高圧力マイクロ波プラズマCVD法によるダイヤモンド微粒子の作製に関する研究
KAKEN 科学研究費助成事業データベース で見る| 研究課題番号 | KAKENHI-PROJECT-06452162 |
|---|---|
| 研究種目 | 一般研究(B) |
| 研究分野 | 工学 機械工学 機械工作・生産工学 |
| 研究機関 | 愛媛大学 |
| 代表研究者 | 八木 秀次 |
| 研究分担者 | 豊田 洋通 |
| 研究分担者 | 井出 敞 |
| 研究期間 開始年月日 | 1994/4/1 |
| 研究期間 終了年度 | 1995 |
| 研究ステータス | 完了 (1995/4/1) |
| 配分額（合計） | 6,000,000 (直接経費 :6,000,000) |
| 配分額（履歴） |
1995年度：900,000 (直接経費 :900,000) 1994年度：5,100,000 (直接経費 :5,100,000) |
| キーワード | Microwave Plasma CVD High pressure Diamond マイクロ波 プラズマ ダイヤモンド 微粒子 空洞共振器 Microwave Plasma CVD High pressure Diamond |