トップ研究者を探すIII-N-V半導体における原子緩和に関する研究

III-N-V半導体における原子緩和に関する研究

KAKEN 科学研究費助成事業データベース で見る
研究課題番号 KAKENHI-PROJECT-20360139
研究種目 基盤研究(B)
研究分野 理工系
工学
電気電子工学
電子・電気材料工学
研究機関 大阪大学
代表研究者 近藤 正彦
研究分担者 若原 昭浩
研究分担者 江村 修一
研究分担者 石川 史太郎
研究期間 開始年月日 2008/4/1
研究期間 終了年度 2012
研究ステータス 完了 (2012/4/1)
配分額(合計) 18,590,000 (直接経費 :14,300,000、間接経費 :4,290,000)
配分額(履歴) 2011年度:4,550,000 (直接経費 :3,500,000、間接経費 :1,050,000)
2010年度:4,550,000 (直接経費 :3,500,000、間接経費 :1,050,000)
2009年度:4,550,000 (直接経費 :3,500,000、間接経費 :1,050,000)
2008年度:4,940,000 (直接経費 :3,800,000、間接経費 :1,140,000)
キーワード III-N-V 半導体
III-N-V化合物半導体
熱処理
X線吸収微細構造
原子配列
GaInNAs
X線光電子分光
原子緩和
電気・電子材料
III-N-V半導体
X線吸収微細構
GaInNAs
GaInNA s
エピタキシャルリフトオフ
InNP
ボンド結合長

研究成果

[雑誌論文] High-Quality Growth of GaInNAs for Application to Near-Infrared Laser Diodes

Masahiko Kondow and Fumitaro Ishikawa 2012

[雑誌論文] Application of GaInNAs for the gain medium of a photonic crystal microcavity

H. Nagatomo, K. Kukita, H. Goto, R. Nakao, K. Nakano, F. Ishikawa, M. Morifuji, and M. Kondow 2012

[雑誌論文] Effects of Plasma Processes on the Characteristics of Optical Device Structures Based on GaAs

Akio Watanabe, Fumitaro Ishikawa, and Masahiko Kondow 2012

[学会発表] Annealing effect on (Ga,In)(N,As) investigated by hard X-ray photoelectron spectroscopy and X-ray absorption fine structure

S. Fuyuno, F. Ishikawa, K. Higashi, A. Kinoshita, M. Morifuji, M. Kondow, H. Oji, J.-Y.Son, T. Honma, T. Uruga, and A. Trampert 2012

[雑誌論文] Characterization of the Oxide Film Obtained by Wet Oxidation of Al-Rich AlGaAs

Yuichiro Hirai, Takahiro Yamada, Masahiko Kondow, and Fumitaro Ishikawa 2012

[雑誌論文] Reduction of S-parameter by the Introduction of Nitrogen in GaNAs: Positron Annihilation and Photoluminescence Spectroscopy Study

H. Nakamoto1, F. Ishikawa, M. Kondow, Y. Ohshima, A. Yabuuchi, M. Mizuno, H. Araki1, Y. Shirai 2011

[雑誌論文] Introduction of GaInNAs Gain Medium into Circularly Arranged Photonic Crystal Cavity

Kentaro Kukita, Hiroshi Nagatomo, Hiroaki Goto, Ryo Nakao, Katsunari Nakano, Masaya Mochizuki, Masahiko Kondow, Masato Morifuji, and Fumitaro Ishikawa 2011

[雑誌論文] Temperature dependence of photoluminescence peak energy in Ga(In)NAs

Shuichi Emura, Hiroki Nakamoto, Fumitaro Ishikawa, Masahiko Kondow and Hajime Asahi 2011

[雑誌論文] Direct observation of N-(group V) bonding defects in dilute nitride semiconductors using hard x-ray photoelectron spectroscopy

F. Ishikawa, S. Fuyuno, K. Higashi, M. Kondow, M. Machida, H. Oji, J.-Y. Son, A. Trampert, K. Umeno, Y. Furukawa, and A. Wakahara 2011

