研究者を探す
豊田 洋通
愛媛大学
2024年11月15日更新
- 職名
- 教授
- 電話
- 研究者総覧に該当データはありませんでした。
- 電子メール
- 研究者総覧に該当データはありませんでした。
- 学歴
- 研究者総覧に該当データはありませんでした。
- 学位
- 博士（工学） 大阪大学
- 職歴・経歴
- 1989-2004 愛媛大学工学部機械工学科 Faculty of Engineering, Department of Mechanical Engineering
2004-現在 - 愛媛大学工学部機械工学科
- 専門分野・研究分野
- ものづくり技術（機械・電気電子・化学工学） / 加工学、生産工学
2024年11月15日更新
- 専門分野・研究分野
- ものづくり技術（機械・電気電子・化学工学） / 加工学、生産工学
- 担当経験のある授業科目
- ものづくり工学特論１（機械工学特別講義１）
ものづくり工学特論２（機械工学特別講義２）
機械製作実習
生産システム学特論Ⅵ
機械工学特別講義
研究倫理特論
安全衛生管理概論
地域産業工学概論
機械加工学
応用加工学
機械工学講究Ⅱ
先端加工学
機械工学実験
知能システム学実験
アカデミックプレゼンテーション
修士特別研究１
修士特別研究２ - 指導経験
- 2024,第１クォーター,理工学研究科（博士前期課程2006〜）,ものづくり工学特論１（機械工学特別講義１）
2024,第２クォーター,理工学研究科（博士前期課程2006〜）,ものづくり工学特論２（機械工学特別講義２）
2024,前期,工学部,機械製作実習
2024,前期,理工学研究科（博士後期課程2006〜）,生産システム学特論Ⅵ
2024,前期,理工学研究科（博士前期課程2006〜）,機械工学特別講義
2024,前期,理工学研究科（博士前期課程2006〜）,研究倫理特論
2024,前期,理工学研究科（博士前期課程2006〜）,安全衛生管理概論
2024,前期,理工学研究科（博士前期課程2006〜）,地域産業工学概論
2024,後期,工学部,機械加工学
2024,後期,工学部,応用加工学
2024,後期,理工学研究科（博士前期課程2006〜）,機械工学講究Ⅱ
2024,後期,理工学研究科（博士前期課程2006〜）,先端加工学
2024,通年,工学部,機械工学実験
2024,通年,工学部,知能システム学実験
2024,通年,理工学研究科（博士前期課程2006〜）,アカデミックプレゼンテーション
2024,通年,理工学研究科（博士前期課程2006〜）,修士特別研究１
2024,通年,理工学研究科（博士前期課程2006〜）,修士特別研究２
2024年11月15日更新
- 専門分野・研究分野
- ものづくり技術（機械・電気電子・化学工学） / 加工学、生産工学
- 研究テーマ
- in-liquid plasma
Diamond synthesis
液中プラズマ
ダイヤモンド合成
- 著書
- 大気圧プラズマの生成制御と応用技術 小駒 益弘 サイエンス&テクノロジー 2012/03 ISBN: 9784864280396
レアメタル便覧 丸善 2010 - 論文
- A New Diamond Chemical Vapor Deposition Method on Steel Surface Ryoya ShiraishiHiromichi ToyotaXia ZhuKengo MatsumotoShinfuku NomuraYukiharu Iwamoto 2022/08 JOURNAL OF THE JAPAN INSTITUTE OF ENERGY 101/ 8, 147-151 研究論文（学術雑誌）
液中プラズマCVD法による単結晶ダイヤモンド合成に関する基礎研究 岡本孝祐豊田洋通朱霞 2022 日本材料学会四国支部学術講演会講演論文集 19th (Web)
木製パレット構造設計に関する基礎研究 越智陽朱霞豊田洋通伊藤大樹 2022 日本材料学会四国支部学術講演会講演論文集 19th (Web)
In-Liquid Plasma Recycling Method of Zinc Oxide Nanoparticles N. AmaliyahI. RahimA. E. Eka PutraS. MukasaS. NomuraH. Toyota 2021/11 Journal of Engineering Physics and Thermophysics 94/ 6, 1467-1472 研究論文（学術雑誌）
回転引き曲げ加工における加工精度を向上させるための加工パラメータの最適化 宇和川賢朱霞穆盛林黒須寛豊田洋通 2021 日本材料学会四国支部学術講演会講演論文集 18th
Effect of frictional conditions in deep drawing on formability Xia ZhuHiromichi ToyotaHironori HagioShigekiyo IshikawaTakahiro Akutagawa 2021 Key Engineering Materials 904 KEM, 26-30 研究論文（学術雑誌）
Optimization of Machining Parameters for Improving Accuracy of Dimension and Shape of Bent Part in Rotary Draw Bending Xia ZhuShenglin MuHiroshi KurosuHiromichi ToyotaKen Uwagawa 2021 Key Engineering Materials 904 KEM, 480-484 研究論文（学術雑誌）
Comparison of Hydrogen Production Through In-liquid Plasma Methods SHIRAISHI RyoyaNOMURA ShinfukuTOYOTA Hiromichi 2020/08/31 日本エネルギー学会誌 99/ 8, 104-107 研究論文（学術雑誌）
One-step Ammonia Synthesis by In-liquid Plasma under Ordinary Temperature and Pressure OKAMOTO KosukeSHIRAISHI RyoyaNOMURA ShinfukuTOYOTA HiromichiSHIMOKAWA Shota 2020/08/31 日本エネルギー学会誌 99/ 8, 94-98 研究論文（学術雑誌）
愛媛大学工学部附属船舶海洋工学センターの開設 : 未来の造船業界を担う人材育成 豊田 洋通 2019/11 溶接技術 = Welding technology : 一般社団法人日本溶接協会誌 67/ 11, 74-79 研究論文（学術雑誌）
Chemical structure and adhesion of DLC film with amorphous SiC intermediate thin film 朱 霞Hiromichi ToyotaDaiki MuranakaYutaroh KimuraRyoya Shiraishi 2019/07 Proceedings of The 10th International Conference on Computational Methods 研究論文（国際会議プロシーディングス）
Effect of introducing a steam pipe to n-dodecane decomposition by in-liquid plasma for hydrogen production Ryoya ShiraishiShinfuku NomuraHiromichi ToyotaShinobu MukasaYuki Amano 2019/06/21 International Journal of Hydrogen Energy 44/ 31, 16248-16256 研究論文（学術雑誌）
Effect of amorphous silicon carbide interlayer on diamond-like carbon film structure and film hardness Yutaroh KimuraXia ZhuHiromichi ToyotaRyoya ShiraishiYukiharu IwamotoShinfuku Nomura 2019 Key Engineering Materials 825 KEM, 99-105 研究論文（国際会議プロシーディングス）
Synthesizing cubic diamond crystal using dc plasma jet cvd Hiromichi ToyotaXia ZhuRyoya ShiraishiKazuto NakajimaYukiharu IwamotoShinfuku Nomura 2019 Key Engineering Materials 825 KEM, 71-76 研究論文（国際会議プロシーディングス）
Simultaneous synthesis of diamond and hydrogen Ryoya ShiraishiHiromichi ToyotaShinfuku NomuraKazuto NakajimaXia ZhuYukiharu Iwamoto 2019 Key Engineering Materials 825 KEM, 77-83 研究論文（国際会議プロシーディングス）
Effect of amorphous silicon carbide interlayer on diamond-like carbon film quality 朱 霞木村優太郎豊田洋通岩本幸治野村信福 2018/09 Prceedings of IC3MT 2018 522-526 研究論文（国際会議プロシーディングス）
Synthesis of Tin Nanoparticles by Pulse Discharge in Water and Aqueous Gelatin Solution Shinobu MukasaTakuya MasudaEito KimuraYuya SumotoHiromichi ToyotaShinfuku Nomura 2018/07 JOURNAL OF THE JAPAN INSTITUTE OF ENERGY 97/ 7, 186-190 研究論文（学術雑誌）
Production of Hydrogen and Monomer Aromatics by In-liquid Plasma Treatment of Lignin Kazuki TangeShinfuku NomuraShinobu MukasaHiromichi Toyota 2018/07 JOURNAL OF THE JAPAN INSTITUTE OF ENERGY 97/ 7, 171-175 研究論文（学術雑誌）
Catalytic effect on ultrasonic decomposition of cellulose Nomura ShinfukuWakida KousukeMukasa ShinobuToyota Hiromichi 2018/07 Japanese Journal of Applied Physics 57/ 7, 07LE05.1‐07LE05.4-07LE05
液中プラズマによる燃料ガスと材料合成 (特集 プラズマ-液体相互作用による機能性材料の創製) 野村 信福向笠 忍豊田 洋通 2018/05 静電気学会誌 42/ 3, 129-134 研究論文（学術雑誌）
ANALYTICAL AND EXPERIMENTAL INVESTIGATION ON CRACK GENERATED IN DIAMETER-ENLARGEMENT SECTION 朱霞黄木景二岡部永年豊田洋通 2018/05 International Journal of Mechanical Systems 2, 1-5 研究論文（学術雑誌）
Effect of alkali on decomposition of cellulose for hydrogen production by using RF plasma in liquid Fadhli SyahrialShinfuku NomuraFudhail Abdul MunirShinobu MukasaHiromichi ToyotaKazuki Tange 2018 PROCEEDINGS OF MECHANICAL ENGINEERING RESEARCH DAY 2018 (MERD) 169-171 研究論文（国際会議プロシーディングス）
Deposition and Characterization of Diamond Film on Stainless Steel with Double Interlayer Ti/Si by in Liquid Plasma CVD Pria GautamaHiromichi ToyotaYukiharu IwamotoXia ZhuShinfuku Nomura 2017/12 Proceedings of the 6th joint conference on renewable energy and nanotechnology 研究論文（国際会議プロシーディングス）
Catalytic Effect on Ultrasonic Decomposition of Cellulose NOMURA ShinfukuWAKIDA KosukeMUKASA ShinobuTOYOTA Hiromichi 2017/10 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム(CD-ROM) 38th, ROMBUNNO.2P4‐7 研究論文（国際会議プロシーディングス）
Investigation on the Effects of Ultrasonic Irradiation and Sodium Hydroxide on Decomposition of Cellulose Using RF Plasma in Liquid for Hydrogen Production at Atmospheric Pressure Fadhli SyahrialKazuki TangeShinfuku NomuraShinobu MukasaHiromichi Toyota 2017/10 JOURNAL OF THE JAPAN INSTITUTE OF ENERGY 96/ 10, 451-455 研究論文（学術雑誌）
Analytical and experimental investigation on crack generated in diameter-enlargement section Xia ZhuNagatoshi OkabeKeiji OgiHiromichi Toyota 2017/08 Proceedings of the International Conference on Computational Methods 4, 1478-1483 研究論文（国際会議プロシーディングス）
Synthesizing diamond film on Cu, Fe and Si substrate by in-liquid microwave plasma CVD Pria GautamaHiromichi ToyotaYukiharu IwamotoXia ZhuShinfuku NomuraShinobu Mukasa 2017/07 Precision Engineering 49, 412-420 研究論文（学術雑誌）
Improvement of the SLAU2 Scheme for a Propagating Intense Shock Wave Yukiharu IwamotoMasakatsu MurakamiHiromichi ToyotaXia Zhu 2017/06 Proceedings of 31st international symposium on space technology and science 研究論文（国際会議プロシーディングス）
One-step phenol production from a water-toluene mixture using radio frequency in-liquid plasma Muhammad AgungShinfuku NomuraShinobu MukasaHiromichi ToyotaOtsuka KazuhikoHidekazu Goto 2017/05/01 Plasma Science and Technology 19/ 5 研究論文（学術雑誌）
Hydrogen Production from n-dodecane Using Steam Reforming in-Liquid Plasma Method Andi Amijoyo MochtarShinfuku NomuraShinobu MukasaHiromichi ToyotaKohji Kawamukai 2017/03 JOURNAL OF THE JAPAN INSTITUTE OF ENERGY 96/ 3, 86-92 研究論文（学術雑誌）
n-ドデカンと水界面で発生させた高周波プラズマによる水蒸気改質反応 野村信福山根諒介向笠忍豊田洋通川向浩司 2017 日本伝熱シンポジウム講演論文集(CD-ROM) 54th
Synthesis of diamond by in-liquid plasma CVD 豊田 洋通プリア ガウタマ岩本 幸治朱 霞野村 信福 2017 精密工学会学術講演会講演論文集 2017/ 0
水添加アルゴン中での誘電体バリア放電によるOHラジカルの生成に関する研究 坂田 啓一向笠 忍長尾 真次豊田 洋通野村 信福 2017 中国四国支部総会・講演会 講演論文集 2017/ 0 （MISC）研究発表要旨（全国大会，その他学術会議）
液中ＣＶＤ法による単層カーボンナノチューブの形成 豊田 洋通岡村 隆志朱 霞岩本 幸治野村 信福 2017 精密工学会学術講演会講演論文集 2017/ 0 （MISC）研究発表要旨（全国大会，その他学術会議）
Deposition of a diamond-like-carbon film by ion plating and investigation on its adhesiveness Xia ZhuKazuki KuboHiromichi ToyotaShinfuku NomuraYukiharu IwamotoPria Gautama 2017 Key Engineering Materials 749 KEM, 70-75 研究論文（国際会議プロシーディングス）
Epitaxial growth of diamond by in-liquid plasma CVD method Pria GautamaHiromichi ToyotaXia ZhuYukiharu IwamotoShinfuku NomuraShinobu Mukasa 2017 Key Engineering Materials 749 KEM, 211-216 研究論文（国際会議プロシーディングス）
Synthesis of single-wall carbon nanotubes by in-liquid CVD Hiromichi ToyotaKen NagaokaXia ZhuYoshinari KatoShinfuku NomuraYukiharu IwamotoHiroaki YamamotoYu Shibano 2017 Key Engineering Materials 749 KEM, 217-222 研究論文（国際会議プロシーディングス）
Basic characteristics of in-liquid plasma jet and electrode damage Xia ZhuTaisuke SatohHiromichi ToyotaShinfuku NomuraYukiharu IwamotoPria Gautama 2017 Key Engineering Materials 749 KEM, 76-80 研究論文（国際会議プロシーディングス）
高周波液体-液体プラズマを用いた水-トルエン混合物からの一段階フェノール生成 Muhammad AGUNGShinfuku NOMURAShinobu MUKASAHiromichi TOYOTAOtsuka KAZUHIKOHidekazu GOTO 2017 Dengliziti Kexue he Jishu(Yingwenban) 19/ 5, 60‐67 研究論文（学術雑誌）
Application of argon plasma jet for methane hydrate decomposition by radio frequency irradiation Ismail RahimShinfuku NomuraShinobu MukasaHiromichi ToyotaMuhammad AgungNovriany Amaliyah 2017 International Journal on Advanced Science, Engineering and Information Technology 7/ 6, 2092-2099 研究論文（学術雑誌）
Effect of reduction agent on ZnO reduction by radio-frequency dielectric heating Shinobu MukasaYuki UdakaKoudai MatsuzawaNobuyuki DoiHiromichi ToyotaShinfuku Nomura 2017 Nihon Enerugi Gakkaishi/Journal of the Japan Institute of Energy 96/ 9, 357-361 研究論文（学術雑誌）
Decomposition of cellulose by ultrasonic welding in water Shinfuku NomuraSeiya MiyagawaShinobu MukasaHiromichi Toyota 2016/07 Japanese Journal of Applied Physics 55/ 7 研究論文（国際会議プロシーディングス）
Decomposition of cellulose by ultrasonic welding in water Shinfuku NomuraSeiya MiyagawaShinobu MukasaHiromichi Toyota 2016/07 JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 55/ 7, 07KE02.1‐07KE02.2 研究論文（学術雑誌）
