浮遊型マルチプローブAFM
KAKEN 科学研究費助成事業データベース で見る研究課題番号 | KAKENHI-PROJECT-19656099 |
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研究種目 | 萌芽研究 |
研究分野 | 理工系 工学 電気電子工学 計測工学 |
研究機関 | 香川大学 |
代表研究者 | 石丸 伊知郎 |
研究分担者 | 正木 勉 |
研究分担者 | 田中 直孝 |
研究分担者 | 竹川 薫 |
研究期間 開始年月日 | 2007/4/1 |
研究期間 終了年度 | 2008 |
研究ステータス | 完了 (2008/4/1) |
配分額(合計) | 3,400,000 (直接経費 :3,400,000) |
配分額(履歴) |
2008年度:1,300,000 (直接経費 :1,300,000) 2007年度:2,100,000 (直接経費 :2,100,000) |
キーワード | 計測システム 光圧力 位相差顕微鏡 光音響効果 投薬 AFM 原子間力顕微鏡 形状計測 |