ネイティブドナーアモルファス及びホモロガス透明導電性酸化物のドーパント添加効果
KAKEN 科学研究費助成事業データベース で見る| 研究課題番号 | KAKENHI-PROJECT-19560677 |
|---|---|
| 研究種目 | 基盤研究(C) |
| 研究分野 | 理工系 工学 材料工学 無機材料・物性 |
| 研究機関 | 徳島大学 |
| 代表研究者 | 森賀 俊広 |
| 研究分担者 | 村井 啓一郎 |
| 研究期間 開始年月日 | 2007/4/1 |
| 研究期間 終了年度 | 2008 |
| 研究ステータス | 完了 (2008/4/1) |
| 配分額（合計） | 4,550,000 (直接経費 :3,500,000、間接経費 :1,050,000) |
| 配分額（履歴） |
2008年度：1,040,000 (直接経費 :800,000、間接経費 :240,000) 2007年度：3,510,000 (直接経費 :2,700,000、間接経費 :810,000) |
| キーワード | 透明導電膜 アモルファス ブルーシフト ドーパント DCマグネトロンスパッタ法 酸化亜鉛 酸化インジウム ガス圧 キャリア移動度 ポストアニール 対向ターゲット式dcスパッタ 有機基板 |