A Novel Method for Producing Hydrogen from a Hydrocarbon Liquid Using Microwave In-liquid Plasma Andi Amijoyo MochtarShinfuku NomuraShinobu MukasaHiromichi ToyotaKohji KawamukaiKojiro UegaitoFadhli Syahrial 2016/06 Journal of Energy and Power Engineering 10, 335-342
イグニッションコイルを用いた水中放電による金属スズからのナノ粒子合成 木村栄斗向笠忍須本裕也豊田洋通野村信福 2016 日本伝熱シンポジウム講演論文集(CD-ROM) 53rd
イオンプレーティング法によるダイヤモンド状炭素膜の形成法に関する研究 久保一貴河本創豊田洋通朱霞 2016 日本材料学会四国支部学術講演会講演論文集 14th
カーボンナノチューブの高速形成法に関する研究 長岡謙芝野優朱霞豊田洋通 2016 日本材料学会四国支部学術講演会講演論文集 14th
液中プラズマジェットによる高速膜生成装置の開発 佐藤泰輔朱霞豊田洋通 2016 日本材料学会四国支部学術講演会講演論文集 14th
プラズマによる芳香族化合物からのフェノール合成 大塚 和彦野村 信福向笠 忍豊田 洋通Muhammad Agung 2016 熱工学コンファレンス講演論文集 2016/ 0 （MISC）研究発表要旨（全国大会，その他学術会議）
電解質中に分散させたセルロースのプラズマ分解 野村 信福丹下 和樹Fadhli Syahrial北原 拓磨向笠 忍豊田 洋通 2016 熱工学コンファレンス講演論文集 2016/ 0 （MISC）研究発表要旨（全国大会，その他学術会議）
液中熱 CVD による単層カーボンナノチューブの成長特性 豊田 洋通朱 霞加藤 吉成芝野 優長岡 謙野村 信福岩本 幸治向笠 忍 2016 熱工学コンファレンス講演論文集 2016/ 0 （MISC）研究発表要旨（全国大会，その他学術会議）
1117 液中プラズマジェットの基本特性の調査(熱工学III) 藤林 亮平川口 元志豊田 洋通朱 霞 2016 中国四国支部総会・講演会 講演論文集 2016/ 0 （MISC）研究発表要旨（全国大会，その他学術会議）
417 熱プラズマ法による銅微粒子の合成とその特性(材料加工) 野村 信福曾我部 晃向笠 忍豊田 洋通 2016 中国四国支部総会・講演会 講演論文集 2016/ 0 （MISC）研究発表要旨（全国大会，その他学術会議）
Effect of pretreatment by sulfuric acid on cellulose decomposition using the in-liquid plasma method Kazuki TangeShinfuku NomuraShinobu MukasaHiromichi ToyotaFadhli Syahrial 2016 Nihon Enerugi Gakkaishi/Journal of the Japan Institute of Energy 95/ 12, 1105-1109 研究論文（学術雑誌）
Synthesis of the DLC film using ion plating method Hiromichi ToyotaSoh KawamotoXia ZhuShinfuku NomuraShinobu Mukasa 2015/12 Proceedings of the 4th Joint Conference on Renewable Energy and Nanotechnology 研究論文（国際会議プロシーディングス）
Synthesis of single-wall carbon nanotubes using in-liquid CVD method Hiromichi ToyotaYoshinari KatoYu ShibanoXia ZhuShinfuku NomuraShinobu Mukasa 2015/12 Proceedings of the 4th Joint Conference on Renewable Energy and Nanotechnology 研究論文（国際会議プロシーディングス）
Synergetic effects of radio-frequency (RF) in-liquid plasma and ultrasonic vibration on hydrogen production from glucose Fadhli SyahrialShinfuku NomuraShinobu MukasaHiromichi ToyotaKei Okamoto 2015/09/21 International Journal of Hydrogen Energy 40/ 35, 11399-11405 研究論文（国際会議プロシーディングス）
Fuel Gas Production from Biomass Sources by Radio Frequency In-Liquid Plasma Method Ismail RahimShinfuku NomuraShinobu MukasaHiromichi ToyotaKatsunori KawanishiYoshihiko MakiuraKazuhiko KogohKunihiro OhshimaSusumu Katsuen 2015/08 3, 28-35 研究論文（学術雑誌）
Decomposition of methane hydrate for hydrogen production using microwave and radio frequency in-liquid plasma methods Ismail RahimShinfuku NomuraShinobu MukasaHiromichi Toyota 2015/07/21 Applied Thermal Engineering 90, 120-126 研究論文（学術雑誌）
Plasma in-liquid method for reduction of zinc oxide in zinc nanoparticle synthesis Novriany AmaliyahShinobu MukasaShinfuku NomuraHiromichi ToyotaTomohide Kitamae 2015/02 Materials Research Express 2/ 2 研究論文（学術雑誌）
化学平衡論に基づく液中プラズマ還元プロセスの解析 向笠忍土井信行豊田洋通野村信福 2015 日本伝熱シンポジウム講演論文集(CD-ROM) 52nd
液中プラズマ水蒸気改質法による水素製造 野村信福川向浩司向笠忍豊田洋通 2015 日本伝熱シンポジウム講演論文集(CD-ROM) 52nd
C233 高周波液中プラズマによるトルエン-水混合液からフェノールの1段階合成(一般講演(7)) 野村 信福大塚 和彦向笠 忍豊田 洋通 2015 熱工学コンファレンス講演論文集 2015/ 0
2P4-13 液中超音波溶接によるセルロースの分解 野村 信福宮川 聖矢向笠 忍豊田 洋通 2015 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演論文集 36/ 0
1114 液中プラズマと超音波の同時照射によるグルコースの分解促進に関する研究(熱工学II) 野村 信福宮川 聖矢Syahrial Fadhli向笠 忍豊田 洋通 2015 中国四国支部総会・講演会 講演論文集 2015/ 0
1113 マイクロ波液中プラズマを用いたSnワイヤーからのナノ粒子の合成(熱工学II) 須本 裕也向笠 忍豊田 洋通野村 信福 2015 中国四国支部総会・講演会 講演論文集 2015/ 0
Hydrogen production by reforming clathrate hydrates using the in-liquid plasma method Andi Erwin Eka PutraShinfuku NomuraShinobu MukasaHiromichi Toyota 2014/01/01 Progress in Sustainable Energy Technologies: Generating Renewable Energy 1
Generation of Gold Nanoparticles by RF Plasmas in Aqueous Solution MIZUKUNI ShomaMUKASA SinobuTOYOTA HiromichiNOMURA ShinfukuKAWASIMA AyatoMAEHARA Tsunehiro 2014 プラズマプロセシング研究会プロシーディングス(CD-ROM) 32nd
Synthesis of Gold Nanoparticles by Radiofrequency Plasmas in Aqueous Solution MIZUKUNI ShomaFUSENO YutaMUKASA ShinobuTOYOTA HiromichiNOMURA ShinfukuKAWASHIMA AyatoMAEHARA Tsunehiro 2014 プラズマプロセシング研究会プロシーディングス(CD-ROM) 31st
Spectroscopic Measurements of Radiofrequency Plasmas in NaCl Solution within Ceramic Tube on Insulating Plate TANAKA Ayaka RachelHAYASHI KohkenMUKASA ShinobuTOYOTA HiromichiNOMURA ShinfukuKAWASHIMA AyatoMAEHARA Tsunehiro 2014 プラズマプロセシング研究会プロシーディングス(CD-ROM) 31st
Hydrogen production from glucose and cellulose using radio frequency in-liquid plasma and ultrasonic irradiation Fadhli SyahrialShinobu MukasaHiromichi ToyotaKei OkamotoShinfuku Nomura 2014 Nihon Enerugi Gakkaishi/Journal of the Japan Institute of Energy 93/ 11
Synergetic effects of radio-frequency (RF) in-liquid plasma and ultrasonic vibration on hydrogen production via glucose Fadhli SyahrialShinfuku NomuraShinobu MukasaHiromichi ToyotaKei Okamoto 2014 20th World Hydrogen Energy Conference, WHEC 2014 1
A comparison of methane hydrate decompositon using radio frequency plasma and microwave plasma methods Ismail RahimShinfuku NomuraShinobu MukasaHiromichi Toyota 2014 Proceedings of the 15th International Heat Transfer Conference, IHTC 2014
E143 液中プラズマ法を用いたメタンハイドレートの分解促進に関する研究 野村 信福田村 聡充向笠 忍豊田 洋通 2014 熱工学コンファレンス講演論文集 2014/ 0
液中プラズマ法を用いたメタンハイドレートの分解促進に関する研究 野村信福田村聡充向笠忍豊田洋通 2014 日本機械学会熱工学コンファレンス講演論文集(CD-ROM) 2014
液中プラズマによる酸化金属還元法の開発 野村信福北前友英向笠忍豊田洋通 2014 日本伝熱シンポジウム講演論文集(CD-ROM) 51st
高圧下における水中プラズマ挙動に対する電源周波数の影響 向笠忍横山雄大野村信福豊田洋通 2014 日本伝熱シンポジウム講演論文集(CD-ROM) 51st
液中プラズマCVD法によるダイヤモンド膜の形成 豊田 洋通野村 信福向笠 忍 2014 精密工学会学術講演会講演論文集 2014/ 0
液中プラズマと超音波の同時照射による糖類の分解 野村信福岡本圭FADHLI Syahrial向笠忍豊田洋通 2013/10/18 日本機械学会熱工学コンファレンス講演論文集 2013
Electrical breakdown of microwave plasma in water Yoshiaki HattoriShinobu MukasaHiromichi ToyotaShinfuku Nomura 2013/08 Current Applied Physics 13/ 6
Synthesis of tungsten trioxide nanoparticles by microwave plasma in liquid and analysis of physical properties Yoshiaki HattoriShinfuku NomuraShinobu MukasaHiromichi ToyotaToru InoueToshihiro Kasahara 2013/05/25 Journal of Alloys and Compounds 560
液中プラズマの発生とその応用技術 (特集 ソノケミストリーとマイクロバブルの新展開) 野村 信福豊田 洋通向笠 忍 2013/04 ケミカルエンジニヤリング 58/ 4, 286-291
液中プラズマによるダイヤモンド単結晶の形成 豊田洋通山形昂平野村信福向笠忍 2013 日本機械学会中国四国支部総会・講演会講演論文集(CD-ROM) 51st
カーボンナノチューブの液中合成 豊田洋通額田聡史野村信福向笠忍加藤吉成 2013 日本機械学会中国四国支部総会・講演会講演論文集(CD-ROM) 51st
Synthesis of tungsten oxide, silver, and gold nanoparticles by radio frequency plasma in water Yoshiaki HattoriShinfuku NomuraShinobu MukasaHiromichi ToyotaToru InoueTomoya Usui 2013 Journal of Alloys and Compounds 578
B133 液中プラズマと超音波の同時照射による糖類の分解(一般講演(3)) 野村 信福岡本 圭FADHLI Syahrial向笠 忍豊田 洋通 2013 熱工学コンファレンス講演論文集 2013/ 0
1317 高周波プラズマを用いたメタンハイドレートの分解 船田 健介Erwin Eka Putra Andi向笠 忍豊田 洋通野村 信福 2013 中国四国支部総会・講演会 講演論文集 2013/ 0
310 液中プラズマによるダイヤモンド単結晶の形成 豊田 洋通山形 昂平野村 信福向笠 忍 2013 中国四国支部総会・講演会 講演論文集 2013/ 0
309 カーボンナノチューブの液中合成 豊田 洋通額田 聡史野村 信福向笠 忍加藤 吉成 2013 中国四国支部総会・講演会 講演論文集 2013/ 0
高周波プラズマを用いたメタンハイドレートの分解 船田健介EKA PutraAndi Erwin向笠忍豊田洋通野村信福 2013 日本機械学会中国四国支部総会・講演会講演論文集(CD-ROM) 51st
液中プラズマによる水素自動車用燃料の製造 野村信福伊藤篤史向笠忍豊田洋通 2013 日本伝熱シンポジウム講演論文集(CD-ROM) 50th
高圧下における高周波水中プラズマの発光と気泡の同時観察 向笠忍鎌田敦野村信福豊田洋通 2013 日本伝熱シンポジウム講演論文集(CD-ROM) 50th
液中プラズマによる水素製造プロセスの開発 野村 信福向笠 忍豊田 洋通 2012/12/19 レーザー学会研究会報告 = Reports on the Topical meeting of the Laser Society of Japan 438
マイクロ波液中プラズマ発生装置による廃油からの水素製造 野村信福上垣内孝二郎向笠忍豊田洋通 2012/11/16 日本機械学会熱工学コンファレンス講演論文集 2012
液中プラズマを用いた糖類の分解 野村信福河西克紀向笠忍豊田洋通 2012/11/16 日本機械学会熱工学コンファレンス講演論文集 2012
Hydrogen production by radio frequency plasma stimulation in methane hydrate at atmospheric pressure Andi Erwin Eka PutraShinfuku NomuraShinobu MukasaHiromichi Toyota 2012/11 International Journal of Hydrogen Energy 37/ 21
超臨界プラズマを利用したナノ粒子の合成 伏野祐太田岡崇木原徹也向笠忍豊田洋通野村信福前原常弘川嶋文人 2012/08/27 応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 73rd
日本伝熱学会学術賞を受賞して 野村 信福向笠 忍豊田 洋通 2012/07/01 伝熱 : journal of the Heat Transfer Society of Japan 51/ 216
高度ナノ粒子の製法と応用 液中プラズマによるナノ粒子製造方法 服部吉晃野村信福豊田洋通向笠忍 2012/07/01 ケミカルエンジニヤリング 57/ 7
液中プラズマによるナノ粒子製造方法 (小特集 高度ナノ粒子の製法と応用) 服部 吉晃野村 信福豊田 洋通 2012/07 ケミカルエンジニヤリング 57/ 7
マイクロ波液中プラズマを利用したナノ粒子の連続合成と圧力の影響 笠原敏弘服部吉晃向笠忍臼井友哉豊田洋通野村信福 2012/02/28 日本機械学会中国四国支部総会・講演会講演論文集(CD-ROM) 50th
液中プラズマ化学蒸着における化合物半導体の高速形成 豊田洋通馬場達也野村信福向笠忍 2012/02/28 日本機械学会中国四国支部総会・講演会講演論文集(CD-ROM) 50th
プラズマCVD法を用いたDLC薄膜生成に関する研究 森川敬之向笠忍豊田洋通野村信福 2012/02/28 日本機械学会中国四国支部総会・講演会講演論文集(CD-ROM) 50th
電子の電離衝突を考慮した液中プラズマの数値シミュレーション 向笠忍芥川聡野村信福豊田洋通 2012/02/28 日本機械学会中国四国支部総会・講演会講演論文集(CD-ROM) 50th
水‐メタノール混合溶液中でのマイクロ波プラズマによる生成気体に関する研究 加藤太一服部吉晃向笠忍豊田洋通野村信福 2012/02/28 日本機械学会中国四国支部総会・講演会講演論文集(CD-ROM) 50th
液中プラズマ蒸着法におけるダイヤモンドの最適生成条件の検討 豊田洋通小久保光一郎野村信福向笠忍 2012/02/28 日本機械学会中国四国支部総会・講演会講演論文集(CD-ROM) 50th
Improvement in preventing metal contamination from an electrode used for generating microwave plasma in liquid Yoshiaki HattoriShinobu MukasaHiromichi ToyotaHiroshi YamashitaShinfuku Nomura 2012/01/15 Surface and Coatings Technology 206/ 8-9
G224 液中プラズマを用いた糖類の分解(OS-17: プラズマ革新技術の展開(2)) 野村 信福河西 克紀向笠 忍豊田 洋通 2012 熱工学コンファレンス講演論文集 2012/ 0
G215 マイクロ波液中プラズマ発生装置による廃油からの水素製造(OS-17: プラズマ革新技術の展開(1)) 野村 信福上垣内 孝二郎向笠 忍豊田 洋通 2012 熱工学コンファレンス講演論文集 2012/ 0
1317 水-メタノール混合溶液中でのマイクロ波プラズマによる生成気体に関する研究(熱工学III) 加藤 太一服部 吉晃向笠 忍豊田 洋通野村 信福 2012 中国四国支部総会・講演会 講演論文集 2012/ 0
1316 プラズマCVD法を用いたDLC薄膜生成に関する研究(熱工学III) 森川 敬之向笠 忍豊田 洋通野村 信福 2012 中国四国支部総会・講演会 講演論文集 2012/ 0
1315 電子の電離衝突を考慮した液中プラズマの数値シミュレーション(熱工学III) 向笠 忍芥川 聡野村 信福豊田 洋通 2012 中国四国支部総会・講演会 講演論文集 2012/ 0
1314 マイクロ波液中プラズマを利用したナノ粒子の連続合成と圧力の影響(熱工学III) 笠原 敏弘服部 吉晃向笠 忍臼井 友哉豊田 洋通野村 信福 2012 中国四国支部総会・講演会 講演論文集 2012/ 0
302 液中プラズマ蒸着法におけるダイヤモンドの最適生成条件の検討(機械材料・材料加工I) 豊田 洋通小久保 光一郎野村 信福向笠 忍 2012 中国四国支部総会・講演会 講演論文集 2012/ 0
301 液中プラズマ化学蒸着における化合物半導体の高速形成(機械材料・材料加工I) 豊田 洋通馬場 達也野村 信福向笠 忍 2012 中国四国支部総会・講演会 講演論文集 2012/ 0
Continuous synthesis of magnesium-hydroxide, zinc-oxide, and silver nanoparticles by microwave plasma in water Yoshiaki HattoriShinobu MukasaHiromichi ToyotaToru InoueShinfuku Nomura 2011/12/15 Materials Chemistry and Physics 131/ 1-2
マイクロ波を用いたクラスレートハイドレート分解 野村信福鎌野陽大向笠忍豊田洋通EKA PutraAndi Erwin 2011/10/28 日本機械学会熱工学コンファレンス講演論文集 2011
Erratum: Plasma decomposition of clathrate hydrates by 2.45 GHz mircowave irradiation at atmospheric pressure (Applied Physics Express (2011) 4 (066201)) Shinfuku NomuraAndi Erwin Eka PutraShinobu MukasaHiroshi YamashitaHiromichi Toyota 2011/09 Applied Physics Express 4/ 9 （MISC）その他記事
