ダイヤモンド表面へのフェムト秒レーザー照射改質導入によるイオン注入容易化
KAKEN 科学研究費助成事業データベース で見る| 研究課題番号 | KAKENHI-PROJECT-19K05033 |
|---|---|
| 研究種目 | 基盤研究(C) |
| 研究分野 | |
| 研究機関 | 徳島大学 |
| 代表研究者 | 岡田 達也 |
| 研究期間 開始年月日 | 2019/4/1 |
| 研究期間 終了年度 | 2021 |
| 研究ステータス | 完了 (2021/4/1) |
| 配分額（合計） | 4,290,000 (直接経費 :3,300,000、間接経費 :990,000) |
| 配分額（履歴） |
2021年度：780,000 (直接経費 :600,000、間接経費 :180,000) 2020年度：1,040,000 (直接経費 :800,000、間接経費 :240,000) 2019年度：2,470,000 (直接経費 :1,900,000、間接経費 :570,000) |
| キーワード | フェムト秒レーザー ダイヤモンド イオン注入 ダイヤモンド単結晶 透過電子顕微鏡 レーザー照射誘起改質 ホウ素イオン注入 ２次イオン質量分析 表面改質 |