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高ショットキー極薄バリア超高速トランジスタ材料の開発

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研究課題番号 KAKENHI-PROJECT-17760253
研究種目 若手研究(B)
研究分野 理工系
工学
電気電子工学
電子・電気材料工学
研究機関 徳島大学
大阪大学
代表研究者 北田 貴弘
研究期間 開始年月日 2005/4/1
研究期間 終了年度 2006
研究ステータス 完了 (2006/4/1)
配分額(合計) 3,300,000 (直接経費 :3,300,000)
配分額(履歴) 2006年度:1,400,000 (直接経費 :1,400,000)
2005年度:1,900,000 (直接経費 :1,900,000)
キーワード 分子線エピタキシー
超高速トランジスタ
高電子移動度トランジスタ
超平坦界面
(411)A InP基板
極薄膜
高ショットキー
Si表面偏析