イオンビーム・プラズマ援用超微粒子加速衝撃法によるダイヤモンド状膜の形成
KAKEN 科学研究費助成事業データベース で見る| 研究課題番号 | KAKENHI-PROJECT-12650716 |
|---|---|
| 研究種目 | 基盤研究(C) |
| 研究分野 | 工学 材料工学 材料加工・処理 |
| 研究機関 | 愛媛大学 |
| 代表研究者 | 井出 敞 |
| 研究分担者 | 豊田 洋通 |
| 研究分担者 | 八木 秀次 |
| 研究期間 開始年月日 | 2000/4/1 |
| 研究期間 終了年度 | 2001 |
| 研究ステータス | 完了 (2001/4/1) |
| 配分額（合計） | 3,500,000 (直接経費 :3,500,000) |
| 配分額（履歴） |
2001年度：600,000 (直接経費 :600,000) 2000年度：2,900,000 (直接経費 :2,900,000) |
| キーワード | ダイヤモンド状膜 炭素超微粒子 静電加速法 磁界・高周波援用 膜成長速度 境界摩擦特性 マグネトロンスパッタ効果 ホッピング伝導機構 DLC膜 高周波プラズマ援用 磁場援用 イオンエッチング効果 超微粒子分散 超微粒子供給 Diamond-like Carbon Film Carbon Ultra-fine Particle Electrostatic Acceleration Assistance of Magnetic and RF Electric Field Film Growth Rate Characteristic of Boundary Friction Effect of Mapnetron Sputtering Hopping Conduction |