単結晶シリコン選択成長による生体電位計測用スマート極微細多電極チップ形成の研究
KAKEN 科学研究費助成事業データベース で見る| 研究課題番号 | KAKENHI-PROJECT-12875061 |
|---|---|
| 研究種目 | 萌芽的研究 |
| 研究分野 | 工学 電気電子工学 電子・電気材料工学 |
| 研究機関 | 豊橋技術科学大学 |
| 代表研究者 | 石田 誠 |
| 研究分担者 | 高尾 英邦 |
| 研究期間 開始年月日 | 2000/4/1 |
| 研究期間 終了年度 | 2001 |
| 研究ステータス | 完了 (2001/4/1) |
| 配分額（合計） | 2,100,000 (直接経費 :2,100,000) |
| 配分額（履歴） |
2001年度：900,000 (直接経費 :900,000) 2000年度：1,200,000 (直接経費 :1,200,000) |
| キーワード | VLS成長法 選択成長 極微細電極 神経電位計測 脳神経プローブ MOS集積回路 不純物ドーピング スマートセンサ 脳神経計測 神経電位 アレイセンサ 集積回路 |