異種材料を組み合わせた新構成2軸MEMSミラーの開発

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代表研究者	鈴木孝明
研究課題番号	KAKENHI-PROJECT-26289067
研究種目	基盤研究(B)
研究分野	理工系工学機械工学知能機械学・機械システム
研究機関	群馬大学香川大学
連携研究者	大平文和
連携研究者	下川房男
連携研究者	生津資大
研究期間開始年月日	2014/4/1
研究期間終了年度	2016
研究ステータス	完了 (2016/4/1)
配分額（合計）	16,640,000 (直接経費 :12,800,000、間接経費 :3,840,000)
配分額（履歴）	2016年度：4,680,000 (直接経費 :3,600,000、間接経費 :1,080,000) 2015年度：4,680,000 (直接経費 :3,600,000、間接経費 :1,080,000) 2014年度：7,280,000 (直接経費 :5,600,000、間接経費 :1,680,000)
キーワード	ナノマイクロメカトロニクス MEMS ミラー異種材料マイクロ・ナノデバイスマイクロファブリケーションフォトリソグラフィ

研究成果

[学会発表] Development of Portable Microfluidic Systems for Trapping Floting Cells

N. Furuya, T. Shimagami, K. Terao, H. Takao, F. Shimokawa, K. Akimitsu, and T. Suzuki 2016

[学会発表] 神経細胞ネットワーク解析に向けた局所光刺激・多点電位計測デバイスの開発

上野秀貴、駒井章治、寺尾京平、高尾英邦、下川房男、小寺秀俊、鈴木孝明 2016

[雑誌論文] Development of Magnetically Driven Microvalve Using Photosensitive SU-8/Fe Composite

J. Suzuki, K. Terao, H. Takao, F. Shimokawa, F. Oohira, H. Miyagawa and T. Suzuki 2016

[学会発表] Design and Control of a Large Deflection Polymer-MEMS Mirror

F. Ueno, T. Tsukamoto, Y. Umino, H. Yamashita, H. Kawai, F. Shimokawa, S. Shiomi, K. Yamada and T. Suzuki 2016

[学会発表] 細胞接着技術を用いた細胞配列マイクロアレイ

鈴木孝明,寺村裕治,北濵若奈,寺尾京平,高尾英邦,下川房男,上野秀貴 2016

[学会発表] 流体操作機構を集積化した小型細胞固定デバイスの開発

古谷尚輝、島上卓也、寺尾京平、高尾英邦、下川房男、秋光和也、鈴木孝明 2016

[学会発表] 感光性磁気ナノコンポジットを用いた磁気駆動メンブレンのオンチップ集積化

鈴木孝明,鈴木淳也,植田勇作,下川房男,潮見幸江,山田功 2016

[学会発表] 単一細胞マイクロアレイの孔形状が固定効率に及ぼす影響

古谷尚輝, 島上卓也, 佐藤竜偉, 寺尾京平, 高尾英邦, 下川房男, 秋光和也, 鈴木孝明 2016

[雑誌論文] Development of a two-dimensional scanning micro-mirror utilizing magnetic polymer composite

Junya Suzuki, Yoshiyuki Onishi, Kyohei Terao, Hidekuni Takao, Fusao Shimokawa, Fumikazu Oohira, Hayato Miyagawa, Takahiro Namazu, and Takaaki Suzuki 2016

[学会発表] 回転傾斜露光法とPDMS モールディングを用いたDNAファイバ解析チップの作製

北野広大，寺尾京平，高尾英邦，下川房男，大平文和，鈴木孝明 2015

[学会発表] 結晶異方性プラズマエッチング法によるSP 共鳴波長変調アクチュエータの作製

香川大地，鏡原照正，下川房男，高尾英邦，寺尾京平，山口堅三，鈴木孝明 2015

[学会発表] Development of a local light stimulation device integrated with micro electrode array

H. Ueno, S. Komai, K. Terao, H. Takao, F. Shimokawa, H. Kotera, and T. Suzuki 2015

[学会発表] 周波数変調された可動板を用いたマイクロ流体制御技術

河合駿，山下紘史，寺尾京平，高尾英邦，山田功，下川房男，鈴木孝明 2015

[学会発表] 植物細胞向けμ EP チップにおける印加電圧の最適化

古谷尚輝，島上卓也，下川房男，寺尾京平，高尾英邦，秋光和也，鈴木孝明 2015

[学会発表] Si/polymer/glass チップを用いた神経細胞組織内局所光刺激デバイスの開発

上野秀貴，駒井章治，寺尾京平，高尾英邦，下川房男，小寺秀俊，鈴木孝明 2015

[学会発表] BioMEMS向け厚膜フォトレジストの開発

鈴木孝明, 圓尾且也, 上野秀貴, 寺尾京平, 高尾英邦, 下川房男, 小寺秀俊 2015

[雑誌論文] SU-8/Feコンポジットを用いた磁気駆動型マイクロバルブの開発

鈴木淳也，寺尾京平，高尾英邦，下川房男，大平文和，鈴木孝明 2015

[学会発表] Development of a two-dimensional scanning micro-mirror utilizing magnetic polymer composite

Junya Suzuki, Yoshiyuki Onishi, Kyohei Terao, Hidekuni Takao, Fusao Shimokawa, Fumikazu Oohira, Hayato Miyagawa, Takahiro Namazu, and Takaaki Suzuki 2015

[学会発表] 厚膜スプレーコート法のモデル化による高精度膜厚制御

藤原清，赤松幹夫，寺尾京平，高尾英邦，下川房男，鈴木孝明 2015

[学会発表] Development of Magnetically Driven Microvalve Using Photosensitive Magnetic SU-8/Fe Composite

J. Suzuki, K. Terao, H. Takao, F. Shimokawa, F. Oohira, T. Suzuki 2015

[学会発表] 環境負荷を考慮した不活性ガスによるメタルドライエッチング法とその応用

濱治慶，藤原哲嗣，下川房男，小寺秀俊，迚野泰一，鈴木孝明 2015

[雑誌論文] 感光性磁気ナノ複合材料を用いた電磁マイクロポンプの開発

植田勇作，中原佐，寺尾京平，高尾英邦，下川房男，大平文和，小寺秀俊，鈴木孝明 2014

[学会発表] 低粘度厚膜フォトレジストを用いた高精度スプレー塗布法の開発

藤原清, 赤松幹夫, 幸田尚子, 寺尾京平, 高尾英邦, 下川房男, 鈴木孝明 2014

[学会発表] Dual-Axis Hybrid-MEMS Mirror Having Si And Polymer Hinges for Large-Area 2D Raster Scan

H. Yamashita, K. Terao, H. Takao, F. Shimokawa, F. Oohira, and T. Suzuki 0

[学会発表] 感光性磁気ナノ複合材料を用いた電磁マイクロポンプの送液特性に関する研究

植田勇作、中原佐、寺尾京平、高尾英邦、下川房男、大平文和、小寺秀俊、鈴木孝明 0

[学会発表] SU-8/Feコンポジットを用いた磁気駆動型マイクロバルブの製作

鈴木淳也，寺尾京平，高尾英邦，下川房男，大平文和，鈴木孝明 0