超微粒子ビームによる機能性薄膜作製法の開発
KAKEN 科学研究費助成事業データベース で見る| 研究課題番号 | KAKENHI-PROJECT-05452139 |
|---|---|
| 研究種目 | 一般研究(B) |
| 研究分野 | 工学 機械工学 機械工作・生産工学 |
| 研究機関 | 愛媛大学 |
| 代表研究者 | 井出 敞 |
| 研究分担者 | 豊田 洋通 |
| 研究分担者 | 八木 秀次 |
| 研究期間 開始年月日 | 1993/4/1 |
| 研究期間 終了年度 | 1994 |
| 研究ステータス | 完了 (1994/4/1) |
| 配分額（合計） | 5,200,000 (直接経費 :5,200,000) |
| 配分額（履歴） |
1994年度：700,000 (直接経費 :700,000) 1993年度：4,500,000 (直接経費 :4,500,000) |
| キーワード | 超微粒子 静電加速 ダイヤモンド状膜 TOF ダイヤモンド ビーム加工 プラズマ 帯電 Ultra Fine Particle Electrostatic Accelerate Diamond Like Carbon Time Of Flight |