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600℃の高温と強いγ線照射に耐える流体式情報処理集積回路の研究

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研究課題番号 KAKENHI-PROJECT-14750041
研究種目 若手研究(B)
研究分野 工学
応用物理学・工学基礎
応用物理学一般
研究機関 豊橋技術科学大学
代表研究者 高尾 英邦
研究期間 開始年月日 2002/4/1
研究期間 終了年度 2004
研究ステータス 完了 (2004/4/1)
配分額(合計) 3,900,000 (直接経費 :3,900,000)
配分額(履歴) 2004年度:1,300,000 (直接経費 :1,300,000)
2003年度:1,200,000 (直接経費 :1,200,000)
2002年度:1,400,000 (直接経費 :1,400,000)
キーワード 信号処理回路
微小電子機械システム(MEMS)
マイクロマシン
流体式集積回路
超高温環境
放射線環境
Fluidics
マイクロバルブ

研究成果

[雑誌論文] MEMS-Based High Dose Radiation Resistant SOI Pressure Sensor for Aerospace Applications

K.I.Lee, M.M.Nayak, H.Takao, K.Sawada, M.Ishida, K.Rajanna 2005

[雑誌論文] A MEMS Microvalve with PDMS Diaphragm and Two Chamber Configuration of Thermo-Pneumatic Actuator for Integrated Blood Test System on Silicon

H.Takao, K.Miyamura, M.Ashiki, H.Ebi, K.Sawada, M.Ishida 2005

[図書] MEMS/NEMS Handbook : Techniques and Applications, Chapter 4, "Novel MEMS Fluidic Integrated Circuit Technology with 'MOSFET-Like Microvalve Elements'"

H.Takao, M.Ishida 2005

[雑誌論文] MEMS Based High Dose Radiation Resistant SOI Pressure Sensor

K.I.Lee, M.M.Nayak, H.Takao, K.Sawada, M.Ishida 2004

[雑誌論文] Fabrication of the High Temperature Silicon Pressure Sensor

Y.T.Lee, H.Takao, M.Ishida 2004

[雑誌論文] SOI-CMOS Precision Front-End Amplifier for Wide Range and High Temperature (200℃) Operation of Smart Microsensors

H.Takao, F.Ina, T.Douzaka, K.Sawada, M.Ishida 2004

[雑誌論文] Thermal Response Analysis of a Temperature Controlled Three-axis Accelerometer for High Temperatures with Integrated Microheaters and Temperature Sensors

K.I.Lee, H.Takao, K.Sawada, H.D.Seo, M.Ishida 2004

半導体微小流体制御素子およびそれを用いた半導体微小流体制御回路