薄膜および配線構造体の内部応力と原子輸送
KAKEN 科学研究費助成事業データベース で見る| 研究課題番号 | KAKENHI-PROJECT-10650092 |
|---|---|
| 研究種目 | 基盤研究(C) |
| 研究分野 | 工学 機械工学 機械材料・材料力学 |
| 研究機関 | 徳島大学 |
| 代表研究者 | 英 崇夫 |
| 研究分担者 | 日下 一也 |
| 研究期間 開始年月日 | 1998/4/1 |
| 研究期間 終了年度 | 1999 |
| 研究ステータス | 完了 (1999/4/1) |
| 配分額（合計） | 3,500,000 (直接経費 :3,500,000) |
| 配分額（履歴） |
1999年度：1,500,000 (直接経費 :1,500,000) 1998年度：2,000,000 (直接経費 :2,000,000) |
| キーワード | 薄膜 内部応力 熱応力 その場観察 表面形態 ストレスマイグレーション 優先方位 X線応力測定 Cu膜 熱サイクル ストレスマグレーション Thin film Internal stress Thermal stress In-situ observation Surface morphology Stress migration Preferred orientation X-ray stress measurement |