実環境下の損傷敏感試料に微細領域の動態観測技術をもたらす半導体電子ビーム源
KAKEN 科学研究費助成事業データベース で見る| 研究課題番号 | KAKENHI-PROJECT-19H00666 |
|---|---|
| 研究種目 | 基盤研究(A) |
| 研究分野 | |
| 研究機関 | 名古屋大学 |
| 代表研究者 | 西谷 智博 |
| 研究分担者 | 目黒 多加志 |
| 研究分担者 | 洗平 昌晃 |
| 研究分担者 | 成田 哲博 |
| 研究分担者 | 本田 善央 |
| 研究分担者 | 石川 史太郎 |
| 研究分担者 | 田渕 雅夫 |
| 研究分担者 | 市川 修平 |
| 研究分担者 | 保田 英洋 |
| 研究分担者 | 七井 靖 |
| 研究期間 開始年月日 | 2019/4/1 |
| 研究期間 終了年度 | 2021 |
| 研究ステータス | 完了 (2021/4/1) |
| 配分額（合計） | 45,370,000 (直接経費 :34,900,000、間接経費 :10,470,000) |
| 配分額（履歴） |
2021年度：9,490,000 (直接経費 :7,300,000、間接経費 :2,190,000) 2020年度：13,520,000 (直接経費 :10,400,000、間接経費 :3,120,000) 2019年度：22,360,000 (直接経費 :17,200,000、間接経費 :5,160,000) |
| キーワード | フォトカソード 電子ビーム 半導体 負電子親和力表面 パルス電子ビーム 窒化ガリウム半導体 AlGaAs半導体 半導体フォトカソード 電子顕微鏡 損傷敏感試料 動態観測 ガリウムヒ素半導体 |