食塩水中での高周波プラズマ 小電力でのプラズマ維持 井口智加前原常弘天野達矢向笠忍豊田洋通野村信福川嶋文人 2011/08/16 応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 72nd
A consideration of ternary C-H-O diagram for diamond deposition using microwave in-liquid and gas phase plasma H. ToyotaS. NomuraS. MukasaH. YamashitaT. ShimoS. Okuda 2011/08 Diamond and Related Materials 20/ 8
Influence of conductivity on the generation of a radio frequency plasma surrounded by bubbles in water T. MaeharaS. HondaC. InokuchiM. KuramotoS. MukasaH. ToyotaS. NomuraA. Kawashima 2011/06 Plasma Sources Science and Technology 20/ 3
Internal conditions of a bubble containing radio-frequency plasma in water Shinobu MukasaShinfuku NomuraHiromichi ToyotaTsunehiro MaeharaHiroshi Yamashita 2011/06 Plasma Sources Science and Technology 20/ 3
Characteristics of in-liquid plasma in water under higher pressure than atmospheric pressure S. NomuraS. MukasaH. ToyotaH. MiyakeH. YamashitaT. MaeharaA. KawashimaF. Abe 2011/06 Plasma Sources Science and Technology 20/ 3
Plasma decomposition of clathrate hydrates by 2.45GHz mircowave irradiation at atmospheric pressure Shinfuku NomuraAndi Erwin Eka PutraShinobu MukasaHiroshi YamashitaHiromichi Toyota 2011/06 Applied Physics Express 4/ 6
液中プラズマを利用したCVD新技術に関する研究 野村信福豊田洋通山下浩向笠忍下俊久奥田真也林秀高 2011/03 愛媛大学社会連携推進機構研究成果報告書 4
液中プラズマと超音波を併用した血栓破壊装置の開発 野村信福吉見隆宏向笠忍豊田洋通阿部文明枝広達也 2011/02/23 日本機械学会中国四国支部総会・講演会講演論文集 49th
高速度カメラを用いた液中プラズマの電子温度分布測定と気泡挙動の観察 向笠忍林拓広野村信福豊田洋通 2011/02/23 日本機械学会中国四国支部総会・講演会講演論文集 49th
小型共振アンテナを用いた液中プラズマダイヤモンド生成装置の開発 豊田洋通由井陽介野村信福向笠忍 2011/02/23 日本機械学会中国四国支部総会・講演会講演論文集 49th
液中プラズマ化学蒸着によるダイヤモンドの生成に適する基板の検討 豊田洋通河島直哉野村信福向笠忍服部吉晃 2011/02/23 日本機械学会中国四国支部総会・講演会講演論文集 49th
液中プラズマ化学蒸着法におけるダイヤモンドの最適生成条件の検討 豊田洋通渡部将弘野村信福向笠忍服部吉晃 2011/02/23 日本機械学会中国四国支部総会・講演会講演論文集 49th
Synthesis of zinc and zinc oxide nanoparticles from zinc electrode using plasma in liquid Yoshiaki HattoriShinobu MukasaHiromichi ToyotaToru InoueShinfuku Nomura 2011/01/31 Materials Letters 65/ 2
P5. Plasma generation and chemical reactions by radio-frequency irradiation into water(Poster Presentation) Mukasa ShinobuNomura ShinfukuToyota Hiromichi 2011 ソノケミストリー討論会講演論文集 20, 97-100
A222 マイクロ波を用いたクラスレートハイドレート分解(OS-3:プラズマを活用した熱工学の新技術(2)) 野村 信福鎌野 陽大向笠 忍豊田 洋通Putra Andi Erwin Eka 2011 熱工学コンファレンス講演論文集 2011/ 0
Fuel gas production by plasma in a microwave oven at atmospheric pressure Shinfuku NomuraAndi Erwin Eka PutraHiromichi ToyotaShinobu MukasaHiroshi Yamashita 2011 ASME/JSME 2011 8th Thermal Engineering Joint Conference, AJTEC 2011
711 液中プラズマと超音波を併用した血栓破壊装置の開発(バイオエンジニアリングII) 野村 信福向笠 忍阿部 文明吉見 隆宏豊田 洋通枝広 達也 2011 中国四国支部総会・講演会 講演論文集 2011/ 0
1407 液中プラズマ化学蒸着によるダイヤモンドの生成に適する基板の検討(熱工学II) 豊田 洋通野村 信福服部 吉晃河島 直哉向笠 忍 2011 中国四国支部総会・講演会 講演論文集 2011/ 0
1408 液中プラズマ化学蒸着法におけるダイヤモンドの最適生成条件の検討(熱工学II) 豊田 洋通野村 信福服部 吉晃渡部 将弘向笠 忍 2011 中国四国支部総会・講演会 講演論文集 2011/ 0
1414 小型共振アンテナを用いた液中プラズマダイヤモンド生成装置の開発(熱工学III) 豊田 洋通野村 信福由井 陽介向笠 忍 2011 中国四国支部総会・講演会 講演論文集 2011/ 0
マイクロ波液中プラズマを利用したナノ粒子の合成と対向プレートの影響 臼井 友哉服部 吉晃向笠 忍野村 信福豊田 洋通 2011 日本伝熱シンポジウム講演論文集 2011/ 0
高周波液中プラズマによる沸騰現象 野村 信福向笠 忍豊田 洋通 2011 日本伝熱シンポジウム講演論文集 2011/ 0
液中プラズマ化学蒸着における基板熱膨張のダイヤモンドの生成への影響 豊田 洋通野村 信福向笠 忍 2011 日本伝熱シンポジウム講演論文集 2011/ 0
高周波水中プラズマの励起温度の高時間・空間分解能測定 向笠 忍野村 信福豊田 洋通林 拓広 2011 日本伝熱シンポジウム講演論文集 2011/ 0
1416 高速度カメラを用いた液中プラズマの電子温度分布測定と気泡挙動の観察(熱工学III) 向笠 忍林 拓広野村 信福豊田 洋通 2011 中国四国支部総会・講演会 講演論文集 2011/ 0
二層誘電体同軸型電極を利用したマイクロ波液中プラズマ 服部吉晃向笠忍豊田洋通野村信福 2010/10/01 日本機械学会中国四国支部・九州支部合同企画講演会講演論文集 2010
液中プラズマ化学蒸着におけるプラズマ泡と基板の相互作用 豊田洋通飯坂康介野村信福向笠忍服部吉晃 2010/10/01 日本機械学会中国四国支部・九州支部合同企画講演会講演論文集 2010
Growth of bubbles containing plasma in water by high-frequency irradiation Shinobu MukasaTsunehiro MaeharaShinfuku NomuraHiromichi ToyotaAyato KawashimaYoshiaki HattoriYukio HashimotoHiroshi Yamashita 2010/07 International Journal of Heat and Mass Transfer 53/ 15-16
Diamond synthesis by plasma chemical vapor deposition in liquid and gas H. ToyotaS. NomuraS. MukasaY. TakahashiS. Okuda 2010/05 Diamond and Related Materials 19/ 5-6
超臨界二酸化炭素高周波プラズマの開発研究 川嶋文人前原常弘豊田洋通向笠忍野村信福 2010/03/25 Jasco Report
超臨界二酸化炭素高周波プラズマの開発研究 (超臨界最新技術特集(第10号)) 川嶋 文人前原 常弘豊田 洋通 2010/03 Jasco report 52/ 0
高圧液中プラズマのプラズマパラメータ測定 向笠忍三宅宏幸野村信福豊田洋通阿倍文明 2010/02/24 日本機械学会中国四国支部総会・講演会講演論文集 48th
Degradation of methylene blue by radio frequency plasmas in water under ultraviolet irradiation Tsunehiro MaeharaKyohei NishiyamaShingo OnishiShinobu MukasaHiromichi ToyotaMakoto KuramotoShinfuku NomuraAyato Kawashima 2010/02/15 Journal of Hazardous Materials 174/ 1-3
水中高周波プラズマ発生における電気伝導率の影響 本田修平前原常弘井口智加向笠忍豊田洋道野村信福川嶋文人 2010 応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 71st
1104 高圧液中プラズマのプラズマパラメータ測定(熱工学I) 向笠 忍三宅 宏幸野村 信福豊田 洋通阿倍 文明 2010 中国四国支部総会・講演会 講演論文集 2010/ 0
Optimization and analysis of shape of coaxial electrode for microwave plasma in water Yoshiaki HattoriShinobu MukasaShinfuku NomuraHiromichi Toyota 2010 Journal of Applied Physics 107/ 6
マイクロ波液中プラズマの点火位置に対する熱的影響 服部 吉晃向笠 忍野村 信福豊田 洋通 2010 日本伝熱シンポジウム講演論文集 2010/ 0
高周波水中プラズマにおける水分解反応に対する気泡挙動の影響 向笠 忍野村 信福豊田 洋通山下 浩前原 常弘 2010 日本伝熱シンポジウム講演論文集 2010/ 0
汎用型電子レンジを用いた液中プラズマ利用による水素及びカーボンナノチューブの同時製造 吉村信也岡村陽平山下浩豊田洋通野村信福 2009/11/07 日本化学会西日本大会講演要旨集 2009
高周波水中プラズマの分光分布測定 向笠忍野村信福豊田洋通 2009/11/06 日本機械学会熱工学コンファレンス講演論文集 2009
液中プラズマプロセスを用いた化合物半導体形成法 豊田洋通野村信福向笠忍 2009/11/06 日本機械学会熱工学コンファレンス講演論文集 2009
Effect of the Temperature of Water on the Degradation of Methylene Blue by the Generation of Radio Frequency Plasma in Water MIYAMOTO IppeiMAEHARA TsunehiroMIYAOKA HiroshiONISHI ShingoMUKASA ShinobuTOYOTA HiromichiKURAMOTO MakotoNOMURA ShinfukuKAWASHIMA Ayato 2009/09/30 Journal of Plasma and Fusion Research Series (Web) 8
水中プラズマの分光測定 向笠忍藤田俊一野村信福豊田洋通阿倍文明 2009/09/12 日本機械学会年次大会講演論文集 2009/ Vol.3
高周波液中プラズマの放電特性 野村信福影浦正直豊田洋通向笠忍 2009/09/12 日本機械学会年次大会講演論文集 2009/ Vol.3
紫外線照射を伴う水中高周波プラズマによるメチレンブルーの分解 西山恭平前原常弘向笠忍豊田洋通野村信福川嶋文人 2009/09/08 応用物理学会学術講演会講演予稿集 70th/ 1
水中プラズマの気泡発生の熱的影響 向笠 忍野村 信福豊田 洋通前原 常弘 2009/09/04 電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会 2009/ 93
電解研磨に関わる研究 豊田洋通野村信福井上清立石裕貴 2009/03 愛媛大学社会連携推進機構研究成果報告書 2
液中プラズマを利用したCVD新技術に関する研究 野村信福豊田洋通山下浩向笠忍下俊久奥田真也村瀬仁俊 2009/03 愛媛大学社会連携推進機構研究成果報告書 2
Synthesis of diamond using in-liquid plasma chemical vapor deposition Yoshiyuki TakahashiHiromichi ToyotaShinfuku NomuraShinobu MukasaToru InoueShinya Okuda 2009/03 Japanese Journal of Applied Physics 48/ 3
マイクロ波液中プラズマの電極形状が放電開始条件に及ぼす影響 服部吉晃野村信福向笠忍豊田洋通 2009/02/26 日本機械学会中国四国支部総会・講演会講演論文集 47th
超音波振動によるO/W型エマルジョンの粒径分布測定 今井悠輔野村信福豊田洋通向笠忍 2009/02/26 日本機械学会中国四国支部総会・講演会講演論文集 47th
液中プラズマによる水素製造基礎実験 安東努野村信福豊田洋通向笠忍阿部文明 2009/02/26 日本機械学会中国四国支部総会・講演会講演論文集 47th
液中プラズマCVD法を用いたダイヤモンドの高速成膜と大面積成膜 石丸洋平野村信福豊田洋通高橋克征向笠忍 2009/02/26 日本機械学会中国四国支部総会・講演会講演論文集 47th
Spectroscopic Measurements of HF Plasma in Supercritical CO2 MAEHARA TsunehiroIWAMAE AtsushiMUKASA ShinobuTAKEMORI ToshihikoWATANABE TakashiKUROKAWA KenyaTOYOTA HiromichiNOMURA ShinfukuKAWASHIMA Ayato 2009 プラズマ科学シンポジウム/プラズマプロセシング研究会プロシーディングス 2009-26th
D122 高周波水中プラズマの分光分布測定(プラズマ利用技術の進展II) 向笠 忍野村 信福豊田 洋通 2009 熱工学コンファレンス講演論文集 2009/ 0
D113 液中プラズマプロセスを用いた化合物半導体形成法(プラズマ利用技術の進展I) 豊田 洋通野村 信福向笠 忍 2009 熱工学コンファレンス講演論文集 2009/ 0
G0601-5-4 水中プラズマの分光測定(熱工学(5)プラズマ・熱現象) 向笠 忍藤田 俊一野村 信福豊田 洋通阿倍 文明 2009 年次大会講演論文集 2009/ 0
G0601-5-3 高周波液中プラズマの放電特性(熱工学(5)プラズマ・熱現象) 野村 信福影浦 正直豊田 洋通向笠 忍 2009 年次大会講演論文集 2009/ 0
414 超音波振動によるO/W型エマルジョンの粒径分布測定(熱工学III) 今井 悠輔野村 信福豊田 洋通向笠 忍 2009 中国四国支部総会・講演会 講演論文集 2009/ 0
405 液中プラズマによる水素製造基礎実験(熱工学I) 安東 努野村 信福豊田 洋通向笠 忍阿部 文明 2009 中国四国支部総会・講演会 講演論文集 2009/ 0
404 液中プラズマCVD法を用いたダイヤモンドの高速成膜と大面積成膜(熱工学I) 石丸 洋平野村 信福豊田 洋通高橋 克征向笠 忍 2009 中国四国支部総会・講演会 講演論文集 2009/ 0
403 マイクロ波液中プラズマの電極形状が放電開始条件に及ぼす影響(熱工学I) 服部 吉晃野村 信福向笠 忍豊田 洋通 2009 中国四国支部総会・講演会 講演論文集 2009/ 0
Temperature distributions of radio-frequency plasma in water by spectroscopic analysis Shinobu MukasaShinfuku NomuraHiromichi ToyotaTsunehiro MaeharaFumiaki AbeAyato Kawashima 2009 Journal of Applied Physics 106/ 11
Simultaneous production of hydrogen and CNTs by in-liquid plasma, and its discharge characteristics Shinfuku NomuraHiromichi ToyotaShinobu MukasaYoshiaki HattoriYoshiyuki TakahashiNaoharu UedaHiroshi YamashitaMuneo Tanaka 2009 2008 Proceedings of the ASME Summer Heat Transfer Conference, HT 2008 1
超臨界二酸化炭素高周波プラズマの分光解析 渡辺 高志前原 常弘野村 信福豊田 洋通向笠 忍岩前 敦川嶋 文人 2009 化学工学会 研究発表講演要旨集 2009/ 0
水中プラズマによる気泡発生様式と熱収支 向笠 忍前原 常弘野村 信福豊田 洋通服部 吉晃三宅 宏幸 2009 日本伝熱シンポジウム講演論文集 2009/ 0
Effect of the Temperature of Water on the Degradation of Methylene Blue by the Generation of Radio Frequency Plasma in Water 2009 Journal of Plasma and Fusion Research Series 8
Effect of the Temperature of Water on the Degradation of Methylene Blue by the Generation of Radio Frequency Plasma in Water 2009 プラズマ・核融合学会 8
Spectroscopic measurements of high frequency plasma in supercritical carbon dioxide T. MaeharaA. KawashimaA. IwamaeS. MukasaT. TakemoriT. WatanabeK. KurokawaH. ToyotaS. Nomura 2009 Physics of Plasmas 16/ 3
A comparison of diamond growth rate using in-liquid and conventional plasma chemical vapor deposition methods Yoshiyuki TakahashiHiromichi ToyotaShinfuku NomuraShinobu MukasaToru Inoue 2009 Journal of Applied Physics 105/ 11
液中プラズマＣＶＤ法によるダイヤモンドの高速形成 2009 月刊愛媛ジャーナル４月号
Production of hydrogen in a conventional microwave oven Shinfuku NomuraHiromichi ToyotaShinobu MukasaHiroshi YamashitaTsunehiro MaeharaAyato Kawashima 2009 Journal of Applied Physics 106/ 7
Radio Frequency Plasmas in Water T. MaeharaS. NomuraH. Toyota 2009 4TH INTERNATIONAL CONGRESS ON COLD ATMOSPHERIC PRESSURE PLASMAS: SOURCES AND APPLICATIONS, PROCEEDINGS 83-86 研究論文（国際会議プロシーディングス）
Submerged synthesis of diamond in liquid alcohol plasma H. ToyotaS. NomuraY. TakahashiS. Mukasa 2008/11 Diamond and Related Materials 17/ 11
液中プラズマの気泡の挙動と周辺温度 服部 吉晃向笠 忍野村 信福豊田 洋通 2008/10/01 伝熱 : journal of the Heat Transfer Society of Japan 16/ 4
液中プラズマの気泡の挙動と周辺温度 服部 吉晃向笠 忍野村 信福豊田 洋通 2008/10/01 伝熱 : journal of the Heat Transfer Society of Japan 47/ 201
Degradation of methylene blue by RF plasma in water T. MaeharaI. MiyamotoK. KurokawaY. HashimotoA. IwamaeM. KuramotoH. YamashitaS. MukasaH. ToyotaS. NomuraA. Kawashima 2008/08 Plasma Chemistry and Plasma Processing 28/ 4
Discharge characteristics of microwave and high-frequency in-liquid plasma in water Shinfuku NomuraHiromichi ToyotaShinobu MukasaYoshiyuki TakahashiTsunehiro MaeharaAyato KawashimaHiroshi Yamashita 2008/04 Applied Physics Express 1/ 4
