大気圧低温プラズマを用いたZnO薄膜における成膜速度の高速化
KAKEN 科学研究費助成事業データベース で見る| 研究課題番号 | KAKENHI-PROJECT-16560285 |
|---|---|
| 研究種目 | 基盤研究(C) |
| 研究分野 | 理工系 工学 電気電子工学 電子・電気材料工学 |
| 研究機関 | 高松工業高等専門学校 |
| 代表研究者 | 鹿間 共一 |
| 研究分担者 | 須崎 嘉文 |
| 研究分担者 | 鯉沼 秀臣 |
| 研究期間 開始年月日 | 2004/4/1 |
| 研究期間 終了年度 | 2005 |
| 研究ステータス | 完了 (2005/4/1) |
| 配分額（合計） | 3,000,000 (直接経費 :3,000,000) |
| 配分額（履歴） |
2005年度：800,000 (直接経費 :800,000) 2004年度：2,200,000 (直接経費 :2,200,000) |
| キーワード | 大気圧低温プラズマ 酸化亜鉛 結晶粒径 atmospheric pressure cold plasma zinc oxide grain size |