誘導結合プラズマと表面波プラズマを利用した新しい無水銀光源の開発
KAKEN 科学研究費助成事業データベース で見る| 研究課題番号 | KAKENHI-PROJECT-14702067 |
|---|---|
| 研究種目 | 若手研究(A) |
| 研究分野 | 複合領域 プラズマ理工学 |
| 研究機関 | 愛媛大学 |
| 代表研究者 | 神野 雅文 |
| 研究期間 開始年月日 | 2002/4/1 |
| 研究期間 終了年度 | 2004 |
| 研究ステータス | 完了 (2004/4/1) |
| 配分額（合計） | 28,990,000 (直接経費 :22,300,000、間接経費 :6,690,000) |
| 配分額（履歴） |
2004年度：3,250,000 (直接経費 :2,500,000、間接経費 :750,000) 2003年度：6,370,000 (直接経費 :4,900,000、間接経費 :1,470,000) 2002年度：19,370,000 (直接経費 :14,900,000、間接経費 :4,470,000) |
| キーワード | ICP キセノン 光源 プラズマ加執機構 電源周波数 細管化 無電極 RF 希ガスランプ |