超微粒子ビーム加工用超高速ビームの開発
KAKEN 科学研究費助成事業データベース で見る研究課題番号 | KAKENHI-PROJECT-07750149 |
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研究種目 | 奨励研究(A) |
研究分野 | 工学 機械工学 機械工作・生産工学 |
研究機関 | 愛媛大学 |
代表研究者 | 豊田 洋通 |
研究期間 開始年月日 | 1995/4/1 |
研究期間 終了年度 | 1995 |
研究ステータス | 完了 (1995/4/1) |
配分額(合計) | 1,000,000 (直接経費 :1,000,000) |
配分額(履歴) |
1995年度:1,000,000 (直接経費 :1,000,000) |
キーワード | Ultra-Fine Particle Charge Ion Beam |