高周波およびマイクロ波を用いた液中プラズマの発生とその応用技術 野村信福豊田洋通 2008/03/27 応用物理学関係連合講演会講演予稿集 55th/ 0
超臨界二酸化炭素中での高周波プラズマの分光解析 渡辺高志前原常弘岩前敦竹森俊彦野村信福豊田洋通向笠忍川嶋文人 2008/03/27 応用物理学関係連合講演会講演予稿集 55th/ 1
水中高周波プラズマによるメチレンブルーの分解 前原常弘宮本一平黒河賢哉橋本幸生向笠忍豊田洋通野村信福川嶋文人 2008/03/27 応用物理学関係連合講演会講演予稿集 55th/ 1
超臨界二酸化炭素高周波プラズマプロセスの開発研究 川嶋 文人渡辺 高志野村 信福豊田 洋通前原 常弘 2008 化学工学会 研究発表講演要旨集 2008/ 0
液中プラズマの気泡の挙動と周辺温度 服部 吉晃向笠 忍野村 信福豊田 洋通 2008 日本伝熱シンポジウム講演論文集 2008/ 0
水中高周波プラズマによる過酸化水素の発生と有機物の分解 大西真悟前原常弘宮本一平倉本誠山下浩向笠忍豊田洋通野村信福川嶋文人 2008 応用物理学会中国四国支部・日本物理学会中国支部・四国支部・日本物理教育学会中国四国支部支部学術講演会講演予稿集 2008
汎用電子レンジを用いた水素およびナノ炭素材料の同時製造に関する研究 野村 信福豊田 洋通向笠 忍山下 浩 2008 日本伝熱シンポジウム講演論文集 2008/ 0
Generation of high-frequency and microwave in-liquid plasma and its applications 2008 Sndai Plasma forumProceedings of International Interdisciplinary-Symposium on Gaseous and Liquid Plasmas
Formation of OH radical and hydrogen peroxide via RF plasma in water 2008 Sndai Plasma forumProceedings of International Interdisciplinary-Symposium on Gaseous and Liquid Plasmas Sndai Plasma forum
A supercritical carbon dioxide plasma process for preparing tungsten oxide nanowires Ayato KawashimaShinfuku NomuraHiromichi ToyotaToshihiko TakemoriShinobu MukasaTsunehiro Maehara 2007/12/12 Nanotechnology 18/ 49
A supercritical carbon dioxide plasma process for preparing tungsten oxide nanowires． Ayato KawashimaShinfuku NomuraHiromichi ToyotaToshihiko TakemoriShinobu MukasaTsunehiro Maehara 2007/12/12 Nanotechnology 18/ 49
イノベーションの創生と開発技術 超臨界二酸化炭素高周波プラズマプロセスの開発研究 川嶋文人野村信福豊田洋通前原常弘 2007/12/01 ケミカルエンジニヤリング 52/ 12
超臨界二酸化炭素高周波プラズマプロセスの開発研究 (特集 イノベーションの創生と開発技術) 川嶋 文人野村 信福豊田 洋通 2007/12 ケミカルエンジニヤリング 52/ 12
Observation of microwave in-liquid plasma using high-speed camera Shinobu MukasaShinfuku NomuraHiromichi Toyota 2007/09/07 Japanese Journal of Applied Physics, Part 1: Regular Papers and Short Notes and Review Papers 46/ 9 A
水中高周波プラズマの分光計測 黒河賢哉前原常弘岩前敦宮本一平橋本幸生奥村秀彦向笠忍豊田洋通野村信福 2007/08/21 日本物理学会講演概要集 62/ 2
液中プラズマ装置における電極形状の最適化に関する研究 野村信福大西裕之豊田洋通松永真由美前原常弘 2007/02/23 日本機械学会中国四国支部総会・講演会講演論文集 45th
液中プラズマ反応炉による水素ガスの生成に関する研究 野村信福大窪孝広豊田洋通山下浩向笠忍松永真由美 2007/02/23 日本機械学会中国四国支部総会・講演会講演論文集 45th
21aTB-13 水中高周波プラズマの分光計測(プラズマ科学(高エネルギー密度プラズマ,液中プラズマ),領域2,プラズマ基礎・プラズマ科学・核談合プラズマ・プラズマ宇宙物理) 黒河 賢哉前原 常弘岩前 敦宮本 一平橋本 幸生奥村 秀彦向笠 忍豊田 洋通野村 信福 2007 日本物理学会講演概要集 62/ 0
609 液中プラズマ反応炉による水素ガスの生成に関する研究(熱工学I) 野村 信福大窪 孝広豊田 洋通山下 浩向笠 忍松永 真由美 2007 中国四国支部総会・講演会 講演論文集 2007/ 0
608 液中プラズマ装置における電極形状の最適化に関する研究(熱工学I) 野村 信福大西 裕之豊田 洋通松永 真由美前原 常弘 2007 中国四国支部総会・講演会 講演論文集 2007/ 0
有機溶媒中におけるマイクロ波プラズマの挙動特性 服部吉晃向笠忍野村信福豊田洋通 2007 日本伝熱シンポジウム講演論文集(CD-ROM) 44th
液中プラズマ化学蒸着法によるSiC薄膜の生成 土岡達也豊田洋通野村信福高橋学大成啓介 2007 日本材料学会四国支部総会学術講演会講演論文集 8th-6th
High Frequency and Microwave Plasma in Water 2007 Proceedings of the ASME-JSME Thermal Engineering and Summer Heat Transfer Conference(HT2007), July 8-12, 2007, Vancouver,BC, Canada,CD-ROM
Study of high frequency plasma generation in supercritical carbon dioxide 2007 18th International Symposium on Plasma Chemistry, August 26-31, 2007: Full-paper CD
27.12 MHz plasma generation in supercritical carbon dioxide． Ayato KawashimaHiromichi ToyotaShinfuku NomuraToshihiko TakemoriShinobu MukasaTsunehiro MaeharaHiroshi Yamashita 2007 J. Appl. Phys. 101/ 9
超臨界二酸化炭素高周波プラズマプロセスの開発研究 川嶋文人野村信福豊田洋通前原常弘 2007 ケミカル・エンジニヤリング 12
Radio frequency plasma in water Tsunehiro MaeharaHiromichi ToyotaMakoto KuramotoAtsushi IwamaeAtsushi TadokoroShinobu MukasaHiroshi YamashitaAyato KawashimaShinfuku Nomura 2006/11/15 Japanese Journal of Applied Physics, Part 1: Regular Papers and Short Notes and Review Papers 45/ 11
高密度プラズマを利用した水素及び炭化物製造の調査研究 野村信福豊田洋通鶴野弘章 2006/11 愛媛大学産業科学技術支援センター研究成果報告書 10
高周波または電磁波を用いた液中プラズマの発生 野村信福豊田洋通向笠認前原常弘山下浩川嶋文人 2006/08 日本混相流学会年会講演会講演論文集 2006
超音波音場内における単一気泡の変形に関する研究 伊丹弘野村信福日笠忍豊田洋通 2006/08 日本混相流学会年会講演会講演論文集 2006
Fuel gas production by microwave plasma in liquid Shinfuku NomuraHiromichi ToyotaMichinaga TawaraHiroshi YamashitaKenya Matsumoto 2006/06/05 Applied Physics Letters 88/ 23
Microwave plasma in hydrocarbon liquids Shinfuku NomuraHiromichi ToyotaShinobu MukasaHiroshi YamashitaTsunehiro MaeharaMakoto Kuramoto 2006/05/21 Applied Physics Letters 88/ 21
Deformation of a single bubble with ultrasonic irradiation Shinobu MukasaHiroshi ItamiShinfuku NomuraHiromichi Toyota 2006/05/09 Japanese Journal of Applied Physics, Part 1: Regular Papers and Short Notes and Review Papers 45/ 5 A
Measurement of Temperature in Sonoplasma Mukasa ShinobuNomura ShinfukuToyota Hiromichi 2006/03 工学ジャーナル 5
超臨界二酸化炭素プラズマのスペクトル特性 竹森俊彦川嶋文人森口善宣豊田洋通前原常弘野村信福 2006/02/28 化学工学会年会研究発表講演要旨集 71st
液中プラズマ化学蒸着法によるSiC薄膜の生成 柴田顕次岡部永年野村信福豊田洋通 2006/02/23 日本機械学会中国四国支部総会・講演会講演論文集 44th
28pUC-8 水中における高周波プラズマ(プラズマ科学,28pUC プラズマ基礎(非線形現象),領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理)) 前原 常弘田所 篤向笠 忍倉本 誠岩前 敦豊田 洋通野村 信福 2006 日本物理学会講演概要集 61/ 0
201 液中プラズマ化学蒸着法によるSiC薄膜の生成(材料力学IV) 柴田 顕次岡部 永年野村 信福豊田 洋通 2006 中国四国支部総会・講演会 講演論文集 2006/ 0
水中プラズマによるメチレンブルー溶液の分解 橋本幸生黒河賢哉前原常弘豊田洋通野村信福倉本誠 2006 応用物理学会中国四国支部・日本物理学会中国支部・四国支部・日本物理教育学会中国四国支部支部学術講演会講演予稿集 2006
Deformation of a single bubble in organic solutions by ultrasound 2006 4th joint meeting of the Acoustical Society of America and the Acoustical Society of Japan, Honolulu, USA Full-Papers CD
In-Liquid plasma processing using high-frequency or microwave irradiation 2006 4th joint meeting of the Acoustical Society of America and the Acoustical Society of Japan, Honolulu, USA Full-Papers CD
Characterization of in-liquid plasma in a continuous liquid flow 2006 4th joint meeting of the Acoustical Society of America and the Acoustical Society of Japan, Honolulu, USA Full-Papers CD
Ultrasonic heat transfer enhancement with obstacle in front of heating surface S NomuraN NakagawaS MukasaH ToyotaK MurakamiR Kobayashi 2005/06 JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS BRIEF COMMUNICATIONS & REVIEW PAPERS 44/ 6B
PRODUCTION OF FUEL GAS BY PLASMA REACTOR IN A LIQUID NOMURA ShinfukuTOYOTA HiromichiMATSUMOTO KenyaYAMASHITA HiroshiTAWARA Michinaga 2005 振動・音響新技術シンポジウム講演論文集 2005
228 PRODUCTION OF FUEL GAS BY PLASMA REACTOR IN A LIQUID(General Session IV) : NOMURA ShinfukuTOYOTA HiromichiMATSUMOTO KenyaYAMASHITA HiroshiTAWARA Michinaga 2005 VS tech : the ... International Symposium on Advanced Technology of Vibration and Sound 2005
PRODUCTION OF FUEL GAS BY PLASMA REACTOR IN A LIQUID NOMURA ShinfukuTOYOTA HiromichiMATSUMOTO KenyaYAMASHITA HiroshiTAWARA Michinaga 2005 Proceedings of The First International Symposium on Advanced Technology of Vibration and Sound VSTech2005 2005
Effect of multi-injection strategy on cavitation development in diesel injector nozzle holes H. RothE. GiannadakisM. GavaisesC. ArcoumanisK. OmaeI. SakataM. NakamuraH. Yanagihara 2005 SAE Technical Papers
伝熱面前方に平板がある場合の超音波伝熱促進 野村信福中川勝文向笠忍豊田洋通村上幸一小林涼介 2004/10/27 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演予稿集 25th
液中プラズマ反応炉による有害物質の分解 野村信福森口善宣白形雄二豊田洋通 2004/10/25 日本機械学会中国四国支部地方講演会講演論文集 2004
水および有機溶媒中における単一気泡の挙動 野村 信福伊丹 弘向笠 忍豊田 洋通 2004/09/15 可視化情報学会誌. Suppl. 24/ 2
液中プラズマ化学蒸着法 野村信福豊田洋通向笠忍木村雅俊柿本浩幸 2004/05/26 日本伝熱シンポジウム講演論文集 41st/ Vol.3
化学反応場としての単一気泡の挙動に関する研究 向笠忍野村信福豊田洋通吉村崇史 2004/05/26 日本伝熱シンポジウム講演論文集 41st/ Vol.2
Measurement of temperature in sonoplasma Shinobu MukasaShinfuku NomuraHiromichi Toyota 2004/05 Japanese Journal of Applied Physics, Part 1: Regular Papers and Short Notes and Review Papers 43/ 5 B
Plasma in liquid generated by a combination of ultrasonic waves and microwave irradiation TOYOTA HiromichiNOMURA Shinfuku 2004/03 愛媛大学工学部工学ジャーナル 3
P3-47 伝熱面前方に平板がある場合の超音波伝熱促進(ポスターセッション3(概要講演)) 野村 信福中川 勝文向笠 忍豊田 洋通村上 幸一小林 涼介 2004 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演論文集 25/ 0
液中プラズマ反応炉による有害物質の分解(O.S.3-2 エネルギー利用システム,OS3:環境・エネルギーを支える熱工学技術) 野村 信福森口 善宜白形 雄二豊田 洋通 2004 中国四国支部総会・講演会 講演論文集 2004/ 0
A213 水および有機溶媒中における単一気泡の挙動 野村 信福伊丹 弘向笠 忍豊田 洋通 2004 可視化情報学会誌 24/ 2
Plasma Chemical Vapor Deposition in Liquids 2004 12/ 4
PLASMA CHEMICAL DEPOSITION IN LIQUIDS BY APPLICATION OF MICROWAVE IRRADIATION AND ULTRASONIC VIBRATION 2004 The 1st International Symposium on Micro & Nano Technology
Microwave Glow Discharge Plasma in Liquid 2004 Proceedings of the 2004 International Symp. on Microwave Science and Its Application to Related Fields
Plasma in liquid generated by a combination of ultrasonic waves and microwave irradiation 2004 3
Plasma Chemical Vapor Deposition in Liquids 野村信福豊田洋通向笠忍木村雅俊柿本浩幸 2004 THERMAL SCIENCE AND ENGINEERING 12/ 4
Plasma in liquid generated by a combination of ultrasonic waves and microwave irradiation 2004 工学ジャーナル（愛媛大学工学部紀要） 3
Sonoplasma generated by a combination of ultrasonic waves and microwave irradiation Shinfuku NomuraHiromichi Toyota 2003/12/01 Applied Physics Letters 83/ 22
ソノプラズマ内温度測定に関する研究 向笠忍野村信福豊田洋通 2003/11/12 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演予稿集 24th
大気圧以上の高圧力下でのプラズマ CVD によるダイヤモンドの高速形成 豊田 洋通井出 敞八木 秀次垣内 弘章森 勇藏 2003/10 精密工学会誌 = Journal of the Japan Society of Precision Engineering 69/ 10
独創的技術者教育を目指した「基礎科学実験」の開発 田中 寿郎平岡 耕一野村 信福豊田 洋通山下 浩八尋 秀典定岡 芳彦 2003/03/20 工学教育 51/ 2
P3-F-7 ソノプラズマ内温度測定に関する研究(ソノケミストリー,ポスターセッション3(概要講演)) 向笠 忍野村 信福豊田 洋通 2003 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演論文集 24/ 0
独創的技術者教育を目指した「基礎科学実験」の開発 田中 寿郎平岡 耕一野村 信福豊田 洋通山下 浩八尋 秀典定岡 芳彦 2003 工学教育 51/ 2
高圧力マイクロ波プラズマによるダイヤモンド膜生成に関する研究(膜生成および生成プロセス) 山中博史初田正義豊田洋通八木秀次 2002/10/19 日本機械学会中国四国支部地方講演会講演論文集 2002
ダイヤモンド状炭素膜コーティング刃による肝臓切離実験 長野啓太郎豊田洋通柴田論 2002/10/19 日本機械学会中国四国支部地方講演会講演論文集 2002
炭素基板表面吸着原子の拡散に対する考察 豊田 洋通 2002/03 工学ジャーナル 1
514 ダイヤモンド状炭素膜コーティング刃による肝臓切離実験 長野 啓太郎豊田 洋通柴田 論 2002 中国四国支部総会・講演会 講演論文集 2002/ 0
511 高圧力マイクロ波プラズマによるダイヤモンド膜生成に関する研究 : 膜生成および生成プロセス 山中 博史初田 正義豊田 洋通八木 秀次 2002 中国四国支部総会・講演会 講演論文集 2002/ 0
大気圧以上の高圧力下でのプラズマCVDによるダイヤモンドの高速形成 豊田洋通井出ひさし八木秀次 2001/09/10 精密工学会大会学術講演会講演論文集 2001
大気圧以上の高圧力下でのプラズマCVDによるダイヤモンドの高速形成 豊田 洋通井出 敞八木 秀次 2001/09/01 精密工学会大会学術講演会講演論文集 2001/ 2
濡れの原子・電子論的解析 豊田 洋通井出 敞八木 秀次 2001/02 愛媛大学工学部紀要 20
液体金属の濡れ性および原子拡散の測定 豊田 洋通井出 敞八木 秀次 2001/02 愛媛大学工学部紀要 20
液体金属の濡れ性および原子拡散の測定 豊田洋通井出たかし八木秀次 2001 愛媛大学工学部紀要 20
濡れの原子・電子論的解析 豊田洋通井出たかし八木秀次 2001 愛媛大学工学部紀要 20
