プラズマCVDによる炭酸ガスレ-ザ用レンズ薄膜の製作と性能評価に関する研究
KAKEN 科学研究費助成事業データベース で見る| 研究課題番号 | KAKENHI-PROJECT-63890015 |
|---|---|
| 研究種目 | 試験研究 |
| 研究分野 | 広領域 |
| 研究機関 | 高松工業高等専門学校 |
| 代表研究者 | 中村 茂昭 |
| 研究分担者 | 草薙 一正 |
| 研究分担者 | 平野 俊雄 |
| 研究分担者 | 山本 斌〓 |
| 研究分担者 | 吹田 義一 |
| 研究分担者 | 吉岡 捷爾 |
| 研究分担者 | 須崎 嘉文 |
| 研究期間 開始年月日 | 1988/4/1 |
| 研究期間 終了年度 | 1990 |
| 研究ステータス | 完了 (1991/4/1) |
| 配分額（合計） | 6,100,000 (直接経費 :6,100,000) |
| 配分額（履歴） |
1990年度：2,000,000 (直接経費 :2,000,000) 1989年度：2,100,000 (直接経費 :2,100,000) 1988年度：2,000,000 (直接経費 :2,000,000) |
| キーワード | 炭酸ガスレ-ザ用レンズ 塩化カリウム単結晶 硫化ヒ素膜 フッ化リチウム膜 フッ化鉛膜 木材加工 硫化ヒ素薄膜 炭酸ガスレ-ザ用窓 塩化ナトリウム フッ化鉛 硫化砒素 炭酸ガスレ-ザ用鏡 窒化チタン 赤外用薄膜 プラズマCVD ゲルマニウム カルコゲン化物 炭酸ガスレーザ CO_2 lasers lens Potassium chloride crystals Arsenic sulfide film Lithium fiuoride film Lead fluoride film Wood processing |