ナノ積層した酸素バリア性を有する多機能IZ0透明導電膜の成膜加工
KAKEN 科学研究費助成事業データベース で見る| 研究課題番号 | KAKENHI-PROJECT-17360051 |
|---|---|
| 研究種目 | 基盤研究(B) |
| 研究分野 | 理工系 工学 機械工学 機械材料・材料力学 |
| 研究機関 | 徳島大学 |
| 代表研究者 | 村上 理一 |
| 研究分担者 | 米倉 大介 |
| 研究分担者 | 辛 道勲 |
| 研究期間 開始年月日 | 2005/4/1 |
| 研究期間 終了年度 | 2006 |
| 研究ステータス | 完了 (2006/4/1) |
| 配分額（合計） | 14,900,000 (直接経費 :14,900,000) |
| 配分額（履歴） |
2006年度：7,000,000 (直接経費 :7,000,000) 2005年度：7,900,000 (直接経費 :7,900,000) |
| キーワード | 透明導電膜 ガスバリア膜 積層化 スパッタリング Transparent conductive film Gas barrier film Multilayer Sputtering |