High rate synthesis of diamond by plasma CVD under higher pressure than atmospheric pressure 2001 Proceedings of the COE International Symposium on Ultraprecision Science and Technology for Atomistic Production Engineering - Creation of Perfect Surface –
CHEMICAL INTERACTIONS BETWEEN CARBON SUBSTRATES AND METAL ATOMS 2001 Proceedings of the American Carbon Society CARBON '01
A New Theoretical and Experimental Approach for Investigating the Behavior of Liquid Metal on Solid Surface 2001 Proceeding of the 2nd EU - ECN Joint Seminar 2001
液体金属の濡れ性に関する分子軌道計算による考察 豊田 洋通井出 敞八木 秀次後藤 英和遠藤 勝義広瀬 喜久治森 勇蔵 2000/12 精密工学会誌 = Journal of the Japan Society of Precision Engineering 66/ 12
炭素系基板への金属原子拡散過程の分子軌道論的考察 豊田 洋通井出 敞八木 秀次後藤 英和遠藤 勝義広瀬 喜久治森 勇蔵 2000/11 精密工学会誌 = Journal of the Japan Society of Precision Engineering 66/ 11
First-principles molecular-dynamics simulations of etching process by OH molecules Hidekazu GotoKikuji HiroseYuzo MoriKazahisa SugiyamaKoji InagakiItsuki KobataHiromichi Toyota 2000/04 Technology Reports of the Osaka University 50/ 2366
First-Principles Molecular-Dynamics Simulatons of Etching Process by OH Molecules 2000 Technology Reports of the Osaka University 50/ 2370
Generation of Microwave Plasma under High Pressure and Synthsis of Diamond 2000 Transactions of the Materials Research Society of Japan 25/ 1
超高真空中での液体金属の濡れ性測定と評価(第2報)-液体金属の濡れ性と原子拡散の検討- 豊田 洋通井出 敞八木 秀次遠藤 勝義森 勇藏広瀬 喜久治 2000 精密工学会誌 = Journal of the Japan Society of Precision Engineering 66/ 7
非経験的分子軌道計算による液体金属の濡れ性,相互拡散性の評価 豊田洋通井出たかし八木秀次 1999/11/17 日本機械学会計算力学講演会講演論文集 12th
固体表面での濡れ性制御に関する研究(第3報) -炭素系基板上の液体金属の濡れ性, 相互拡散性の評価- 豊田 洋通井出 敞八木 秀次後藤 英和進藤 勝義広瀬 喜久治森 勇蔵 1999/03/05 精密工学会大会学術講演会講演論文集 1999/ 1
An explanation of the wetting and the mutual diffusion mechanisms of liquid metals using ab-initio atomic orbital calculation Hiromichi ToyotaTakashi IdeHidetsugu YagiHidekazu GotoKatsuyoshi EndoKikuji HiroseYuzo Mori 1999/02 Computational Materials Science 14/ 1-4
固体表面原子間相互作用力測定装置の試作 豊田 洋通井出 敞八木 秀次 1999/02 愛媛大学工学部紀要 18/ 18
液体金属の濡れ性評価法 豊田 洋通井出 敞八木 秀次 1999/02 愛媛大学工学部紀要 18/ 18
An expranation of the wetting and the mutual diffusion mechanisms of liquid metals using ab-initio atomic orbital calculation 1999 Computational Materiols Science 14/ 1/4
New experimental methods for evaluating the wettability of liquid metals 1999 Memories of the Fuculty of Engineering, Ehime University 18
A Fundamental Study on Atomic Diffusion Phenomenon between Liquid Metal and Carbon Substrate 1999 Transactions of the Materials Research Society of Japan 24/ 2
Wettability and Atomic Diffusibility of Liquid Metals on Solid Surfaces 1999 Precision Science and Technology for Perfect Surfaces,JSPE Publication Series No.3
First-Principles Molecular-Dynamics Simulations of Electro-Chemical Etching Process in Ultrapure Water 1999 Precision Science and Technology for Perfect Surfaces,JSPE Publication Series No.3
First-Principles Molecular-Dynamics Calculation for Evaluaton Separation Energy and Force between Powder and Wlrd Surfaces in EEM(Elastic Emission Machining)Process 1999 Precision Science and Technology for Perfect Surfaces,JSPE Publication Series No.3
First-Principles Molecular-Dynamics Simulation and STM Obsevation of Dissociative Adsorption Process of F2 and Cl2 on the Si(001) Surface 1999 Precision Science and Technology for Perfect Surfaces,JSPE Publication Series No.3
Fabrication of an Atomic Force Measurement System between Solid Surfaces 1999 Memories of the Faculty of Engineering,Ehime University 18
First-Principles Molecular-Dynamics Simulations of Electro-Chemical Etching Process in Ultrapure Water GOTO H. 1999 Precision Science and Technology for Perfect Surfaces,JSPE Publication Series No.3 3
Generation of microwave plasma under high pressure and fabrication of ultrafine carbon particles H. YagiT. IdeH. ToyotaY. Mori 1998/06 Journal of Materials Research 13/ 6
超高真空中での液体金属の濡れ性測定と評価 豊田 洋通井出 敞八木 秀次森 勇蔵広瀬 喜久治 1998/05 精密工学会誌 = Journal of the Japan Society of Precision Engineering 64/ 5
超高真空中での液体金属の濡れ性測定と評価 豊田洋通 1998 精密工学会誌 64/ 5
0105 高血圧性肥大心の冠予備能に対する心筋内応力の役割 松本 健志後藤 真己立花 博之平松 修豊田 英嗣仲本 博江幡 淳小笠原 康夫梶谷 文彦鈴木 洋通松田 洋人猿田 享男 1997/03/05 Japanese circulation journal 61/ 0
固体表面での濡れ性制御に関する研究 第2報 -第一原理分子軌道計画(二原子分子モデル)による液体金属の濡れ性評価- 豊田 洋通井出 敞八木 秀次後藤 英和遠藤 勝義広瀬 喜久治森 勇蔵 1997/03/01 精密工学会大会学術講演会講演論文集 1997/ 1
固体表面での濡れ性制御に関する研究 第2報 第一原理分子軌道計算(二原子分子モデル)による液体金属の濡れ性評価 豊田洋通井出たかし八木秀次後藤英和遠藤勝義広瀬喜久治森勇蔵 1997/03 精密工学会大会学術講演会講演論文集 1997/ Spring 1
血漿交換療法(PE)により改善を認めた血小板減少性紫斑病(TTP)の2症例(日本アフェレシス学会第4回関東甲信越地方会抄録) 根本 博徳中元 秀友菅原 壮一中西 孝夫鈴木 洋通出口 修宏豊田 朗遠藤 博会田 かやの猪野 裕英平嶋 邦猛 1996 日本アフェレシス学会雑誌 15/ 2
A new measurement and ab-initio molecular orbital calculation of wettability 1996 Transactions of the Materials Research Society of Japan 20
An experimental evaluation and ab-initio atomic orbital calculation for wetting phenomenon of liquid metal 1996 Proceedings of the Japan-China Bilateral Symposium on Advanced Manufacturing Engineering
A Formation and Tribological Characteristics of Diamond-like Carbon Film Using Hypervelocity Impact of Carbon Microparticles 1996 Proceedings of the Japan-china Bilateral Symposium on Advanced Manufacturing Engineering
0707 高血圧心の冠動脈血流入異常における冠血管内皮依存性拡張機能の意義 後藤 真己立花 博之平松 修矢田 豊隆千葉 容子松本 健志豊田 英嗣小笠原 康夫辻岡 克彦梶谷 文彦鈴木 洋通猿田 享男 1995/03/01 Japanese circulation journal 59/ 0
超微粒子衝撃によるダイヤモンド状薄膜の形成 井出 敞八木 秀次豊田 洋通 1994 日本機械学会誌 97/ 905
固体表面での濡れ性制御に関する研究 第1報 液体金属の濡れ性とその量子力学的評価 井出しょう豊田洋通八木秀次森勇蔵広瀬喜久治 1992/09 精密工学会大会学術講演会講演論文集 1992/ Autumn 1
超微粒子の静電高速衝撃によるDLC膜形成の試み 井出たかし八木秀次豊田洋通森勇蔵 1992/02 日本機械学会中国四国支部総会・講演会講演論文集 30th
Evaluation of elastic emission machined surfaces by scanning tunneling microscopy Yuzo MoriKazuto YamauchiKatsuyoshi EndoMinoru HasegawaKeitaro NishizawaTakashi IdeHiromichi Toyota 1990/01 Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films 8/ 1
固体表面間の相互作用力に関する研究 ダイヤモンドと金属間の相互作用力 森勇蔵遠藤勝義山内和人豊田洋通西沢慶太郎 1989/10 精密工学会大会学術講演会講演論文集 1989/ Autumn 1
TEMPERATURE: ITS MEASUREMENT AND CONTROL IN SCIENCE AND INDUSTRY, VOLUME 4. Hiromichi ToyotaYasumasa NariaiThomas P. MurrayJ. M. AdamsD. R. BucheleK. C. LapworthL. A. AllnuttJ. R. PendleburyPaul A. UrtiewRichard GroverG. L. InnesA. BenjaminsonF. RowlandA. Cezairliyan 1971 - MISC
- 研究者総覧に該当データはありませんでした。
- 総説・解説
- 研究者総覧に該当データはありませんでした。
- 講演・発表
- 木製パレット構造設計に関する基礎研究 日本材料学会四国支部学術講演会講演論文集 2022/04/23 口頭発表（一般）
液中プラズマCVD法による単結晶ダイヤモンド合成に関する基礎研究 日本材料学会四国支部学術講演会講演論文集 2022/04/23 口頭発表（一般）
回転引き曲げ加工における加工精度を向上させるための加工パラメータの最適化 日本材料学会四国支部学術講演会講演論文集 2021 口頭発表（一般）
Chemical structure and adhesion of DLC film with amorphous SiC intermediate thin film Proceedings of The 10th International Conference on Computational Methods 2019/07 口頭発表（一般）
Catalytic Effect on Ultrasonic Decomposition of Cellulose 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム(CD-ROM) 2017/10 口頭発表（一般）
液中CVD法による単層カーボンナノチューブの形成 精密工学会大会学術講演会講演論文集 2017/09/05 口頭発表（一般）
水添加アルゴン中での誘電体バリア放電によるOHラジカルの生成に関する研究 日本機械学会中国四国支部総会・講演会講演論文集(CD-ROM) 2017/02/24 口頭発表（一般）
n‐ドデカンと水界面で発生させた高周波プラズマによる水蒸気改質反応 日本伝熱シンポジウム講演論文集(CD-ROM) 2017 口頭発表（一般）
Synthesis of diamond by in-liquid plasma CVD 精密工学会学術講演会講演論文集 2017 口頭発表（一般）
417 熱プラズマ法による銅微粒子の合成とその特性(材料加工) 日本機械学会中国四国支部総会・講演会講演論文集(CD-ROM) 2016/03/09 口頭発表（一般）
1117 液中プラズマジェットの基本特性の調査(熱工学III) 日本機械学会中国四国支部総会・講演会講演論文集(CD-ROM) 2016/03/09 口頭発表（一般）
液中熱CVDによる単層カーボンナノチューブの成長特性 日本機械学会熱工学コンファレンス講演論文集(CD-ROM) 2016 口頭発表（一般）
プラズマによる芳香族化合物からのフェノール合成 日本機械学会熱工学コンファレンス講演論文集(CD-ROM) 2016 口頭発表（一般）
電解質中に分散させたセルロースのプラズマ分解 日本機械学会熱工学コンファレンス講演論文集(CD-ROM) 2016 口頭発表（一般）
液中プラズマジェットによる高速膜生成装置の開発 日本材料学会四国支部学術講演会講演論文集 2016 口頭発表（一般）
カーボンナノチューブの高速形成法に関する研究 日本材料学会四国支部学術講演会講演論文集 2016 口頭発表（一般）
イオンプレーティング法によるダイヤモンド状炭素膜の形成法に関する研究 日本材料学会四国支部学術講演会講演論文集 2016 口頭発表（一般）
イグニッションコイルを用いた水中放電による金属スズからのナノ粒子合成 日本伝熱シンポジウム講演論文集(CD-ROM) 2016 口頭発表（一般）
Effect of pretreatment by sulfuric acid on cellulose decomposition using the in-liquid plasma method The 4th Joint Conference on Renewable Energy and Nanotechnology 2015/12 口頭発表（一般）
Experimental Research on Hydrogen Production using the Steam Reforming Method in-Liquid Plasma The 4th Joint Conference on Renewable Energy and Nanotechnology 2015/12 口頭発表（一般）
Decomposition of Methane Hydrate by Argon Plasma Jet at Higher Pressures The 4th Joint Conference on Renewable Energy and Nanotechnology 2015/12 口頭発表（一般）
Synthesis of single-wall carbon nanotubes using in-liquid CVD method The 4th Joint Conference on Renewable Energy and Nanotechnology 2015/12 口頭発表（一般）
Synthesis of diamond film by in-liquid plasma CVD The 4th Joint Conference on Renewable Energy and Nanotechnology 2015/12 口頭発表（一般）
Investigation on basic in-liquid-plasma characteristics The 4th Joint Conference on Renewable Energy and Nanotechnology 2015/12 口頭発表（一般）
Synthesis of the DLC film using ion plating method The 4th Joint Conference on Renewable Energy and Nanotechnology 2015/12 口頭発表（一般）
Decomposition of Cellulose by Ultrasonic Welding in Water 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム(CD-ROM) 2015/11/06 ポスター発表
C233 高周波液中プラズマによるトルエン-水混合液からフェノールの1段階合成(一般講演(7)) 熱工学コンファレンス講演論文集 2015/10/23 口頭発表（一般）
One-Step Phenol Production from Toluene Solution Using RF In-Liquid Plasma 33rd Symposium on Plasma Processing/ 68th Gaseous Electronics Conference/ 9th International Conference on Reactive Plasmas 2015/10 口頭発表（一般）
Decomposition of n-Dodecane for Hydrogen Production using Microwave in-Liquid Plasma Method 33rd Symposium on Plasma Processing/ 68th Gaseous Electronics Conference/ 9th International Conference on Reactive Plasmas 2015/10 口頭発表（一般）
Improvement of hydrogen production from glucose by radio-freqeuncy in-liquid plasma at atmospheric pressure 22nd International Symposium on Plasma Chemistry 2015/07 口頭発表（一般）
化学平衡論に基づく液中プラズマ還元プロセスの解析 日本伝熱シンポジウム講演論文集(CD-ROM) 2015/06/03 口頭発表（一般）
液中プラズマ水蒸気改質法による水素製造 日本伝熱シンポジウム講演論文集(CD-ROM) 2015/06/03 口頭発表（一般）
液中プラズマと超音波の同時照射によるグルコースの分解促進に関する研究 日本機械学会中国四国支部総会・講演会講演論文集(CD-ROM) 2015/02/27 口頭発表（一般）
マイクロ波液中プラズマを用いたSnワイヤーからのナノ粒子の合成 日本機械学会中国四国支部総会・講演会講演論文集(CD-ROM) 2015/02/27 口頭発表（一般）
1113 マイクロ波液中プラズマを用いたSnワイヤーからのナノ粒子の合成(熱工学II) 中国四国支部総会・講演会 講演論文集 2015 口頭発表（一般）
1114 液中プラズマと超音波の同時照射によるグルコースの分解促進に関する研究(熱工学II) 中国四国支部総会・講演会 講演論文集 2015 口頭発表（一般）
2P4-13 液中超音波溶接によるセルロースの分解 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演論文集 2015 口頭発表（一般）
高周波液中プラズマによるトルエン‐水混合液からフェノールの1段階合成 日本機械学会熱工学コンファレンス講演論文集(CD-ROM) 2015 口頭発表（一般）
