原料交互供給法によるZnOの原子層エピタキシャル成長と伝導型制御に関する研究
KAKEN 科学研究費助成事業データベース で見る| 研究課題番号 | KAKENHI-PROJECT-14750013 |
|---|---|
| 研究種目 | 若手研究(B) |
| 研究分野 | 工学 応用物理学・工学基礎 応用物性・結晶工学 |
| 研究機関 | 愛媛大学 |
| 代表研究者 | 寺迫 智昭 |
| 研究期間 開始年月日 | 2002/4/1 |
| 研究期間 終了年度 | 2003 |
| 研究ステータス | 完了 (2003/4/1) |
| 配分額（合計） | 3,200,000 (直接経費 :3,200,000) |
| 配分額（履歴） |
2003年度：2,000,000 (直接経費 :2,000,000) 2002年度：1,200,000 (直接経費 :1,200,000) |
| キーワード | 酸化亜鉛 大気圧科学気相成長法 交互供給法 原子層エピタキシャル成長 亜鉛アセチルアセトナート 自己組織化 |