MWCVDを使って各種金属基板に創製したダイヤモンド薄膜の機械的性質の評価
KAKEN 科学研究費助成事業データベース で見る| 研究課題番号 | KAKENHI-PROJECT-09650106 |
|---|---|
| 研究種目 | 基盤研究(C) |
| 研究分野 | 工学 機械工学 機械材料・材料力学 |
| 研究機関 | 徳島大学 |
| 代表研究者 | 村上 理一 |
| 研究期間 開始年月日 | 1997/4/1 |
| 研究期間 終了年度 | 1998 |
| 研究ステータス | 完了 (1998/4/1) |
| 配分額（合計） | 3,200,000 (直接経費 :3,200,000) |
| 配分額（履歴） |
1998年度：1,200,000 (直接経費 :1,200,000) 1997年度：2,000,000 (直接経費 :2,000,000) |
| キーワード | ダイヤモンド薄膜 ダイヤモンド状炭素膜 密着強度 摩擦摩耗特性 マイクロ波プラズマ CVD 機械的性質 DIAMOND THIN FILM DIAMOND LIKE CARBON FILM ADHESION FRICTION AND WEAR PROPERTIES |