[雑誌論文] Band gap engineering with sub-monolayer nitrogen insertion into InGaAs/GaAs quantum well

F.Ishikawa, M.Morifuji, K.Nagahara, M.Uchiyama, K.Higashi, M.Kondow 2011

[雑誌論文] Direct observation of N-(group V) bonding defects in dilute nitride semiconductors using hard x-ray photoelectron spectroscopy

F.Ishikawa, S.Fuyuno, K.Higashi, M.Kondow, M.Machida, H.Oji, J.-Y.Son, A.Trampert, K.Umeno, Y.Furukawa, A.Wakahara 2011

[雑誌論文] Reduction of S-parameter by the Introduction of Nitrogen in GaNAs : Positron Annihilation and Photoluminescence Spectroscopy Study

H.Nakamoto, F.Ishikawa, M.Kondow, Y.Ohshima, A.Yabuuchi, M.Mizuno, H.Araki, Y.Shirai 2011

[雑誌論文] Direct observation of N-(group V) bonding defects in dilute nitride semiconductors using hard x-ray photoelectron spectroscopy

F.Ishikawa, S.Fuyuno, K.Higashi, M.Kondow, M.Machida, H.Oji, J.-Y.Son, A.Trampert, K.Umeno, Y.Furukawa, A.Wakahara 2011

[雑誌論文] Growth and luminescence characterization of dilute InPN alloys grown by molecular beam epitaxy

K. Umeno, Y. Furukawa, N. Urakami, S. Mitsuyoshi, H. Yonezu, A. Wakahara, F. Ishikawa, and M. Kondow 2010

[雑誌論文] Epitaxial Lift-off for Sample Preparation of X-ray Absorption Fine Structure

K. Higashi, F. Ishikawa, K. Handa, S. Emura, and M. Kondow 2010

[雑誌論文] Infrared Absorption Spectrum of InNP

M.Kondow, F.Ishikawa, K.Umeno, Y.Furukawa, A.Wakahara 2010

[雑誌論文] Epitaxial Lift-Off for Sample Preparation of X-ray Absorption Fine Structure

K.Higashi, F.Ishikawa, K.Handa, S.Emura, M.Kondow 2010

[学会発表] Direct band engineering with sub-monolayer nitride into III-V quantum system

F. Ishikawa, M. Morifuji, S. Furuse, K. Nagahara, M. Uchiyama, K. Higashi, and M. Kondow 2010

[雑誌論文] Infrared Absorption Spectrum of InNP

M. Kondow, F. Ishikawa, K. Umeno, Y. Furukawa, and A. Wakahara 2010

[学会発表] Reduction of S-parameter by the Introduction of Nitrogen in GaNAs : Positron Annihilation and Its Comparative Study with Photoluminescence Spectroscopy

H.Nakamoto, F.Ishikawa, M.Kondow, Y.Oshima, A.Yabuchi, M.Mizuno, H.Araki, Y.Shirai 2010

[雑誌論文] Infrared Absorption Spectrum of InNP

M.Kondow, F.Ishikawa, K.Umeno, Y.Furukawa, A.Wakahara 2010

[学会発表] Reduction of S-parameter by the Introduction of Nitrogen in GaNAs: Positron Annihilation and Its Comparative Study with Photoluminescence Spectroscopy

H. Nakamoto, F. Ishikawa, M. Kondow, Y. Oshima, A. Yabuchi, M. Mizuno, H. Araki, Y. Shirai 2010

[雑誌論文] Growth and luminescence characterization of dilute InPN alloys grown by molecular beam epitaxy

K.Umeno, Y.Furukawa, N.Urakami, S.Mitsuyoshi, H.Yonezu, A.Wakahara, F.Ishikawa, M.Kondow 2010

[雑誌論文] Epitaxial Lift-off for Sample Preparation of X-ray Absorption Fine Structure

