光音響法による次世代ステッパー用レンズ高精度透過率計測の研究
KAKEN 科学研究費助成事業データベース で見る| 研究課題番号 | KAKENHI-PROJECT-14350221 |
|---|---|
| 研究種目 | 基盤研究(B) |
| 研究分野 | 工学 電気電子工学 計測工学 |
| 研究機関 | 香川大学 |
| 代表研究者 | 石丸 伊知郎 |
| 研究分担者 | 平田 健二 |
| 研究分担者 | 大平 文和 |
| 研究期間 開始年月日 | 2002/4/1 |
| 研究期間 終了年度 | 2003 |
| 研究ステータス | 完了 (2003/4/1) |
| 配分額（合計） | 15,400,000 (直接経費 :15,400,000) |
| 配分額（履歴） |
2003年度：1,500,000 (直接経費 :1,500,000) 2002年度：13,900,000 (直接経費 :13,900,000) |
| キーワード | ステッパ フッ化カルシューム レンズ 透過率 吸収係数 光熱変換効果 光音響 光カロリメトリ Stepper CaF2 Lens Transmittance Absorption Coefficient Photo Acoustic Spectroscopy Photothermal effect Calorimetric measurement |