X線およびシンクロトロン放射光による薄膜の高温挙動その場観察
KAKEN 科学研究費助成事業データベース で見る| 研究課題番号 | KAKENHI-PROJECT-14550081 |
|---|---|
| 研究種目 | 基盤研究(C) |
| 研究分野 | 工学 機械工学 機械材料・材料力学 |
| 研究機関 | 徳島大学 |
| 代表研究者 | 英 崇夫 |
| 研究分担者 | 西田 真之 |
| 研究分担者 | 日下 一也 |
| 研究期間 開始年月日 | 2002/4/1 |
| 研究期間 終了年度 | 2003 |
| 研究ステータス | 完了 (2003/4/1) |
| 配分額（合計） | 3,100,000 (直接経費 :3,100,000) |
| 配分額（履歴） |
2003年度：800,000 (直接経費 :800,000) 2002年度：2,300,000 (直接経費 :2,300,000) |
| キーワード | 薄膜 X線測定 残留応力 熱応力 シンクロトロン放射光 Al配線 エレクトロマイグレーション Cu薄膜 高温その場測定 Thin film X-ray measurement Residual stress Thermal stress Synchrotron radiations |