集束イオンビーム走査による試料表面の二次電子像コントラストに関する研究
KAKEN 科学研究費助成事業データベース で見る| 研究課題番号 | KAKENHI-PROJECT-14550026 |
|---|---|
| 研究種目 | 基盤研究(C) |
| 研究分野 | 工学 応用物理学・工学基礎 表面界面物性 |
| 研究機関 | 徳島大学 |
| 代表研究者 | 大宅 薫 |
| 研究期間 開始年月日 | 2002/4/1 |
| 研究期間 終了年度 | 2003 |
| 研究ステータス | 完了 (2003/4/1) |
| 配分額（合計） | 1,900,000 (直接経費 :1,900,000) |
| 配分額（履歴） |
2003年度：600,000 (直接経費 :600,000) 2002年度：1,300,000 (直接経費 :1,300,000) |
| キーワード | 集束イオンビーム(FIB) 走査イオン顕微鏡(SIM) 走査電子顕微鏡(SEM) 二次電子放出 スパッタリング モンテカルロシミュレーション Focused Ion Beam (FIB) Scanning Ion Microscope (SIM) Scanning Electron Microscope (SEM) Secondary Electron Emission Sputtering |