反射電子顕微鏡による原子尺度でのダイヤモンド膜成長過程のその場観察
KAKEN 科学研究費助成事業データベース で見る| 研究課題番号 | KAKENHI-PROJECT-02650465 |
|---|---|
| 研究種目 | 一般研究(C) |
| 研究分野 | 工学 金属工学 金属物性 |
| 研究機関 | 大阪大学 |
| 代表研究者 | 角田 直人 |
| 研究分担者 | 保田 英洋 |
| 研究期間 開始年月日 | 1990/4/1 |
| 研究期間 終了年度 | 1991 |
| 研究ステータス | 完了 (1991/4/1) |
| 配分額（合計） | 2,100,000 (直接経費 :2,100,000) |
| 配分額（履歴） |
1991年度：700,000 (直接経費 :700,000) 1990年度：1,400,000 (直接経費 :1,400,000) |
| キーワード | 気相成長ダイヤモンド膜 結晶表面の微視的観察 ダイヤモンド膜の成長過程 反射電子顕微鏡像 熱フィラメント一直流プラズマ複合CVD法 気相成長ダイアモンド 熱フィラメントー直流プラズマ複合装置 熱フィラメントー直流プラズマ複合CVD法 Synthetic Diamond grown from Vapor Phase Close Observation of Crystal Surface Growth Process of Synthetic Diamond Reflection Electron Microscope Images Hot Filament and DC Plasma Coenhancement CVD |