高圧型マイクロ波CVD法による微粒子の作成とその応用に関する研究
KAKEN 科学研究費助成事業データベース で見る| 研究課題番号 | KAKENHI-PROJECT-04650070 |
|---|---|
| 研究種目 | 一般研究(C) |
| 研究分野 | 工学 機械工学 機械材料工学 |
| 研究機関 | 愛媛大学 |
| 代表研究者 | 八木 秀次 |
| 研究分担者 | 豊田 洋通 |
| 研究分担者 | 井出 敬 |
| 研究期間 開始年月日 | 1992/4/1 |
| 研究期間 終了年度 | 1993 |
| 研究ステータス | 完了 (1993/4/1) |
| 配分額（合計） | 1,900,000 (直接経費 :1,900,000) |
| 配分額（履歴） |
1993年度：600,000 (直接経費 :600,000) 1992年度：1,300,000 (直接経費 :1,300,000) |
| キーワード | プラズマ マイクロ波 CVD 微粒子 高圧力 インピーダンス 共振器 plasma Micro Wave CVD Fine Particles High Pressure |