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原子間力センシング機能を有する柔軟物質把持用MEMSピンセットの開発

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研究課題番号 KAKENHI-PROJECT-19310089
研究種目 基盤研究(B)
研究分野 総合・新領域系
複合新領域
ナノ・マイクロ科学
マイクロ・ナノデバイス
研究機関 静岡大学
代表研究者 橋口 原
研究分担者 細木 真保
研究期間 開始年月日 2007/4/1
研究期間 終了年度 2008
研究ステータス 完了 (2008/4/1)
配分額(合計) 13,260,000 (直接経費 :10,200,000、間接経費 :3,060,000)
配分額(履歴) 2008年度:5,070,000 (直接経費 :3,900,000、間接経費 :1,170,000)
2007年度:8,190,000 (直接経費 :6,300,000、間接経費 :1,890,000)
キーワード MEMSピンセット
柔軟物把持
自励発振
原子間力
櫛歯アクチュエータ
MEMS
ピンセット
原子間力センシング
細胞マニピュレーション

研究成果

[学会発表] SPICE Model for a Comb -Drive Actuator

M. Hosogi, H Ooiso, Y. Nishimori, N. Fujiwara, G. Hashiguchi 2008

[学会発表] SPICE Model for a Comb-Drive Actuator

M. Hosogi, H. Ooiso, Y. Nishimori, N. Fujiwara, G. Hashiguchi 2008

[学会発表] コムドライブアクチュエータを用いた変位計測

鈴木 勝順、細木 真保、橋口 原 2008

[学会発表] SiO_2皮膜の金電極を有するAFMプローブの開発

倉永 大資、細木 真保、橋口 原 2008