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極低温マイクロ・ナノソリッド噴霧を用いた新型洗浄・はく離システムの開発

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研究課題番号 KAKENHI-PROJECT-23360080
研究種目 基盤研究(B)
研究分野 理工系
工学
機械工学
流体工学
研究機関 東北大学
代表研究者 石本 淳
連携研究者 松浦 一雄
研究期間 開始年月日 2011/4/1
研究期間 終了年度 2013
研究ステータス 完了 (2013/4/1)
配分額(合計) 18,850,000 (直接経費 :14,500,000、間接経費 :4,350,000)
配分額(履歴) 2013年度:3,510,000 (直接経費 :2,700,000、間接経費 :810,000)
2012年度:5,070,000 (直接経費 :3,900,000、間接経費 :1,170,000)
2011年度:10,270,000 (直接経費 :7,900,000、間接経費 :2,370,000)
キーワード 混相流
極低温
微粒化
熱伝達
ナノ洗浄
冷却
固体窒素
噴霧
相変化