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光音響法による次世代ステッパー用レンズ高精度透過率計測の研究

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研究課題番号 KAKENHI-PROJECT-14350221
研究種目 基盤研究(B)
研究分野 工学
電気電子工学
計測工学
研究機関 香川大学
代表研究者 石丸 伊知郎
研究分担者 平田 健二
研究分担者 大平 文和
研究期間 開始年月日 2002/4/1
研究期間 終了年度 2003
研究ステータス 完了 (2003/4/1)
配分額(合計) 15,400,000 (直接経費 :15,400,000)
配分額(履歴) 2003年度:1,500,000 (直接経費 :1,500,000)
2002年度:13,900,000 (直接経費 :13,900,000)
キーワード ステッパ
フッ化カルシューム
レンズ
透過率
吸収係数
光熱変換効果
光音響
光カロリメトリ
Stepper
CaF2
Lens
Transmittance
Absorption Coefficient
Photo Acoustic Spectroscopy
Photothermal effect
Calorimetric measurement