaAs membrane with the microprobe of scanning probe microscopy

K.Tamaru, K.Nonaka, M.Nagase, H.Yamaguchi, S.Warisawa, S.Ishihara 2009

[雑誌論文] evaluation of thermal mechanical vibration amplitude and mechanical properties of carbon nanopillars using scanning electron microscopy

K.Nonaka, K.Tamaru, M.Nagase, H.Yamaguchi, S.Warisawa, S.Ishihara 2009

[学会発表] Dynamic characterization method of GaAs membrane resonator bydirect excitation using scanning probe microscopy

K.Tamaru, K.Nonaka, M.Nagase, H.Yamaguchi, R.Kometani, S.Warisawa, S.Ishihara 2009

[雑誌論文] Direct actuation of GaAs membrane with the microprobe of scanning probemicroscopy

K.Tamaru, K.Nonaka, M.Nagase, H.Yamaguchi, S.Warisawa, S.Ishihara. 2009

[雑誌論文] evaluation of thermal mechanical vibration amplitude and mechanical properties of carbon nanopillars using scanning electron microscopy

K.Nonaka, K.Tamaru, M.Nagase, H.Yamaguchi, S.Warisawa, S.Ishihara. 2009

[学会発表] 走査プローブによるGaAsメンブレンマイクロレゾネータの動的特性評価

田丸耕二郎, 野中啓一郎, 永瀬雅夫, 山口浩司, 米谷玲皇, 割澤伸一, 石原直 2009

[学会発表] Evaluation of Thermal-Mechanical Vibration Amplitude Using Scanning Electron Microscopy Image

K. Nonaka, K. Tamaru, M. Nagase, H. Yamaguchi, S. Warisawa, S. Ishihara 2008

[学会発表] 静的変位解放によるシリコンカンチレバーの振動特性評価

野中啓一郎, 田丸耕二郎, 永瀬雅夫, 山口浩司, 割澤伸一, 石原直 2008

[雑誌論文] In-plane conductance measurement of graphene nanoislands using an integrated nanogap probe

M. Nagase, H. Hibino, H. Kageshima, H. Yamaguchi 2008

[雑誌論文] In-plane conductancemeasurement of graphene nanoislands using an integrated nanogap probe

M.Nagase, H.Hibino, H.Kageshima, H.Yamaguchi. 2008

[学会発表] GaAsメンブレンのマイクロプローブによる加振と振幅検出

田丸耕二郎, 野中啓一郎, 永瀬雅夫, 山口浩司, 割澤伸一, 石原直 2008

[学会発表] Actuation and Vibration Detection of GaAs Membrane Using AFM Probe

K. Tamaru, K. Nonaka, M. Nagase, H. Yamaguchi, S. Warisawa, S. Ishihara 2008