真空紫外光を用いる光化学気相蒸着の研究
KAKEN 科学研究費助成事業データベース で見る| 研究課題番号 | KAKENHI-PROJECT-01550256 |
|---|---|
| 研究種目 | 一般研究(C) |
| 研究分野 | 工学 電気工学 電子材料工学 |
| 研究機関 | 愛媛大学 |
| 代表研究者 | 長岡 伸一 |
| 研究分担者 | 長嶋 雲兵 |
| 研究分担者 | 今村 隆史 |
| 研究分担者 | 小谷野 猪之助 |
| 研究期間 開始年月日 | 1989/4/1 |
| 研究期間 終了年度 | 1990 |
| 研究ステータス | 完了 (1990/4/1) |
| 配分額（合計） | 2,500,000 (直接経費 :2,500,000) |
| 配分額（履歴） |
1990年度：600,000 (直接経費 :600,000) 1989年度：1,900,000 (直接経費 :1,900,000) |
| キーワード | 光化学気相蒸着 真空紫外光 内殻 光イオン化 解離 有機金属 Photochemical Vapor Deposition Vacuum Ultraviolet Light Core Photoionization Dissociation Organometallic Molecule |