テラヘルツ周波数領域二重変調型エリプソメータ及び複合偏光解析手法の開発
KAKEN 科学研究費助成事業データベース で見る| 研究課題番号 | KAKENHI-PROJECT-26289066 |
|---|---|
| 研究種目 | 基盤研究(B) |
| 研究分野 | 理工系 工学 機械工学 知能機械学・機械システム |
| 研究機関 | 徳島大学 |
| 代表研究者 | 岩田 哲郎 |
| 研究分担者 | 安井 武史 |
| 研究分担者 | 水谷 康弘 |
| 研究期間 開始年月日 | 2014/4/1 |
| 研究期間 終了年度 | 2016 |
| 研究ステータス | 完了 (2016/4/1) |
| 配分額（合計） | 16,380,000 (直接経費 :12,600,000、間接経費 :3,780,000) |
| 配分額（履歴） |
2016年度：2,600,000 (直接経費 :2,000,000、間接経費 :600,000) 2015年度：4,550,000 (直接経費 :3,500,000、間接経費 :1,050,000) 2014年度：9,230,000 (直接経費 :7,100,000、間接経費 :2,130,000) |
| キーワード | テラヘルツ エリプソメエータ 薄膜計測 光計測 分光計測 幾何学的位相 エイプソメータ 膜厚測定 塗装膜 薄膜 エリプソメトリ 偏光解析 光コム エリプソメータ |