パワーエレクトロニクス材料のフェムト秒レーザー加工と物性評価
KAKEN 科学研究費助成事業データベース で見る| 研究課題番号 | KAKENHI-PROJECT-17760056 |
|---|---|
| 研究種目 | 若手研究(B) |
| 研究分野 | 理工系 工学 応用物理学・工学基礎 応用物理学一般 |
| 研究機関 | 徳島大学 |
| 代表研究者 | 富田 卓朗 |
| 研究期間 開始年月日 | 2005/4/1 |
| 研究期間 終了年度 | 2006 |
| 研究ステータス | 完了 (2006/4/1) |
| 配分額（合計） | 3,400,000 (直接経費 :3,400,000) |
| 配分額（履歴） |
2006年度：1,300,000 (直接経費 :1,300,000) 2005年度：2,100,000 (直接経費 :2,100,000) |
| キーワード | フェムト秒レーザー リップル構造 レーザー加工 表面処理技術 ワイドギャップ半導体 シリコンカーバイド 照射条件依存性 改質技術 |