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超微粒子ビーム加工用超高速ビームの開発

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研究課題番号 KAKENHI-PROJECT-07750149
研究種目 奨励研究(A)
研究分野 工学
機械工学
機械工作・生産工学
研究機関 愛媛大学
代表研究者 豊田 洋通
研究期間 開始年月日 1995/4/1
研究期間 終了年度 1995
研究ステータス 完了 (1995/4/1)
配分額(合計) 1,000,000 (直接経費 :1,000,000)
配分額(履歴) 1995年度:1,000,000 (直接経費 :1,000,000)
キーワード Ultra-Fine Particle
Charge
Ion Beam