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微小流路と電極対の高密度集積によるアレイ型多機能放電ジェットデバイスの実現

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研究課題番号 KAKENHI-PROJECT-26600064
研究種目 挑戦的萌芽研究
研究分野 理工系
総合理工
ナノ・マイクロ科学
ナノマイクロシステム
研究機関 香川大学
代表研究者 高尾 英邦
研究期間 開始年月日 2014/4/1
研究期間 終了年度 2016
研究ステータス 完了 (2016/4/1)
配分額(合計) 3,900,000 (直接経費 :3,000,000、間接経費 :900,000)
配分額(履歴) 2016年度:910,000 (直接経費 :700,000、間接経費 :210,000)
2015年度:1,430,000 (直接経費 :1,100,000、間接経費 :330,000)
2014年度:1,560,000 (直接経費 :1,200,000、間接経費 :360,000)
キーワード 微小ジェット
マイクロデバイス
放電プラズマ
マイクロ・ナノデバイス
先端機能デバイス
プラズマ加工

研究成果

[雑誌論文] Integrated pressure and temperature sensor with high immunity against external disturbance for flexible endoscope operation

Y. Maeda, K. Maeda, H. Kobara, H. Mori, H. Takao 2017

[学会発表] 1MPa Resistant MEMS Slide Valve Driven by an External Actuator for High Power Fluidic Applications

H. Takao, S. Takemasa, K. Terao, F. Shimokawa 2017

[学会発表] Fabrication and Packaging of an Integrated Pressure and Temperature Sensor with High Immunity Against External Disturbance Under Flexible Endoscopic Operation

Y. Maeda, K. Maeda, H. Kobara, H. Mori, H. Takao 2016

[学会発表] 高温微細加工を目指したマイクロフレームアレイデバイス

井原拓也; 寺尾京平; 下川房男; 高尾英邦 2016

[学会発表] 制御性と耐圧性を高めた組立式MEMSマイクロバルブの製作

武政智史; 相田泰志; 高尾英邦 2016

[学会発表] Embedded Sensor Packaging on Endoscopy Hood for Real Time Monitoring During Natural Orfice Translumenal Endoscopic Surgery

T. Nakagawa, Y. Maeda, K. Maeda, K. Watatani, H. Kobara, H. Mori, H. Takao 2016

[学会発表] Generation of Low-Temperature Atmospheric Pressure Plasma-Jet Patternable Array at a 320micron Pitch Channel Array

T. Ihara; H. Yamasaki; K. Terao; T. Suzuki; F. Shimokawa; H. Takao 2015

[学会発表] シリコン微細加工技術を用いた320umピッチの流路を有する大気圧プラズマジェットアレイの製作と評価

武政智史; 山崎秀貴; 寺尾京平; 鈴木孝明; 下川房男; 高尾英邦 0

[学会発表] マイクロフレームジェットデバスの実現を目指した消炎距離の測定

井原拓也; 寺尾京平; 鈴木孝明; 下川房男; 高尾英邦 0

[学会発表] Integrated MEMS Technology for Construction of Diverse Functional Devices” Short Course B

H. Takao 0