微小流路と電極対の高密度集積によるアレイ型多機能放電ジェットデバイスの実現
KAKEN 科学研究費助成事業データベース で見る研究課題番号 | KAKENHI-PROJECT-26600064 |
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研究種目 | 挑戦的萌芽研究 |
研究分野 | 理工系 総合理工 ナノ・マイクロ科学 ナノマイクロシステム |
研究機関 | 香川大学 |
代表研究者 | 高尾 英邦 |
研究期間 開始年月日 | 2014/4/1 |
研究期間 終了年度 | 2016 |
研究ステータス | 完了 (2016/4/1) |
配分額(合計) | 3,900,000 (直接経費 :3,000,000、間接経費 :900,000) |
配分額(履歴) |
2016年度:910,000 (直接経費 :700,000、間接経費 :210,000) 2015年度:1,430,000 (直接経費 :1,100,000、間接経費 :330,000) 2014年度:1,560,000 (直接経費 :1,200,000、間接経費 :360,000) |
キーワード | 微小ジェット マイクロデバイス 放電プラズマ マイクロ・ナノデバイス 先端機能デバイス プラズマ加工 |