光相関イメージング法を用いた2次元エリプソメトリの開発
KAKEN 科学研究費助成事業データベース で見る| 研究課題番号 | KAKENHI-PROJECT-15K13914 |
|---|---|
| 研究種目 | 挑戦的萌芽研究 |
| 研究分野 | 理工系 工学 機械工学 知能機械学・機械システム |
| 研究機関 | 大阪大学 |
| 代表研究者 | 水谷 康弘 |
| 研究分担者 | 高谷 裕浩 |
| 研究分担者 | 岩田 哲郎 |
| 研究期間 開始年月日 | 2015/4/1 |
| 研究期間 終了年度 | 2016 |
| 研究ステータス | 完了 (2016/4/1) |
| 配分額（合計） | 3,770,000 (直接経費 :2,900,000、間接経費 :870,000) |
| 配分額（履歴） |
2016年度：1,820,000 (直接経費 :1,400,000、間接経費 :420,000) 2015年度：1,950,000 (直接経費 :1,500,000、間接経費 :450,000) |
| キーワード | ゴーストイメージング エリプソメトリ 偏光計測 画像計測 高感度画像計測 光相関イメージング フォトンカウンティング 蛍光顕微鏡 光スピンホール効果 エリプソメータ 光相関 エリプソメトリー 弱測定 |