極低温マイクロ・ナノソリッド噴霧を用いた新型洗浄・はく離システムの開発
KAKEN 科学研究費助成事業データベース で見る研究課題番号 | KAKENHI-PROJECT-23360080 |
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研究種目 | 基盤研究(B) |
研究分野 | 理工系 工学 機械工学 流体工学 |
研究機関 | 東北大学 |
代表研究者 | 石本 淳 |
連携研究者 | 松浦 一雄 |
研究期間 開始年月日 | 2011/4/1 |
研究期間 終了年度 | 2013 |
研究ステータス | 完了 (2013/4/1) |
配分額(合計) | 18,850,000 (直接経費 :14,500,000、間接経費 :4,350,000) |
配分額(履歴) |
2013年度:3,510,000 (直接経費 :2,700,000、間接経費 :810,000) 2012年度:5,070,000 (直接経費 :3,900,000、間接経費 :1,170,000) 2011年度:10,270,000 (直接経費 :7,900,000、間接経費 :2,370,000) |
キーワード | 混相流 極低温 微粒化 熱伝達 ナノ洗浄 冷却 固体窒素 噴霧 相変化 |