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光音響法による不透明多層膜厚計測技術に関する研究

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研究課題番号 KAKENHI-PROJECT-16360206
研究種目 基盤研究(B)
研究分野 理工系
工学
電気電子工学
計測工学
研究機関 香川大学
代表研究者 石丸 伊知郎
研究分担者 大平 文和
研究分担者 杉野 欣伸
研究期間 開始年月日 2004/4/1
研究期間 終了年度 2006
研究ステータス 完了 (2006/4/1)
配分額（合計） 15,100,000 (直接経費 :15,100,000)
配分額（履歴） 2006年度：2,900,000 (直接経費 :2,900,000)
2005年度：5,100,000 (直接経費 :5,100,000)
2004年度：7,100,000 (直接経費 :7,100,000)
キーワード 膜厚
不透明
多層膜
非接触
光音響効果
共振
粗面
トワイマングリーン干渉計
film thickness
opaque
multi-layer
noncontact
photothermal effect
resonance mode
rough surface
interferometer

研究成果

[雑誌論文] Measurement Technology for Opaque Multilayer Film Thickness by Photothermal Effect (2nd Report) -Multilayer Film Thickness Measurement Technology by Resonance Mode Analysis between Boundary Face of Acoustic Impedance-

Takahiro OKUDA, Ichirou ISHIMARU, Yuki NAKAGAWA 2007

[雑誌論文] 光熱変換効果による不透明多層膜厚計測技術(第2報),-音響インピーダンス界面問共振モード解析による多層膜厚計測技術-

奥田貴啓, 石丸伊知郎, 中川友喜 2007

[雑誌論文] 高熱変換効果による不透明多層膜厚計測技術(第2報)-音響インピーダンス界面間共振モード解析による多層膜厚計測技術-

奥田貴啓, 石丸伊知郎, 中川友喜 2006

[雑誌論文] 光熱変換効果による不透明多層膜厚計測技術-音速同時計測手法による膜厚計測精度評価と内部残留応力-

奥田貴啓, 石丸伊知郎 2005

[雑誌論文] Measurement Technology for Opaque Multilayer Film Thickness by Photothermal Effect (2nd Report) -Multilayer Film Thickness Measurement Technology by Resonance Mode Analysis between Boundary Face of Acoustic Impedance-

Takahiro OKUDA, Ichirou ISHIMARU 2005

[雑誌論文] 光音響効果による不透明多層膜厚の計測

石丸 伊知郎 2005

[雑誌論文] 光熱変換効果による不透明多層膜厚計測技術(第1報)-単層膜を用いた共振波計測と粗面の高周波非接触振動計測技術-

奥田貴啓, 石丸伊知郎, 筒井宏光, 藤井義樹, 小林宏明 2005

[雑誌論文] Measurement Technology for Opaque Multilayer Film Thickness by Photothermal Effect

Ichirou ISHIMARU 2005

[雑誌論文] 光熱変換効果による不透明多層膜厚計測技術(第1報),-単層膜を用いた共振周波数計測と粗面の高周波非接触振動計測技術-

奥田貴啓, 石丸伊知郎, 筒井宏光 2005

[雑誌論文] 光熱変換効果による不透明多層膜厚計測技術 -音速同時計測手法による膜厚計測精度評価と内部残留応力計測-

奥田貴啓, 石丸伊知郎 2005

[雑誌論文] 光音響効果による不透明多層膜厚の計測

石丸伊知郎 2005

[雑誌論文] Measurement of opaque-multi-layer film thickness by photoacoustic effect -Microvibration measurement for rough face-

Takahiro OKUDA, Ichirou ISHIMARU, Hiromitu TUTUI 2005

[雑誌論文] 光音響法による不透明多層膜厚計測-粗面微小振動計測技術-

奥田貴啓, 石丸伊知郎, 筒井宏光 2004

[雑誌論文] 光音響効果による不透明多層膜厚の計測-粗面微小振動計測技術-

奥田貴啓, 石丸伊知郎, 筒井宏光 2004

[雑誌論文] Measurement Technology for Opaque Multilayer Film Thickness by Photothermal Effect

Takahiro OKUDA, Ichirou ISHIMARU, Hiromitu TUTUI, Yoshiki FUJII 2004

[雑誌論文] Measurement Technology for Opaque Multilayer Film Thickness by Photothermal Effect-Microvibration measurement for rough face-

akahiro OKUDA, Ichirou ISHIMARU, Hiromitu TUTUI 2004

[雑誌論文] 光音響法による不透明多層膜厚の計測

奥田貴啓, 石丸伊知郎, 筒井宏光, 藤井義樹 2004

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