異種超微粒子の静電高速衝撃によるナノスケール混合組織薄膜の創製
KAKEN 科学研究費助成事業データベース で見る| 研究課題番号 | KAKENHI-PROJECT-14350388 |
|---|---|
| 研究種目 | 基盤研究(B) |
| 研究分野 | 工学 材料工学 材料加工・処理 |
| 研究機関 | 愛媛大学 |
| 代表研究者 | 井出 敞 |
| 研究分担者 | 豊田 洋通 |
| 研究分担者 | 八木 秀次 |
| 研究期間 開始年月日 | 2002/4/1 |
| 研究期間 終了年度 | 2003 |
| 研究ステータス | 完了 (2003/4/1) |
| 配分額（合計） | 5,700,000 (直接経費 :5,700,000) |
| 配分額（履歴） |
2003年度：900,000 (直接経費 :900,000) 2002年度：4,800,000 (直接経費 :4,800,000) |
| キーワード | 混合組織薄膜 超微粒子 ダイヤモンド状膜 静電加速法 水素プラズマエッチング ホッピング伝導機構 マグネトロンスパッタリング 薄膜形成法 シリコン複合化DLC膜 ナノスケール混合組織 機能性材料 静電加速 Diamond-like Carbon Film Ultra-fine Particle Diamond-Like Carbon Film Electrostatic Acceleration Hydrogen Plasma Etching Hopping Conduction Magnetron Sputtering Fabrication of Thin Film |