液中プラズマCVD法によるダイヤモンド膜の形成 精密工学会学術講演会講演論文集 2014/09/01 口頭発表（一般）
Spectroscopic Measurements of Radiofrequency Plasmas in NaCl Solution within Ceramic Tube on Insulating Plate プラズマプロセシング研究会プロシーディングス(CD-ROM) 2014
Synthesis of Gold Nanoparticles by Radiofrequency Plasmas in Aqueous Solution プラズマプロセシング研究会プロシーディングス(CD-ROM) 2014
Generation of Gold Nanoparticles by RF Plasmas in Aqueous Solution プラズマプロセシング研究会プロシーディングス(CD-ROM) 2014
Spectroscopic Measurements of HF Plasma in Supercritical CO2 プラズマ科学シンポジウム/プラズマプロセシング研究会プロシーディングス 2009
- 研究会・報告書
- 研究者総覧に該当データはありませんでした。
- 特許
- 特許権 SUBMERGED PLASMA GENERATOR, METHOD OF GENERATING PLASMA IN LIQUID AND METHO OF DECOMPOSING TOXIC SUBSTANCE WITH PLASMA IN LIQUID
特許権 液中プラズマ発生装置，液中プラズマ発生方法および液中プラズマによる有害物質分解方法
特許権 液中プラズマ用アンテナセット，液中プラズマ発生装置および液中プラズマ発生方法
特許権 液中プラズマ発生装置および薄膜形成方法およびシリコンカーバイト膜
特許権 炭素繊維強化プラスチックの分解方法およびカーボンブラックの製造方法 特願2018-001799 2018/01/10 特開2019-119821 2019/07/22
特許権 ヒドロキシメチルフルフラール及び/又はグルコースの製造方法 特願2014-082959 2014/04/14 特開2015-203017 2015/11/16
特許権 水素化合物分解水素回収装置及びその方法 特願2013-054039 2013/03/15 特開2014-177387 2014/09/25
特許権 プラズマ発生装置 特願2012-029930 2012/01/27 特開2013-157303 2013/08/15
特許権 表面処理方法および表面処理された物品 特願2012-187000 2012/08/27 特開2013-031842 2013/02/14
特許権 プラズマ用アンテナ電極及びプラズマ発生装置 特願2010-267354 2010/11/30 特開2012-119145 2012/06/21
特許権 メタンハイドレートの処理方法及び処理装置 特願2010-219102 2010/09/29 特開2012-072029 2012/04/12
特許権 ナノ粒子およびナノ粒子製造方法 特願2010-179186 2010/08/10 特開2012-036468 2012/02/23
特許権 液中プラズマ発生装置、これを用いた清掃装置、補修装置、清掃方法および補修方法 特願2010-075478 2010/03/29 特開2011-210453 2011/10/20
特許権 液中プラズマを用いた成膜方法および液中プラズマ成膜装置 特願2009-143565 2009/06/16 特開2011-000504 2011/01/06
特許権 液中プラズマ用電極、液中プラズマ発生装置および液中プラズマ発生方法 特願2009-017389 2009/01/28 特開2010-177002 2010/08/12
特許権 液中プラズマ成膜方法、その方法により成膜される被覆膜および液中プラズマ成膜装置 特願2008-236888 2008/09/16 特開2010-070782 2010/04/02
特許権 液中プラズマ成膜装置、液中プラズマ用電極および液中プラズマを用いた成膜方法 特願2008-236934 2008/09/16 特開2009-235559 2009/10/15
特許権 液中プラズマ発生方法 特願2009-114083 2009/05/11 特開2009-181960 2009/08/13
特許権 液中プラズマを用いた成膜方法および液中プラズマ成膜装置 特願2007-157727 2007/06/14 特開2008-308730 2008/12/25
特許権 炭素被覆金属元素含有ナノワイヤ製造方法 特願2007-113803 2007/04/24 特開2008-266089 2008/11/06
特許権 ダイヤモンド製造方法 特願2006-340327 2006/12/18 特開2008-150246 2008/07/03
特許権 プラズマ発生装置、プラズマ発生方法およびダイヤモンド生成方法 特願2005-229045 2005/08/08 特開2007-048497 2007/02/22
特許権 シリコン酸化膜の製造方法 特願2005-099536 2005/03/30 特開2006-274426 2006/10/12
特許権 医療用治療装置 特願2005-122923 2005/03/23 特開2006-263419 2006/10/05
特許権 超臨界流体プラズマ発生装置および超臨界流体プラズマ発生方法 特願2005-077132 2005/03/17 特開2006-260955 2006/09/28
特許権 液中プラズマ発生装置および液中プラズマ発生方法 特願2004-368829 2004/12/21 特開2006-179211 2006/07/06
特許権 液中プラズマ装置および液中プラズマ発生方法 特願2004-045548 2004/02/23 特開2005-235662 2005/09/02
特許権 多孔質膜およびその生成装置と生成方法 特願2004-045546 2004/02/23 特開2005-232555 2005/09/02
特許権 液中プラズマ反応装置、液中プラズマによる反応方法および結晶合成方法 特願2004-045545 2004/02/23 特開2005-230753 2005/09/02
特許権 金属ベリリウム、金属ベリリウム製造方法、金属ベリリウム製造装置およびX線計測用窓 特願2004-045547 2004/02/23 特開2005-232556 2005/09/02
特許権 液中プラズマ発生装置および液中プラズマ発生方法 特願2003-339641 2003/09/30 特開2005-108600 2005/04/21
特許権 機能化繊維および機能化繊維の製造方法 特願2003-340892 2003/09/30 特開2005-105465 2005/04/21
特許権 化学反応装置および有害物質分解方法 特願2004-090106 2004/03/25 特開2004-306029 2004/11/04
特許権 液中プラズマ発生装置および薄膜形成方法 特願2002-313979 2002/10/29 特開2004-152523 2004/05/27
特許権 プラズマを発生させる方法およびプラズマ発生装置 特願2002-098193 2002/04/01 特開2003-297598 2003/10/17
特許権 ダイヤモンド膜等を形成するためのデバイスおよびその形成方法 JP2018047886 2018/12/26 WO2019-131777 2019/07/04
特許権 ナノ粒子製造装置、ナノ粒子製造方法、ナノ粒子、亜鉛/酸化亜鉛ナノ粒子および水酸化マグネシウムナノ粒子 JP2012002799 2012/04/24 WO2012-147334 2012/11/01 WO2012-147334 2012/11/01
特許権 液中プラズマ用電極、液中プラズマ発生装置およびプラズマ発生方法 JP2011000536 2011/02/01 WO2011-099247 2011/08/18 WO2011-099247 2011/08/18
特許権 超純水プラズマ泡による加工・洗浄方法及びその装置 JP2006324099 2006/12/01 WO2007-063987 2007/06/07 WO2007-063987 2007/06/07
特許権 非晶質炭素膜の製造方法 JP2006306997 2006/03/27 WO2006-107002 2006/10/12 WO2006-107002 2006/10/12
特許権 表面処理方法および表面処理された物品 JP2006305982 2006/03/24 WO2006-104043 2006/10/05 WO2006-104043 2006/10/05
特許権 液中プラズマ用電極、液中プラズマ発生装置および液中プラズマ発生方法 JP2005022611 2005/12/02 WO2006-059808 2006/06/08 WO2006-059808 2006/06/08
特許権 カーボンナノチューブの製法方法および製造装置 JP2004014094 2004/09/27 WO2005-033007 2005/04/14 WO2005-033007 2005/04/14
特許権 水素発生装置および水素発生方法 JP2004005748 2004/04/21 WO2004-094306 2004/11/04 WO2004-094306 2004/11/04
特許権 水素化合物分解水素回収装置及びその方法 特願2013-054039 2013/03/15 特開2014-177387 2014/09/25 特許第6202715号 2017/09/08
特許権 メタンハイドレートの処理方法及び処理装置 特願2010-219102 2010/09/29 特開2012-072029 2012/04/12 特許第6022143号 2016/10/14
特許権 ナノ粒子製造装置、ナノ粒子製造方法、ナノ粒子、亜鉛/酸化亜鉛ナノ粒子および水酸化マグネシウムナノ粒子 特願2013-511926 2012/04/24 特許第5874111号 2016/01/29
特許権 プラズマ発生装置 特願2010-267354 2010/11/30 特開2012-119145 2012/06/21 特許第5807854号 2015/09/18
特許権 表面処理方法 特願2012-187000 2012/08/27 特開2013-031842 2013/02/14 特許第5725304号 2015/04/10
特許権 表面処理方法 特願2006-519696 2006/03/24 特許第5518281号 2014/04/11
特許権 液中プラズマ発生装置および液中プラズマ発生方法 特願2009-017389 2009/01/28 特開2010-177002 2010/08/12 特許第5360966号 2013/09/13
特許権 液中プラズマを用いた成膜方法および液中プラズマ成膜装置 特願2009-143565 2009/06/16 特開2011-000504 2011/01/06 特許第5246710号 2013/04/19
特許権 液中プラズマ成膜方法、その方法により成膜される被覆膜および液中プラズマ成膜装置 特願2008-236888 2008/09/16 特開2010-070782 2010/04/02 特許第5247323号 2013/04/19
特許権 液中プラズマ成膜装置、液中プラズマ用電極および液中プラズマを用いた成膜方法 特願2008-236934 2008/09/16 特開2009-235559 2009/10/15 特許第5182989号 2013/01/25
特許権 プラズマ発生装置およびダイヤモンド生成方法 特願2005-229045 2005/08/08 特開2007-048497 2007/02/22 特許第5176051号 2013/01/18
特許権 炭素被覆金属元素含有ナノワイヤ製造方法 特願2007-113803 2007/04/24 特開2008-266089 2008/11/06 特許第4958085号 2012/03/30
特許権 ダイヤモンド製造方法 特願2006-340327 2006/12/18 特開2008-150246 2008/07/03 特許第4930918号 2012/02/24
特許権 液中プラズマを用いた成膜方法および液中プラズマ成膜装置 特願2007-157727 2007/06/14 特開2008-308730 2008/12/25 特許第4915697号 2012/02/03
特許権 液中プラズマ用電極、液中プラズマ発生装置および液中プラズマ発生方法 特願2006-546766 2005/12/02 特許第4909741号 2012/01/20
特許権 非晶質炭素膜の製造方法 特願2007-511222 2006/03/27 特許第4871860号 2011/11/25
特許権 医療用治療装置 特願2005-122923 2005/03/23 特開2006-263419 2006/10/05 特許第4834815号 2011/10/07
特許権 水素発生装置および水素発生方法 特願2005-505772 2004/04/21 特許第4710048号 2011/04/01
特許権 カーボンナノチューブの製法方法および製造装置 特願2005-514423 2004/09/27 特許第4674304号 2011/02/04
特許権 シリコン酸化膜の製造方法 特願2005-099536 2005/03/30 特開2006-274426 2006/10/12 特許第4665111号 2011/01/21
特許権 液中プラズマ反応装置および結晶合成方法 特願2004-045545 2004/02/23 特開2005-230753 2005/09/02 特許第4560606号 2010/08/06
特許権 液中プラズマ発生方法 特願2009-114083 2009/05/11 特開2009-181960 2009/08/13 特許第4517098号 2010/05/28
特許権 機能化繊維の製造方法 特願2003-340892 2003/09/30 特開2005-105465 2005/04/21 特許第4452775号 2010/02/12
特許権 液中プラズマ発生装置および液中プラズマ発生方法 特願2003-339641 2003/09/30 特開2005-108600 2005/04/21 特許第4446030号 2010/01/29
特許権 金属ベリリウム製造方法 特願2004-045547 2004/02/23 特開2005-232556 2005/09/02 特許第4406692号 2009/11/20
特許権 多孔質膜およびその生成装置と生成方法 特願2004-045546 2004/02/23 特開2005-232555 2005/09/02 特許第4370378号 2009/09/11
特許権 液中プラズマ発生装置および液中プラズマ発生方法 特願2004-368829 2004/12/21 特許第3769625号 2006/02/17
特許権 液中プラズマ発生装置、薄膜形成方法およびシリコンカーバイト膜 特願2002-313979 2002/10/29 特開2004-152523 2004/05/27 特許第3624239号 2004/12/10
特許権 プラズマを発生させる方法およびプラズマ発生装置 特願2002-098193 2002/04/01 特開2003-297598 2003/10/17 特許第3624238号 2004/12/10 - 作品
- 液中プラズマによるカーボンナノチューブの製造法 2010-2011
液中プラズマによるダイヤモンドの高速形成 2006-2006
液中プラズマ利用技術研究3 2006-2006 - 補助金・競争的資金
- イオンビーム・プラズマ援用超微粒子加速衝撃法によるダイヤモンド状膜の形成 基盤研究(C)
異種超微粒子の静電高速衝撃によるナノスケール混合組織薄膜の創製 基盤研究(B)
ソノプラズマによる単結晶ダイヤモンドの形成 萌芽研究
液中プラズマによる半導体結晶の高速合成 基盤研究(C)
水中プラズマの基礎物性と応用技術 萌芽研究
液中プラズマ発生機構とその内部メカニズムに関する研究 基盤研究(C)
液中プラズマの放電特性に関する研究 基盤研究(B)
固体表面と液中プラズマ泡の相互作用に関する研究 基盤研究(B)
プラズマを利用したメタンハイドレートからの水素生成 挑戦的萌芽研究
液中プラズマジェット加工法の開発とダイヤモンド半導体結晶の合成 基盤研究(C) 競争的資金
ソノプラズマによる単結晶ダイヤモンドの形成 萌芽研究 競争的資金
液中プラズマによる半導体結晶の高速合成 基盤研究(C) 競争的資金
固体表面と液中プラズマ泡の相互作用に関する研究 基盤研究(B) 競争的資金
液中プラズマＣＶＤ法によるダイヤモンド形成に関する研究 基盤研究(B) 競争的資金
科学研究費助成事業 基盤研究(C) 液中プラズマジェット加工法の開発とダイヤモンド半導体結晶の合成 基盤研究(C) 2020/04-2023/03
液中プラズマジェット加工法の開発とダイヤモンド半導体結晶の合成 基盤研究(C) 2020/04/01-2023/03/01
科学研究費助成事業 基盤研究(B) 液中プラズマＣＶＤ法によるダイヤモンド形成に関する研究 基盤研究(B) 2011/04-2015/03 本研究では新たな高速成膜法として，液中プラズマCVD法によるダイヤモンド薄膜形成の研究を行った．この形成法は気体よりも分子密度の高い液体中で成膜を行うため，高速成膜と基板の冷却効果が期待できる．本研究ではCuなどの金属基板へのダイヤモンド薄膜の形成を目的とし，実験条件を変化させ実験を行った．また，ダイヤモンドの結晶に配向性や単結晶膜を得ることを目的とし，ダイヤモンド基板の結晶方位を変化させてダイヤモンド形成実験を実施し，形成される結晶への影響を調べた．さらに大面積(100)ダイヤモンド基板へ成膜を行い表面を観察した．
液中プラズマＣＶＤ法によるダイヤモンド形成に関する研究 基盤研究(B) 2011/04/01-2015/03/01
科学研究費助成事業 挑戦的萌芽研究 プラズマを利用したメタンハイドレートからの水素生成 挑戦的萌芽研究 2009-2010 本研究の目的は,油や廃油などの有機溶媒,あるいは,低温高圧下で安定に存在するクラスレートハイドレートをマイクロ波プラズマによって分解し,水素ガスを燃料ガスとして回収することである.さらに,炭素成分を固形化して回収することによるゼロエミッション水素生成技術の確立を目指している.本研究では,その基礎研究として,2.45GHzのマイクロを使って,ハイドレートの分解実験を実施し,水素ガスの回収能力を調べた.マイクロ波の照射装置として,市販の電子レンジを使用した.シクロペンタンと純水から成るハイドレートが電子レンジに置かれ,その上部からアンテナ型電極を差し込むことで,大気圧プラズマプラズマを発生させた.その結果,ハイドレートがプラズマ分解され,純度65%の水素ガスが発生することが明らかになった.また,マイクロ波電力のうち,ハイドレートの分解に使われるエネルギーは投入エネルギーの約7%であることが明らかになった.次に,海底深くに存在するメタンハイドレートを分解・回収する目的で,長い同軸ケーブルを用いて,その同軸ケーブル先端でプラズマを発生させる実験を実施した.同軸ケーブルは内部導体,絶縁体であるポリエチレン,その外側に外導体である網組み線と保護被覆であるビニールによって構成されているので,液体中でプラズマを発生させる電極構成を満足している.40k Paから大気圧の環境下で同軸ケーブル先端から27.12MHzのプラズマが発生できることを確認した.発光強度の分析から,電子温度が大気圧下で,約3500Kであることが明らかになった.
科学研究費助成事業 基盤研究(B) 液中プラズマの放電特性に関する研究 基盤研究(B) 2008-2011 大気圧以上の圧力環境下で高周波液中プラズマを発生させ,その気泡挙動と放電特性を調べた液中プラズマの電離度は0. 4MPaのとき約0. 1%であるが,気泡内の電子は,高周波による荷電粒子の激しい運動によって気泡内に数千Kの化学反応場を提供する。液中プラズマはプラズマ自身を熱源とした沸騰現象であるので高過熱度の沸騰現象を液体中に維持することができる。液中プラズマ内に金属棒を導入すると金属ナノ粒子を合成することができる。
科学研究費助成事業 基盤研究(B) 固体表面と液中プラズマ泡の相互作用に関する研究 基盤研究(B) 2008-2010 液中プラズマ化学蒸着法における膜形成の原理を,基板と液中プラズマ泡の相互作用をハイスピードカメラで観察することによって解明し,均質な膜形成のための条件を提示した.ダイヤモンドや,炭化珪素,窒化アルミニウムなどの化合物半導体を液中プラズマを用いて成膜するための化学反応の制御原理を解明した.液中プラズマ中では大きい電気陰性度の原子と小さいイオン化エネルギーの原子が優先的に化学反応することがわかった.
科学研究費助成事業 基盤研究(C) 液中プラズマ発生機構とその内部メカニズムに関する研究 基盤研究(C) 2006-2007 液中に2.45GHzのマイクロ波と27.12MHzの高周波をそれぞれ照射してプラズマを発生させ,液中プラズマの温度測定を実施し,その特性を調べた.水中でプラズマを発生させた結果,プラズマの電子温度は,圧力400hPaから大気圧の範囲内では,高周波プラズマでは5000〜4000K,マイクロ波では4000K〜3000Kであった.水中マイクロ波プラズマでは,水温上昇にエネルギの一部は消費される.液中プラズマは液中の気泡内に気相プラズマが発生する現象であり,気泡の膨張・収縮の運動がプラズマ内部温度に大きな液用を及ぼす.水中プラズマの放電形態は,電極間距離と電圧により変化し,気相プラズマで観察される針電極からのコロナ放電の様式に似ていることが明らかになった.水素スペクトルの半値幅からプラズマの電子密度を見積もった結果,高周波(27.12MHz)では,(6.0±2.0)×10^<14>cm^<-3>,マイクロ波(2.45GHz)では(7.2±2.0)×10^<14>cm^<-3>を得た.また,気体温度として, OH温度を見積もった結果,OHの回転温度が約3000Kであることが明らかになった.液中では,液体の気化によって気泡内部の熱が奪われた結果,電子温度とガス温度が一致しない非平衡状態が大気圧近くでも維持される.数値解析から,気泡内温度は活性化エネルギの与え方によって異なるものの,数千Kに達することが明らかになった.このプラズマを有機溶媒中で利用すれば,燃料ガスの生成や多孔質シリコンカーバイド,カーボンナナチューブなどの合成が可能である.最後に,27.12MHzを用いた超臨界二酸化炭素プラズマについての分光計測を行い,プラズマの発光種を特定し,プラズマ温度を求めた.その結果,超臨界プラズマの回転温度,振動温度を4000K〜5000Kと導出した.また超臨界プラズマ中で,三酸化タングステンナノワイヤーが生成できることを示した.
