イオンビ-ムミキシング法によるTiN膜の作製とその疲労破壊の解明
KAKEN 科学研究費助成事業データベース で見る| 研究課題番号 | KAKENHI-PROJECT-02650058 |
|---|---|
| 研究種目 | 一般研究(C) |
| 研究分野 | 工学 機械工学 機械材料工学 |
| 研究機関 | 徳島大学 |
| 代表研究者 | 村上 理一 |
| 研究分担者 | 勝村 宗英 |
| 研究期間 開始年月日 | 1990/4/1 |
| 研究期間 終了年度 | 1991 |
| 研究ステータス | 完了 (1991/4/1) |
| 配分額（合計） | 1,900,000 (直接経費 :1,900,000) |
| 配分額（履歴） |
1991年度：600,000 (直接経費 :600,000) 1990年度：1,300,000 (直接経費 :1,300,000) |
| キーワード | セラミック薄膜 イオンビ-ム技術 表面改質 疲労寿命 密着強度 摩擦係数 ダイナミックミキシング イオンビ-ム 疲労持性 耐摩擦・摩耗 表面改貭 疲労強度 フラクトグラフィ- Ion Beam Technology Surface Modification Ceramic Thin Film Fatigue Life Film Hardness Fraction and Wear Adhesive Strength |