K.Higashi, F.Ishikawa, K.Handa, S.Emura, M.Kondow 2010

[学会発表] Temperature dependence of photoluminescence peak energy in Ga(In)Nas

S. Emura, H. Nakamoto, F. Ishikawa, M. Kondow, and H. Asahi 2010

[雑誌論文] Growth and luminescence characterization of dilute InPN alloys grown by molecular beam epitaxy

K.Umeno, Y.Furukawa, N.Urakami, S.Mitsuyoshi, H.Yonezu, A.Wakahara, F.Ishikawa, M.Kondow 2010

[雑誌論文] Epitaxial Lift-Off for Sample Preparation of X-ray Absorption Fine Structure

K.Higashi, F.Ishikawa, K.Handa, S.Emura, M.Kondow 2010

[学会発表] Temperature dependence of photoluminescence peak energy in Ga(In)NAs

S.Emura, H.Nakamoto, F.Ishikawa, M.Kondow, H.Asahi 2010

[学会発表] Direct band engineering with sub-monolayer nitride into III-V quantum system

F.Ishikawa, M.Morifuji, S.Furuse, K.Nagahara, M.Uchiyama, K.Higashi, M.Kondow 2010

[学会発表] Temperature dependence of photoluminescence peak energy in Ga(In)NAs

S.Emura, H.Nakamoto, F.Ishikawa, M.Kondow, H.Asahi 2010

[学会発表] Reduction of S-parameter by the Introduction of Nitrogen in GaNAs : Positron Annihilation and Its Comparative Study with Photoluminescence Spectroscopy

H.Nakamoto, F.Ishikawa, M.Kondow, Y.Oshima, A.Yabuchi, M.Mizuno, H.Araki, Y.Shirai 2010

[雑誌論文] Effect of Plasma Conditions on the Growth of GaNAs by Plasma-Assisted Molecular-Beam Epitaxy

M.Uchiyama, F.Ishikawa, M.Kondow 2009

[雑誌論文] Unintentional source incorporation in plasma-assisted molecular beam epitaxy

F.Ishikawa, S.D.Wu, M.Kato, M.Uchiyama, K.Higashi, M.Kondow 2009

[学会発表] Characterization of the Oxide Film Obtained by Wet Oxidation of AlxGa1-xAs with x=0.55-0.99

Y. Hirai, T. Yamada, M. Kondow, and F. Ishikawa

[学会発表] プラズマプロセスがGaAs 系半導体光学素子構造諸特性に与える影響

渡辺章王,石川史太郎,近藤正彦

[雑誌論文] Unintentional Aluminum incorporation related to the introduction of Nitrogen gas during the plasma-assistedmolecular beam epitaxy

F. Ishikawa, S. D. Wu, M. Kato, M. Uchiyama, K. Higashi, M. Kondow

[学会発表] Fabrication and analysis of a photonic crystal microcavity with AlOx cladding layer

H. Nagatomo, R. Nakao, F. Ishikawa, M. Morifuji, and M. Kondow

[学会発表] Potential of GaInNAs for Its Application to Micro-fabrication Optical Devices

Hiroaki Goto, Fumitaro Ishikawa, Masato Morifuji, and Masahiko Kondow

[学会発表] GaInNAs の微細加工発光デバイス応用有効性の検討

後藤洋昭,石川史太郎,森藤正人,近藤正彦

[学会発表] GaAs/AlOx スラブ構造フォトニック結晶光共振器の光学特性解析

中尾亮, 中野勝成, 永友大士, 久木田健太郎, 石川史太郎, 森藤正人, 近藤正彦

[学会発表] Annealing effect on (Ga,In)(N,As) investigated by hard X-ray photoelectron spectroscopy and X-ray absorption fine structure

S. Fuyuno, F. Ishikawa, K. Higashi, A. Kinoshita, M. Morifuji, M. Kondow, H. Oji, J.-Y.Son, T. Honma, T. Uruga, and A. Trampert