科学研究費助成事業 基盤研究(C) 液中プラズマによる半導体結晶の高速合成 基盤研究(C) 2005-2007 1.ダイヤモンドの高速合成 マイクロ波による液中プラズマ発生装置を用いてパラメーターを詳細に振って,ダイヤモンド合成実験を行った.アルコール水溶液濃度,基板温度,電磁波パワー,電磁波周波数,基板電極間距離,を変化させてダイヤモンド結晶合成条件の最適化を行った.圧力とプラズマ消費電力の値を大きく上げることで,気相プラズマCVD法によるダイヤモンド合成速度をはるかにしのぐ合成速度を達成した.マイクロ波の効率的な導入を実現し,直径6mmの電極を用いて,800hPaのメタノール溶液中に300Wの2.45GHzマイクロ波を導入することによって,シリコンウエハー基板上の直径5mmの領域に10分間で33μm厚のダイヤモンド膜を合成することができた.合成速度は200μmであった.本成果は,特許に申請された. 2.SiC合成条件の最適化 シリコンオイルに同等量の炭化水素を混合することで,酸素が炭化水素の炭素と水素によって引き抜かれる反応が起こって,結晶性の良いSiC結晶が合成された.遊離炭素としてグラファイトの結晶もSiCと同時に析出した.化学反応で生成された酸素も形成物に取り込まれた.成膜と同時にプラズマ発光分析を行った.メタンガスが水とプラズマ中で水蒸気改質反応を起こし,強力な還元作用をもつ水素ラジカルを発生するメカニズムを明らかにした. 3.AIN合成可能性試験 液中プラズマ反応法により,水にAlCl_3とNH_4Xを溶かして水溶液中プラズマを発生させ,AIN結晶の合成の可能性を調べた.種々の可能性実験を行い,Al_20_3の形成は見られたが,AINの形成は,実現できなかった.AINの液中プラズマ合成のためには,プラズマ中でAl原子とN原子がいかに近接し結合するかが重要であることがわかった.
科学研究費助成事業 萌芽研究 水中プラズマの基礎物性と応用技術 萌芽研究 2005-2006 「水中プラズマの基礎研究により、その物性を明らかにし、革新的な技術開発への道筋をつける」ことが本研究の目的であった。このために、まず、プラズマの基礎的なパラメータである温度・密度について分光計測により、明らかにした。温度に関してはOHラジカルからの微細スペクトル(306-312nm)を計測し、計算コード(LIFBASE)による結果とフィッティングした。この結果から、3400-3800Kであることが明らかとなった。密度に関してはHβ線のシュタルク広がりから評価が出来、3×10^20m^-3であることが明らかになった。これらのパラメータから見積もった電離度は1.5×10^-4であった。低温のプラズマでは通常のことであるが、本プラズマも弱電離プラズマである。 OHラジカル量が入射電力とともに大きくなることが分光計測から明らかとなった。メチレンブルーの分解もそれにともなって大きくなっている。 メチレンブルー水溶液をプラズマに晒した後、直後と十分な時間経過後(3週間後)では3週間後の分解量が大きい。この原因を追及するため、オゾンと過酸化水素といった活性種についても評価した。それぞれの溶存計を用い、計測したところ、200ccの純水に300W・4分30秒の高周波印加に対して、過酸化水素は0.9mg/l、オゾンは4mg/lの濃度であった。これらの結果から、オゾンや過酸化水素といった反応速度の遅い活性種によって、長い時間を経過して分解が進んだものと推定している。 他エネルギーの重畳では500kHz・3kWの高周波磁場を印加したが、特別な変化が確認できなかった。
科学研究費助成事業 萌芽研究 ソノプラズマによる単結晶ダイヤモンドの形成 萌芽研究 2003-2004 本年度は,液中プラズマで2通りの方法を用いてダイヤモンド単結晶の形成を試み,以下の成果を得た. [1]アルコール水溶液中プラズマを用いたダイヤモンド形成実験 この実験では,炭素ラジカル供給源のアルコールを水に溶かして,液体で水素ラジカルリッチなC_2ラジカルプラズマを形成し,ダイヤモンドの形成を試みた.アルコールとしては,メタノールおよびエタノールを用い,水素供給源として純水を使用して,炭化水素と純水の混合比を変化させて,形成物の走査電子顕微鏡写真およびラマンスペクトル分析を行った.また,各実験条件下でのプラズマの発光スペクトルを測定し,形成物の炭素の結合状態と発光スペクトルの関連を調べた.当初,水は水素ラジカルのみ供給して,非晶質炭素のエッチングを行うと予想していたが,水酸基ラジカルや酸素ラジカルも多量に発生させるため,結晶のダイヤモンドの成長も阻害することがわかった.液体中でダイヤモンドを高速に成長させるためには,水素のみのラジカルを多量に供給できる方法が必須であることがわかった. [2]ダイヤモンド空間形成実験 超音波と電磁波の場の解析により音響気泡の形状と位置を制御しながら,形成されたダイヤモンドを常に空間中に滞在させ,超高温・高圧力の場をダイヤモンド表面に常に滞在するようにしながら,ダイヤモンド単結晶の形成(ホモエピタキシャル成長)を行う装置の製作を行った.空間中に超音波により捕捉させた気泡中に電磁波を照射すると液中プラズマが発生したが,ハイスピードカメラによる撮影と,気泡の運動の数値計算解析より,プラズマは,超音波の振動よりもかなり遅い周期で振動することが判明した.超音波の振動とプラズマの振動を同期させるためには,更なる高パワーの超音波を使用する必要があることがわかった.そのプラズマにより空間形成された粒子はナノチューブであることがわかった.
科学研究費助成事業 基盤研究(B) 異種超微粒子の静電高速衝撃によるナノスケール混合組織薄膜の創製 基盤研究(B) 2002-2003 高真空中または低圧力水素ガス中の平行平板状電極間(DC高電圧を印加,付加的に磁界,磁界と高周波電界を重畳)において,数十nmサイズの炭素超微粒子とSi超微粒子との混合超微粒子を静電的に高速衝撃・付着させることによる新しい薄膜形成法を開発し,ダイヤモンド状炭素(DLC)とSiの混合組織薄膜を作製した。2年間の研究を通じて,その混合膜の成長特性,電子構造的特性及びこれらの特生の水素プラズマエッチングによる改善法について究明し,以下の知見を得た。 (1)混合膜の形成とその直流伝導特性については,1)形成される混合膜のSi含有率は原料超微粒子のSi混合率に比例するが,その混合率には限度(20%程度)がある。2)混合膜の直流伝導経路はDLC相であり,電気抵抗率はSi含有率に依存して増加する。3)混合膜中のDLC構造は,Si含有率の増加に伴ってグラファイティックな構造へと変化する。 (2)成膜の効率化と高品質化については,1)混合膜の成長速度は,直流電界に磁界のみを重畳した場合(MS)及び磁界と高周波電界とを重畳した場合(RF-MS),直流電界だけの場合に比べていずれも増加するが,高周波電界を併用すると少し減少する。これらの結果は,水素プラズマの作用である表面清浄化による粒子付着効率の向上と,エッチングによる材料除去が膜成長過程に関与したことを示唆する。2)混合膜のホッピング電導特性は,プラズマエッチング作用が強くなる順(MS<RF-MS)に抵抗率とその温度係数が高くなる。これはダングリングボンドが減少して局在準位密度が低下したことを示しており,水素プラズマの膜成長過程に及ぼす水素プラズマの作用に関する知見と符合する。これらのことから,水素プラズマの効果によって膜質及び膜成長効率を向上させることができたが,電導特性におけるSi/C界面効果の発現は認められなかった。
科学研究費助成事業 基盤研究(C) イオンビーム・プラズマ援用超微粒子加速衝撃法によるダイヤモンド状膜の形成 基盤研究(C) 2000-2001 1.超微粒子衝撃コーティング法における磁界・高周波電界援用効果と形成膜の特性 超微粒子衝撃コーティング装置の成膜領域に変更を施し,電極形状を改良し,DC高電界の印加に加えて高周波(RF)及び磁界(マグネトロンスパッタ効果(MS))の重畳が可能な方式とした.この装置を用いて,DLC膜の成長効率,形成膜の微細構造及び境界摩擦特性について究明した結果,(1)膜成長速度は,MSのみ援用の場合で従来比の約11.3倍(新電極にDCのみ印加した場合の約2.5倍),MSとRFを両用した場合で従来比の約14.7倍(同じく約3.2倍)と著しく向上した. (2)成膜領域の電磁界条件をDC印加のみ,MS援用,MS・RF援用と変化させると,膜成長効率は次第に低下するが,膜の抵抗率とその温度係数は高くなりアモルファス構造化が進む. (3)膜質と境界摩擦特性の関連については,アモルファス相の含有率が高いDLC膜では,表面ガスの吸着量は少ないが吸着熱が高く,境界潤滑効果がより長く持続する. 2.超微粒子ビー厶加工法におけるイオンビー厶援用効果及び膜形成機構に関する検討 超微粒子衝撃エネルギの定量化に不可欠な帯電量測定実験を実施し,電子ビーム照射帯電装置(試作)の基本性能と凝集超微粒子の均一分散化供給法について究明した結果,(1)帯電装置における大電流の安定的出力を確認した. (2)超微粒子の均一分散化供給法として,(1)凝固させた超微粒子分散溶剤の真空中気化によって供給する方法は,真空度低下を生じるので問題がある. (2)静電的噴霧微細化供給法は帯電実験に適用可能である. 3.まとめ 超微粒子衝撃コーティング法における磁界・高周波援用DLC膜形成について,膜成長効率,膜微細構造及び潤滑性に関する評価を行うことができた.超微粒子ビーム加工法については,超微粒子の帯電実験法を確立した。今後,電子ビーム照射条件と帯電量の関係,静電加速による衝撃エネルギと膜成長の関連及び膜質改善へのイオンビーム援用効果を究明する.
科学研究費助成事業 萌芽的研究 制御された炭素・水素ラジカルを用いたβ-C_3N_4薄膜の合成法の開発 萌芽的研究 1997-1998 本研究では,高圧力下で安定してプラズマを発生できる装置により,窒素ガスとメタンガスを原料ガスに用いてβ-C_3N_4を合成することを目的とした。研究計画における,マイクロ波共振回路及び高圧力マイクロ波プラズマ装置の改良については,計画にあるように高エネルギ密度状態を実現するため,最適化しやすいように等価回路として表現できるものとするとともに,プラズマの状態に応じて回路定数を変化させることができる要素を付加した。また,基板温度が重要な因子であることがこの研究において明らかとなったため,基板の温度を制御できるようにした。このように装置により研究計画におけるβ-C_3N_4の合成を試みた。特に,膜の炭素と窒素の成分比に着目し分析を行った結果,次のようなことが分かった。 ・10hPa〜大気圧の範囲では反応室内圧力が低い方が膜中の窒素の含有率が大きくなる。 ・基板温度が低い方が膜中の窒素の含有率が大きい。 ・プラズマ内の活性ラジカルが多いと膜中の窒素の含有率がが大きくなる。 ・基板材料によって成膜性が大きく影響を受ける。 得られた膜の成分比はいずれもβ-C_3N_4としてのN/C=1.33より小さい。これらのことより,基板温度の制御範囲をより低温域へ拡げるとともに,高エネルギ密度を実現する必要がある。 以上より,β-C_3N_4の合成には,より高投入マイクロ波電力を実現しながらも基板温度を低く抑えるべきであるという指針を基に,窒素原子のさらなる高活性化のためマイクロ波電源の高電力化および共振装置のさらなる改良をを行うことで,β-C_3N_4の合成が期待される。
科学研究費助成事業 奨励研究(A) 第一原理分子動力学計算による炭素・金属界面反応の解明と濡れ性制御への応用 奨励研究(A) 1996-1996 本年度は科学研究費補助金の援助を得て研究を行い、以下の成果を得た. 1.超高真空中における高純度炭素基板に対する液体金属の濡れ性実験 超高真空濡れ性実験装置を用いてAu,Ag,Cu,Al,Fe,Tiの高純度炭素およびタングステン基板に対する接触角の測定方法を確立し,従来の他者のいかなる研究においても成し得なかった再現性・信頼性の高い測定結果を得た.本測定法は研究代表者の考案したオリジナルな方法であり,最大の特徴は電子顕微鏡を用いた微視的な観察と,超高純度Arスパッタを用いた試料表面のin-situ清浄化にあるといえる. 2.第一原理分子軌道計算による実験結果の評価 NECスーパーコンピューターSX用分子動力学計算プログラムAMOSSを用いて,二原子分子モデルによるHartree-Fock分子軌道計算を行い全ての濡れ実験系の組み合わせの異種原子間相互作用の計算を行った.遷移金属の性質をよく調べるため,結合軌道の電子の全スピン状態を考慮した計算を行った(制限開殻Hartree-Fock計算),系の結合エネルギーは実験結果から得られる相互作用エネルギーと定性的に良く一致し,実験結果と計算方法の正当性が認められた.結合軌道の混成状態の詳細な分析により,濡れ性がs軌道の混成結合の強さに,相互拡散性がd軌道の混成結合の強さに関係することがわかった.量子力学を用いた濡れ性の解明の成功は国内外を含めて初めてのことである. 以上の成果は平成8年度中に2つの国際会議にて発表を行った.(計算物理関係,精密工学関係)
科学研究費助成事業 奨励研究(A) 超微粒子ビーム加工用超高速ビームの開発 奨励研究(A) 1995-1995 1.電子衝撃帯電実験 直径5mmのグラファイト球に加速電圧0〜20kV,照射電流0〜2mAの電子ビームを当て,ファラデーケージ法で帯電量の定量的測定を行った.その結果理論帯電量Q=4πεγVの70%程度の負極性帯電が得られた.グラファイト球への電子流入量の電圧依存性測定より,真空中の残留ガス分子の二次帯電によるイオンの負帯電グラファイト球への流入現象が明らかになった.帯電量の緩和はその二次イオンによるものである.二次イオンが生成しない超高真空中では理論帯電が行えることが明らかとなったが,超微粒子ビーム加工には正極性の帯電が必須であり,この帯電方式は超微粒子ビーム加工には不向きであることが結論づけられた. 2.イオン衝撃帯電実験 1.の実験と同様の装置で雰囲気帯電型Arイオンガン(加速電圧0〜2kV,照射量50μm)を用いてArイオン照射帯電実験を行った.理論帯電量の80%程度の正極性帯電が得られた.電子ビーム帯電と同様に残留ガス分子からの二次放射電子の流入が帯電量緩和の原因と考えられる.しかし,真空度を上げれば正極性の理論帯電量が得られ,超微粒子ビーム加工法に適した方法であることが結論づけられた. 3.超微粒子ビーム加工用高帯電装置の設計 以上の基礎モデル実験より,超微粒子ビーム初(期速度1km,粒径20nm)の帯電装置の設計を行った.超微粒子のイオン照射される時間が数μsecと非常に短く,理論帯電量に帯電させるためには照射電流数十mAの大電流イオン源が必要であることがわかった.本研究では真空度と電流の共に満たせるイオン源としてECRプラズマイオン源を候補にあげ,高帯電装置の設計を行った.
