シリコン結晶異方性プラズマエッチング技術の開発
KAKEN 科学研究費助成事業データベース で見る| 研究課題番号 | KAKENHI-PROJECT-23651139 |
|---|---|
| 研究種目 | 挑戦的萌芽研究 |
| 研究分野 | 総合・新領域系 複合新領域 ナノ・マイクロ科学 マイクロ・ナノデバイス |
| 研究機関 | 香川大学 |
| 代表研究者 | 鈴木 孝明 |
| 連携研究者 | 大平 文和 |
| 連携研究者 | 下川 房男 |
| 連携研究者 | 高尾 英邦 |
| 研究期間 開始年月日 | 2011/4/1 |
| 研究期間 終了年度 | 2012 |
| 研究ステータス | 完了 (2013/4/1) |
| 配分額（合計） | 3,900,000 (直接経費 :3,000,000、間接経費 :900,000) |
| 配分額（履歴） |
2012年度：1,300,000 (直接経費 :1,000,000、間接経費 :300,000) 2011年度：2,600,000 (直接経費 :2,000,000、間接経費 :600,000) |
| キーワード | マイクロファブリケーション 単結晶シリコン ドライエッチング 結晶異方性 カンチレバー マイクロ・ナノデバイス ﾏｲｸﾛ･ﾅﾉﾃﾞﾊﾞｲｽ ﾏｲｸﾛﾌｧﾌﾞﾘｹｰｼｮﾝ ﾄﾞﾗｲｴｯﾁﾝｸﾞ |