酸化物透明導電性薄膜への層状構造および結晶核生成不純物導入の効果に関する研究
KAKEN 科学研究費助成事業データベース で見る| 研究課題番号 | KAKENHI-PROJECT-12650317 |
|---|---|
| 研究種目 | 基盤研究(C) |
| 研究分野 | 工学 電気電子工学 電子・電気材料工学 |
| 研究機関 | 徳島大学 |
| 代表研究者 | 富永 喜久雄 |
| 研究分担者 | 中林 一郎 |
| 研究期間 開始年月日 | 2000/4/1 |
| 研究期間 終了年度 | 2001 |
| 研究ステータス | 完了 (2001/4/1) |
| 配分額（合計） | 3,700,000 (直接経費 :3,700,000) |
| 配分額（履歴） |
2001年度：500,000 (直接経費 :500,000) 2000年度：3,200,000 (直接経費 :3,200,000) |
| キーワード | ZnO :Al transparent film TCR film Transparent electrode sputtering sputtered film Amorphous conductive film ZnO : Al amorphous conductive film ZnO 透明導電膜 スパッタリング 不純物添加効果 ZnO:Al transparent film TCR Film Transparent electrode sputtering sputtered film Amorphous conductive film |