科学研究費助成事業 一般研究(B) 高圧力マイクロ波プラズマCVD法によるダイヤモンド微粒子の作製に関する研究 一般研究(B) 1994-1995 本研究では,目的とするダイヤモンド粒子を得るために,実施計画の内で,1.共振器・微粒子生成室の製作・改良及び周辺装置の開発,2.微粒子の作成および微粒子生成メカニズムの検討についておこなった。1.と2.は密接に関連しているので,総合的に記述する。30気圧の高圧までマイクロ波プラズマを発生させることのできる装置を開発した。そこでは,半同軸共振器をプラズマ生成室及び微粒子生成室として用い,共振器形状を最適化した。原料は,メタン及びヘリウムの混合ガスである。そこで得られたものは,直径50nm程度のピロカーボンという単結晶の超微粒子であり,同粒子の新しい生成法として注目される。この研究を通じ高圧力下においてもダイヤモンド粒子の生成には,水素ガスが必要であることが確認された。高圧力においてマイクロ波プラズマを発生させるには半同軸型が有利であることが確認されたが,上記の装置そのままでは,電極と水素ガスの反応が避けられないことより,プラズマと電極部が接しない構造の装置を開発した。ここで,計画にあるようにプラズマの状態を正確に把握し制御するための,装置を製作することができた。必然的に,装置を等価回路として定量的に捉えることも可能となった。これにより,プラズマの発生前後のインピーダンスの変化に対しても,最適な状態で整合できるようになった。そこで,メタン及び水素の混合ガスを投入することにより,250Torr下において,ダイヤモンド微粒子を生成することができた。まだ,自型よりの判断であり,詳しい分析は,直ちに行う。また,数分の1気圧であるが,その改良の指針を把握しており,直ちに改良を行う。今後,より高い気圧におけるダイヤモンド粒子または膜の生成を目標として,研究を続けるとともに,高圧力におけるマイクロ波プラズマの生成技術を利用し,ダイヤモンドよりもその性質が優れているというC_3N_4の生成を試みる。
科学研究費助成事業 奨励研究(A) 第一原理量子力学電子軌道計算による濡れ性の解明と制御 奨励研究(A) 1994-1994 1.超高真空中での液体金属の濡れ性実験 ターボ分子ポンプ(現有)により排気した10^<-7>Paの超高真空中チャンバ内でフラッシュにより清浄化した高融点金属と液体金属の濡れの接触角を測定し真の相互作用を調べた(現有装置)。Arイオンクリーニング清浄化処理の結果、従来よりはるかに安定した濡れ性が実現でき、接触角の測定精度が向上した。本研究により濡れ性の測定技術が確立したといえる。 2.第一原理量子力学軌道計算による濡れのシミュレーション 本年度は、第一原理の電子軌道計算プログラムが完成したので、そのプログラムを用いて実際に金属表面の計算を行った(大阪大学 NEC-SX3 科研計算費使用)。WおよびMoの表面のスーパーセルモデルについて計算を行ったところ、SX3の性能限界内でエネルギー誤差0.3eV以下の計算が行えることがわかった。しかし、W表面に吸着させるべきAu,Ag,Cu等の原子については、現状では10eV程度のエネルギー誤差が生ずることが判明した。これらは計算に用いた原子のポテンシャル(擬ポテンシャル)の勾配の程度に依存する問題である。全ての原子系について0.1eVエネルギー精度で計算を行うには、プログラムの改良(アルゴリズムの高速化)が必須条件である。 定量的な計算にはまだ問題があるので、定性的な濡れ性計算を行ってみた。W表面のスーパーセルモデルにAu,Ag,Cu,Pb,Sn,Al等の原子を吸着させたモデルで吸着原子の位置をいろいろ変えて吸着エネルギー曲線の計算を行った。エネルギー最低の構造が全ての場合についてわかった。濡れ性実験との相関については現在検討中である。
科学研究費助成事業 一般研究(B) 超微粒子ビームによる機能性薄膜作製法の開発 一般研究(B) 1993-1994 1 超微粒子ビーム加工装置の製作・・・マイクロ波空洞共振型超微粒子生成室(プラズマ発生室)と加工室(高真空室)とが細い金属製の輸送管で連結された加工装置を製作した。 2 超微粒子の作製実験・・・生成超微粒子の粒径制御と最適生成条件の検討を行った。粒径20nmのグラファイトライク構造の超微粒子が再現性良く作製できることがわかった。この超微粒子を輸送して次項の加速実験を行った。 3 超微粒子の加速方法の開発・・・電界電子放射帯電加速、二次電子放射帯電加速、流体加速の三方式の超微粒子の加速法に基づいて装置を製作し、加速実験を行った。電界電子放射帯電法による加速実験では、超微粒子の衝撃加速による構造変化が認められた。二次電子放射帯電法および流体加速法による加速実験では構造変化が認められなかった。製膜の効率という点ではこの二方式が優れているので、今後も研究を続ける必要がある。 4 超微粒子の速度測定法の開発・・・加速された超微粒子の速度をTOF(飛行時間)法に基づいて測定できるシステムを製作し、速度測定実験を行った。輸送管から吹きだした超微粒子の速度が測定できた。現状では測定誤差の問題があるので、測定系の改良が必要である。 5 製膜技術の総合評価・・・本研究により超微粒子の生成・輸送・加速という一連のプロセスの有機的な結合がなされ、超微粒子ビーム加工法の基礎が形成された。
科学研究費助成事業 奨励研究(A) 原子間相互作用力の測定によるダイヤモンド状薄膜の固体超潤滑機構の解明 奨励研究(A) 1993-1993 1 ガス雰囲気制御可能固体間微少摩擦力測定装置の作製 高真空中での基板処理により清浄化されたダイヤモンド状薄膜表面に水素ガス分子、窒素分子、あるいはその他の分子を原子層オーダーで吸着させ、ある定温度のもとで低加重での膜間の摩擦力を測定することのできる装置を製作した。また、超高真空中で0.1muNの相互作用力を測定できる装置も作製した。どちらの装置も順調に動作し、雰囲気制御のもとでの摩擦力および相互作用力の測定が可能となった。 2 純ガス雰囲気中でのダイヤモンド状膜の境界潤滑特性の測定 ダイヤモンド状膜の純水素・窒素ガス雰囲気中での境界潤滑特性が明らかとなった。水素ガス分子は容易にダイヤモンド状膜の内部に吸蔵されるがガス分子を介しての膜間の摩擦力は大きく、ガス分子と膜との結合力も弱い。窒素ガス分子はダイヤモンド状膜の表面で強固に化学結合し、しかも膜間の摩擦力を低減させる(mu=0.01)。これにより、水素ガスよりも窒素ガスの希薄吸着状態がダイヤモンド状膜の極低摩擦に寄与することがわかった。 3 超高真空中での原子間相互作用力の測定 超高真空中での同種金属間の相互作用力の測定ができた。力の大きさは0.1muNオーダーであり、凝集エネルギーから予想される力と同じオーダーであった。これは原子100個分の力に相当する。また、力の大小は凝集エネルギーの大小と一致し、本測定装置により固体清浄表面間の相互作用力の測定が可能であることが実証された。今後はダイヤモンド状膜を超高真空中でのArイオンエッチング処理により清浄化を行い、各種雰囲気中での相互作用力の測定を行う。
科学研究費助成事業 奨励研究(A) 固体表面でのぬれ性の量子力学的モデリングとそのイオン照射による制御 奨励研究(A) 1992-1992
科学研究費助成事業 一般研究(C) 高圧型マイクロ波CVD法による微粒子の作成とその応用に関する研究 一般研究(C) 1992-1993 当初の計画に基づき成果の概要を示す。 1.インピーダンス測定 ネットワークアナライザーが使用できる目途が立ち測定した。そこで,プラズマプロセス中においてインピーダンスを測定する方法を研究し,製作可能であることが分かった。これは,進行中であり,報告書に未記入である。 2.共振器・微粒子生成室の設計 高圧力においてプラズマを発生させ安定に維持するために,2段型共振器と同軸型共振器の2種類の装置を作成した。いずれもこの研究において独自に開発したものであり,この装置を利用して微粒子の生成を行った。前者の装置は,プラズマを安定に維持することに優れ,後者は,共振度が高く,今後,高パワー密度を実現するためには欠かせないものである。いずれも,今回の最高加圧力である5気圧においてもプラズマを発生させることができ,当初の目的を達成することができた。 3.微粒子の作成 上記の装置で,微粒子の作成を試みた。原料は,生成されるものが微粒子及び薄膜を想定したことにより炭素系のものを用いた。微粒子を生成しTEMにより,観察,分析すると結晶性(ダイヤモンドに近い構造)を有することを示した。そこでこの粒子の生成条件について系統的に調査するため,結晶性に着目し,主に次のようなパラメータを変化させた。(1)キャリアガス,原材料ガス及び添加ガスの種類及び濃度比。(2)生成室内圧力,(3)マイクロ波の投入電力,(4)プラズマインピーダンスなどである。各々詳しく分析を行ったが結晶性がよいということを基準として結論するならば,(1)については,ヘリウムとメタンガスの組み合わせに,水素を微少量添加すること,(2),(3)および(4)についてはいずれも高い方がよいことがわかった。また微粒子生成時のプラズマの発光分析を行った結果,スワンバンドの発光が見られ,C_2ラジカルの存在が確かめられた。これが,再結合し,微粒子が生成されているものと思われる。
科学研究費助成事業 奨励研究(A) 超微粒子ビームによるダイヤモンド膜の作製 奨励研究(A) 1991-1991
科学研究費助成事業 一般研究(C) 硬質アモルファス炭素膜の極低摩擦現象およびその表面吸着条件 一般研究(C) 1988-1989 カ-ボンラっク粒弊の高速衝撃付着によって形成した硬質アモルファス炭素膜について、表面ガス吸着状態下での極低摩擦現象を理論的、実験的に究明した。まず、ガス吸着性に関係する膜構造特性について構造分析および抵抗率・熱電能の温度特性の測定から評価した。その結果、本炭素膜は、カ-ボンブラックの握ラファイト的構造とそれの衝撃物質であるアモルファス構造とから成り、多量の構造欠陥(ダングリングボンド)を含有することがわかった。また、100℃以上の加熱列理に伴って、アモルファス相は漸次グラファイト相へと構造緩和し、その過程でダングリングボンド密度はさらに増大することが明確になった。つぎに、炭素膜間で各種ガス雰囲気中での同一軌道繰り返し摩擦実験を行い、高潤滑性を維持し得る表面録着状態が究明された結果、水素、水蒸気、窒素各分子の希薄な吸着状態下で低摩擦係数が得られ、とくに水素雰囲気気では固体間摩擦としては異常に低い0.01以下となった。しかし、酸素吸着は摩擦作用下で逆に凝着促進効果を持つことがわかり、吸着ガスの種類に追じた摩擦への影響が見いだせた。また、大気中では水分子吸着の影響が大きく、それの希薄吸着状態は、摩擦条件(荷重、速度、インタ-バル)で決まる脱離速度と、膜質(グラファイト質、表面官能基の含有割合)および環境条件(温度、ガス分圧)とで決まる吸着速度との平衡によって成り立つことが明らかになった。すなわち、脱離過程が優位になると膜の凝着、摩耗が進行し、摩擦係数は上昇に転じることになる。 以上の炭素膜構造とその潤滑機構の解明より、極低摩擦現象はアモルファス構造とその表面への希薄な分子吸着の両者に関係して発生するといえる。この高い潤滑性を安定維持することは、温度100℃以下の特定ガス雰囲気中での準静的すべり摩擦といった限定された使用状況下では、後者を制御し得ることにより可能と思われる。
- その他
- 研究者総覧に該当データはありませんでした。
2024年11月15日更新
- 専門分野・研究分野
- ものづくり技術（機械・電気電子・化学工学） / 加工学、生産工学
- 所属学会・所属協会
- 精密工学会
ニューダイヤモンドフォーラム
日本機械学会
日本伝熱学会 - 委員歴・役員歴
- 2016/04-2017/03 日本機械学会 中国四国支部 商議員
2015/04-2016/03 日本機械学会 中国四国支部 幹事
2007/04-現在 精密工学会 中国四国支部 幹事／商議員 - 受賞
- 2021/11 学長賞
2019/08 教育貢献賞
2008 日本機械学会中国四国支部賞 技術創造賞
2008 市村学術賞 貢献賞
2008 愛媛大学工学部機械工学科授業改善貢献賞
2007 ジュニアドベンチャー選手権 伊予銀行賞 - 活動
- 研究者総覧に該当データはありませんでした。
2024年11月10日更新
2024年11月9日更新
Ｊグローバル
- Jグローバル最終確認日
- 2024/11/9 01:47
- 氏名（漢字）
- 豊田 洋通
- 氏名（フリガナ）
- トヨタ ヒロミチ
- 氏名（英字）
- Toyota Hiromichi
- 所属機関
- 愛媛大学 教授
リサーチマップ
- researchmap最終確認日
- 2024/11/10 02:54
- 氏名（漢字）
- 豊田 洋通
- 氏名（フリガナ）
- トヨタ ヒロミチ
- 氏名（英字）
- Toyota Hiromichi
- プロフィール
愛媛大学工学部付属 船舶海洋センター副センタ―長
学術支援センター ものづくりファクトリー部門長
工学部 レクリエーション委員長- 登録日時
- 2011/8/16 00:00
- 更新日時
- 2024/7/31 07:32
- アバター画像URI
- リサーチマップAPIで取得できませんでした。
- ハンドル
- リサーチマップAPIで取得できませんでした。
- eメール
- リサーチマップAPIで取得できませんでした。
- eメール（その他）
- リサーチマップAPIで取得できませんでした。
- 携帯メール
- リサーチマップAPIで取得できませんでした。
- 性別
- リサーチマップAPIで取得できませんでした。
- 没年月日
- リサーチマップAPIで取得できませんでした。
- 所属ID
- 0352021005
- 所属
- 愛媛大学
- 部署
- 大学院理工学研究科 生産環境工学専攻
- 職名
- 教授
- 学位
- 博士（工学）
- 学位授与機関
- 大阪大学
- URL
- リサーチマップAPIで取得できませんでした。
- 科研費研究者番号
- リサーチマップAPIで取得できませんでした。
- Google Analytics ID
- リサーチマップAPIで取得できませんでした。
- ORCID ID
- リサーチマップAPIで取得できませんでした。
- その他の所属ID
- リサーチマップAPIで取得できませんでした。
- その他の所属名
- リサーチマップAPIで取得できませんでした。
- その他の所属 部署
- リサーチマップAPIで取得できませんでした。
- その他の所属 職名
- リサーチマップAPIで取得できませんでした。
- 最近のエントリー
- リサーチマップAPIで取得できませんでした。
- Read会員ID
- リサーチマップAPIで取得できませんでした。
- 経歴
- リサーチマップAPIで取得できませんでした。
- 受賞
- Misc
- 論文
- 講演・口頭発表等
- 書籍等出版物
- 研究キーワード
- 研究分野
- 所属学協会
- 担当経験のある科目
- リサーチマップAPIで取得できませんでした。
- その他
- リサーチマップAPIで取得できませんでした。
- Works
- 特許
- 学歴
- リサーチマップAPIで取得できませんでした。
- 委員歴
- 社会貢献活動
- リサーチマップAPIで取得できませんでした。
2024年11月9日更新
- 研究者番号
- 00217572
- 所属（現在）
- 2024/4/1 : 愛媛大学, 理工学研究科(工学系), 教授
- 所属（過去の研究課題
情報に基づく）*注記 - 2020/4/1 – 2022/4/1 : 愛媛大学, 理工学研究科(工学系), 教授
2013/4/1 – 2014/4/1 : 愛媛大学, 理工学研究科, 教授
2007/4/1 – 2012/4/1 : 愛媛大学, 理工学研究科, 准教授
2010/4/1 : 愛媛大学, 大学院・理工学研究科, 准教授
2006/4/1 : 愛媛大学, 理工学研究科, 助教授
2004/4/1 – 2005/4/1 : 愛媛大学, 工学部, 助教授
2000/4/1 – 2003/4/1 : 愛媛大学, 工学部, 助手
1992/4/1 – 1998/4/1 : 愛媛大学, 工学部, 助手
1989/4/1 : 愛媛大学, 工学部, 助手
- 審査区分/研究分野
-
研究代表者
工学 / 機械工学 / 機械工作・生産工学
理工系 / 工学 / 機械工学 / 熱工学
理工系 / 工学 / 材料工学 / 材料加工・処理
理工系 / 工学 / 材料工学 / 材料加工・組織制御工学
小区分26050:材料加工および組織制御関連研究代表者以外
工学 / 機械工学 / 機械工作・生産工学
理工系 / 数物系科学 / プラズマ科学 / プラズマ科学
理工系 / 工学 / 機械工学 / 熱工学
工学 / 機械工学 / 機械材料工学
工学 / 材料工学 / 材料加工・処理
工学 / 機械工学 / 機械工作
- キーワード
-
研究代表者
原子間力 / ダイヤモンド / ダイヤモンド状膜 / 超高真空 / 摩擦 / 境界潤滑 / ガス分子 / 相互作用力 / 濡れ / 金属 / 相互作用 / 第1原理 / 擬ポテンシャル / セルフコンシステント / スーパーセル / Ultra-Fine Particle / Charge / Ion Beam / 濡れ性 / 接触角 / 第一原理分子動力学 / Hartree-Fock / 相互作用エネルギー / 液中プラズマ / 超音波 / 電磁波 / 音響 / ソノルミネッセンス / 薄膜プロセス / プラズマ加工 / 表面・界面物性 / 材料加工・処理 / 結晶成長 / 触媒・化学プロセス / セラミックス / plasma process / chemical process / ceramics / ダイヤモンド合成 / プラズマＣＶＤ / アークジェット / プラズマジェット加工 / ダイヤモンド半導体
研究代表者以外
Microwave / Plasma / CVD / High pressure / β-C_3N_4 / Thin film / 水中 / 高周波 / プラズマ / メチレンブルー / 分解 / AOP / OHラジカル / 熱工学 / プラズマ加工 / プラズマ・核融合 / ナノ材料 / 水素 / 液中プラズマ / 気泡 / マイクロ波 / 微粒子 / 高圧力 / インピーダンス / 共振器 / plasma / Micro Wave / Fine Particles / High Pressure / 超微粒子 / 静電加速 / ダイヤモンド状膜 / TOF / ダイヤモンド / ビーム加工 / 帯電 / Ultra Fine Particle / Electrostatic Accelerate / Diamond Like Carbon / Time Of Flight / Diamond / 空洞共振器 / 炭素超微粒子 / 静電加速法 / 磁界・高周波援用 / 膜成長速度 / 境界摩擦特性 / マグネトロンスパッタ効果 / ホッピング伝導機構 / DLC膜 / 高周波プラズマ援用 / 磁場援用 / イオンエッチング効果 / 超微粒子分散 / 超微粒子供給 / Diamond-like Carbon Film / Carbon Ultra-fine Particle / Electrostatic Acceleration / Assistance of Magnetic and RF Electric Field / Film Growth Rate / Characteristic of Boundary Friction / Effect of Mapnetron Sputtering / Hopping Conduction / 混合組織薄膜 / 水素プラズマエッチング / マグネトロンスパッタリング / 薄膜形成法 / シリコン複合化DLC膜 / ナノスケール混合組織 / 機能性材料 / Ultra-fine Particle / Diamond-Like Carbon Film / Hydrogen Plasma Etching / Magnetron Sputtering / Fabrication of Thin Film / プラズマ・核癒合 / 流体工学 / プラズマプロセス / thermal Engineering / plasma arc machining / plasma・nuclear fusion / fluid engineering / plasma process / アモルファス炭素膜 / 境界潤滑 / ガス分子吸着 / 極低摩擦 / ダンゲリングボンド / カ-ボンブラック / 高速衝動 / 構造暖和 / 局在準位密度 / 表面官能基 / 境界潤滑特性 / ダングリングボンド / カーボンブラック / 高速衝撃効果 / Amorphous Carbon Film / Boundary Lubrication / Gas Adsorption / Ultralow Friction / Dangling Bond / Carbon Black / High-velocity Impact
研究課題
研究成果
共同研究者
注目研究はありません。