ヘリウムイオン顕微鏡の二次電子信号評価シミュレーション
KAKEN 科学研究費助成事業データベース で見る| 研究課題番号 | KAKENHI-PROJECT-24560029 |
|---|---|
| 研究種目 | 基盤研究(C) |
| 研究分野 | 理工系 工学 応用物理学・工学基礎 薄膜・表面界面物性 |
| 研究機関 | 徳島大学 |
| 代表研究者 | 大宅 薫 |
| 研究分担者 | 山中 卓也 |
| 研究期間 開始年月日 | 2012/4/1 |
| 研究期間 終了年度 | 2014 |
| 研究ステータス | 完了 (2014/4/1) |
| 配分額（合計） | 5,200,000 (直接経費 :4,000,000、間接経費 :1,200,000) |
| 配分額（履歴） |
2014年度：1,300,000 (直接経費 :1,000,000、間接経費 :300,000) 2013年度：1,300,000 (直接経費 :1,000,000、間接経費 :300,000) 2012年度：2,600,000 (直接経費 :2,000,000、間接経費 :600,000) |
| キーワード | イオン顕微鏡 二次電子放出 ヘリウムイオン シミュレーション |