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柔軟性と高分解能を両立する多機能集積型シリコン触覚イメージセンサ

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研究課題番号 KAKENHI-PROJECT-17760277
研究種目 若手研究(B)
研究分野 理工系
工学
電気電子工学
電子デバイス・電子機器
研究機関 豊橋技術科学大学
代表研究者 高尾 英邦
研究期間 開始年月日 2005/4/1
研究期間 終了年度 2007
研究ステータス 完了 (2007/4/1)
配分額（合計） 3,300,000 (直接経費 :3,300,000)
配分額（履歴） 2007年度：1,000,000 (直接経費 :1,000,000)
2006年度：1,100,000 (直接経費 :1,100,000)
2005年度：1,200,000 (直接経費 :1,200,000)
キーワード 触覚センサ
微小電子機械システム(MEMS)
マイクロマシン
ロボット
感覚代行
CMOS集積回路
半導体
ピエゾ抵抗
人工皮膚

研究成果

[雑誌論文] Low-Noise Fully Differential Amplifiers Using JFET-CMOS Integration Technology for Smart Sensors

H. Takao, Radhakrishna V., Y. I to, F. Komakine, K. Serge, K. Sawada, M. Ishida 2008

[雑誌論文] Pneumatic MEMS In-Channel Microvalves with In-Plane Control Ports for Micro Fluidic Systems Integrated on a Chip Surface

H.Takao, M.Ishida 2007

[雑誌論文] Effect of High Drain Voltage on Stress Sensitivity in nMOSFETs

Radhakrishna V., H. Takao, K.Sawada, M. Ishida 2007

[雑誌論文] Wafer-level integration technique of surface mount devices on a Si-wafer with vibration energy and gravity force

M.Sudou, H.Takao, K.Sawada, M.Ishida 2007

[雑誌論文] Wafer-level integration technique of surface mount devices on a Si-wafer with vibration energy and gravity force

M. Sudou, H. Takao, K. Sawada, and M. Ishida 2007

[学会発表] Multi-functional Monolithic-MEMS Tactile Imager Using Flexible Deformation of Silicon IC

H. Takao, M. Yawata, R. Kodama, K. Sawada, and M. Ishida 2007

[図書] MEMS/NEMS Handbook : Techniques and Applications, Vol. 2, Chapter-4(Springer)

H.Takao, M.Ishida 2006

[雑誌論文] Effect of High Drain Bias on Stress Sensitivity in MOSFETs

R.Vatedka, H.Takao, K.Sawada, M.Ishida 2006

[雑誌論文] MEMS技術による柔軟型シリコン触覚イメージセンサ

矢和田将貴, 高尾英邦, 澤田和明, 石田誠 2006

[雑誌論文] Two-Dimensional Silicon Smart Tactile Image-Sensor with Single Sensing Diaphragm Actuated by Vibrating Pressure for Simultaneous Detection of Force and Object Hardness Distributions

H.Takao, M.Yawata, K.Sawada, M.Ishida 2006

[雑誌論文] Monolithic Silicon Smart Tactile Image Sensor with Integrated Strain Sensor Array on Pneumatically Swollen Single Diaphragm Structure

H.Takao, K.Sawada, M.Ishida 2006

[雑誌論文] Improvement of MOS Interface Characteristics in CMOS on Si(111) by Combination of Fluorine Implantation and Long-Time Hydrogen Annealing

Y.Kato, H.Takao, K.Sawada, M.Ishida 2006

[雑誌論文] A Self-Compensated Fully Differential SOI-CMOS Operational Amplifier for Wide Temperature Operation of Silicon Smart Sensors up to 275℃

H.Takao, T.Douzaka, K.Sakurano, K.Sawada, M.Ishida 2006

[雑誌論文] Monolithic Silicon Smart Tactile Image Sensor with Integrated Strain Sensor Array on Pneumatically Swollen Single Diaphragm Structure

H.Takao, K.Sawada, M.Ishida 2006

[雑誌論文] Performance and Reliability Study of Si(111) CMOS Subjected to High Mechanical Stress for Smart Sensor Application

F.Radhakrishna, Y.Kato, H.Takao, K.Sawada, M.Ishida 2005

[雑誌論文] Fabrication of a High-Temperature Silicon Pressure Sensor Using SDB-SOI Technology

Y.Lee, H.Takao, M.Ishida 2005

[雑誌論文] Multifunctional Smart Tactile-Image Sensor with Integrated Arrays of Strain and Temperature Sensors on Single Air-Pressurized Silicon Diaphragm

H.Takao, K.Sawada, M.Ishida 2005

触覚センサ装置

シリコン触覚センサ装置

触覚センサ装置