[学会発表] AlGaAs系フォトニック結晶作製に向けたエッチングマスクに関する研究

栂野裕二、北林佑太、石川史太郎、近藤正彦

[学会発表] フォトニック結晶共振器における局在モードの解析的評価

中野勝成,石川史太郎,森藤正人,近藤正彦

[学会発表] Application of GaInNAs to the Gain Medium ofPhotonic Crystal Microcavity

H. Nagatomo, K. Kukita, H. Goto, R. Nakao, K. Nakano, F. Ishikawa, and M. Kondow

[学会発表] フォトニック結晶作製を目的とした高Al組成AlGaAs深掘ドライエッチング

北林佑太、望月雅也、石川史太郎、近藤正彦

[学会発表] 高Al 組成AlxGa1-xAs 水蒸気酸化により形成したAlOx 薄膜の光学的特性評価

平井 裕一郎, 山田 高寛, 近藤 正彦, 石川 史太郎

[学会発表] AlGaAs 系フォトニック結晶作製に向けた誘導結合型プラズマエッチングにおけるエッチングガス効果

北林佑太,望月雅矢,石川史太郎,近藤正彦

[学会発表] Effect of Plasma Processes on the Characteristics of GaAs Related Optical Device Structure

A. Watanabe, F. Ishikawa, and M. Kondow

[学会発表] AlOxクラッドを持つフォトニック結晶光共振器の作製と光学特性評価

永友大士、中尾 亮、石川史太郎、森藤正人、近藤正彦

[学会発表] フォトニック結晶作製に向けた高Al 組成AlGaAs ドライエッチングに関する研究

望月雅矢,石川史太郎,近藤正彦

[学会発表] Fabrication and analysis of a current confinement structure for photonic crystal laser

S. Yamauchi, A. Watanabe, F. Ishikawa, M. Morifuji, and M. Kondow

[学会発表] 希釈窒化物半導体における熱処理効果の硬X線光電子分光による評価

冬野聡, 石川史太郎, 近藤正彦, 町田雅武, 陰地宏, 孫珍永, 梅野和行, 古川雄三, 若原昭浩

[学会発表] N-(group V) bonding defects in dilute nitride semiconductors proved by hard X-ray photoelectron spectroscopy

S. Fuyuno, F. Ishikawa, M. Kondow, M. Machida, H. Oji, J.-Y. Son, K. Umeno, Y. Furukawa, and A. Wakahara

[学会発表] フォトニック結晶構造作製を目的とした高Al 組成AlGaAs 誘導結合型プラズマエッチング

北林佑太, 望月雅矢, 石川史太郎, 近藤正彦

[学会発表] フォトニック結晶半導体レーザ作製を目指した電流狭窄構造の作製と評価

山内翔太、渡辺章王、石川史太郎、近藤正彦

[学会発表] Nitrogen Ion Role on Photoluminescence Variation Observed in III-N-V Semiconductors

Shogo Nonoguchi, Shuichi Emura, Fumitaro Ishikawa, Masato Morifuji, and Masahiko Kondow

[学会発表] GaInNAsを利得媒質とするフォトニック結晶共振器の作製と評価

永友大士, 後藤洋昭, 中尾亮, 中野勝成, 久木田健太郎, 石川史太郎, 近藤正彦

[雑誌論文] Reduction of S-parameter by the Introduction of Nitrogen in GaNAs : Positron Annihilation and Photoluminescence Spectroscopy Study

H.Nakamotol, F.Ishikawa, M.Kondow, Y.Ohshima, A.Yabuuchi, M.Mizuno, H.Arakil, Y.Shirai

[学会発表] Analysis of photonic crystal cavity resonator with AlOx cladding layer and GaInNAs gain medium

R. Nakao, K. Kukita, K. Nakano, H. Nagatomo, F. Ishikawa, M. Morifuji, and M.Kondow

[学会発表] Over 1.5 μm Deep Dry Etching of Al-rich AlGaAs for Photonic Crystal Fabrication

Yuta Kitabayashi, Masaya Mochizuki, Fumitaro Ishikawa, and Masahiko Kondow

[学会発表] Unintentional Source Incorporation During Molecular Beam Epitaxy Induced by Gas Phase Scattering

F. Ishikawa, and M. Kondow